一种多晶衍射测量的微调机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶衍射测量的微调机构，涉及多晶衍射测量技术领域，包括X光发射器，还包括支撑板，支撑板包括水平部与竖直部，竖直部活动安装于X光发射器上，竖直部相对于X光发射器的一侧设置有第一挡光板，水平部上活动设置有第一晶柱，第一晶柱上设置有第一衍射晶片。本实用新型专利技术提供的多晶衍射测量的微调机构，设置第一挡光板、第二挡光板和第三挡光板来约束调节X光穿过三个挡光板的照射范围，设置可旋转的第一晶柱放置第一衍射晶片，以便通过调节第一晶柱来调节第一衍射晶片的角度，通过设置调节板来调节第二晶柱的角度，以便于调节第二衍射晶片的角度，实现多角度调节测试，第一晶柱与第二晶柱的配合可以同时测量复数的晶片。量复数的晶片。量复数的晶片。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶衍射测量的微调机构


[0001]本技术涉及多晶衍射测量
，具体为一种多晶衍射测量的微调机构。

技术介绍

[0002]芯片即集成电路，在电子学中是一种将半导体设备和被动组件等小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。
[0003]随着芯片浪潮的大发展，科学技术的日益进步，晶圆加工行业的标准也在逐渐提高，终端芯片由14纳米向7纳米，5纳米的发展。
[0004]但随着晶圆加工精度的提高，传统的晶圆的检测标准无法满足发展的需求，提高晶圆的测量精度，是科技进步的必然需求。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于:提供一种多晶衍射测量的微调机构，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的晶圆检测标准无法满足发展需求的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]本技术提供一种多晶衍射测量的微调机构，包括X光发射器，还包括支撑板，所述支撑板包括水平部与竖直部，所述竖直部活动安装于X光发射器上，所述竖直部相对于X光发射器的一侧活动设置有第一挡光板，所述水平部上活动设置有第一晶柱，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶衍射测量的微调机构，包括X光发射器，其特征在于：还包括支撑板(1)，所述支撑板(1)包括水平部与竖直部，所述竖直部活动安装于X光发射器上，所述竖直部相对于X光发射器的一侧活动设置有第一挡光板(2)，所述水平部上活动设置有第一晶柱(3)，所述第一晶柱(3)上设置有第一衍射晶片，所述水平部上活动设置有调节板(6)，所述调节板(6)上活动设置有第二晶柱(5)，所述第二晶柱(5)上设置有第二衍射晶片，所述第一晶柱(3)与调节板(6)之间活动设置有第二挡光板(4)，所述水平部相对于竖直部的一侧活动设置有第三挡光板(7)。2.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述竖直部上开设有若干个第一腰孔(11)，所述第一腰孔(11)配合定位螺栓以使竖直部活动安装于X光发射器上。3.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述水平部上开设有与第一晶柱(3)适配的第一预装孔，所述水平部上关于第一预装孔对称开设有第一弧型腰孔(12)，所述第一弧型腰孔(12)配合定位螺栓以使第一晶柱(3)活动安装于水平部上。4.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述水平部上对称开设有第二腰孔(13)，所述第二腰孔(13)配合定位螺栓以使第二挡光板(4)活动安装于...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：