一种多晶衍射测量的微调机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶衍射测量的微调机构，涉及多晶衍射测量技术领域，包括X光发射器，还包括支撑板，支撑板包括水平部与竖直部，竖直部活动安装于X光发射器上，竖直部相对于X光发射器的一侧设置有第一挡光板，水平部上活动设置有第一晶柱，第一晶柱上设置有第一衍射晶片。本实用新型专利技术提供的多晶衍射测量的微调机构，设置第一挡光板、第二挡光板和第三挡光板来约束调节X光穿过三个挡光板的照射范围，设置可旋转的第一晶柱放置第一衍射晶片，以便通过调节第一晶柱来调节第一衍射晶片的角度，通过设置调节板来调节第二晶柱的角度，以便于调节第二衍射晶片的角度，实现多角度调节测试，第一晶柱与第二晶柱的配合可以同时测量复数的晶片。量复数的晶片。量复数的晶片。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶衍射测量的微调机构


[0001]本技术涉及多晶衍射测量
，具体为一种多晶衍射测量的微调机构。

技术介绍

[0002]芯片即集成电路，在电子学中是一种将半导体设备和被动组件等小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。
[0003]随着芯片浪潮的大发展，科学技术的日益进步，晶圆加工行业的标准也在逐渐提高，终端芯片由14纳米向7纳米，5纳米的发展。
[0004]但随着晶圆加工精度的提高，传统的晶圆的检测标准无法满足发展的需求，提高晶圆的测量精度，是科技进步的必然需求。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于:提供一种多晶衍射测量的微调机构，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的晶圆检测标准无法满足发展需求的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]本技术提供一种多晶衍射测量的微调机构，包括X光发射器，还包括支撑板，所述支撑板包括水平部与竖直部，所述竖直部活动安装于X光发射器上，所述竖直部相对于X光发射器的一侧活动设置有第一挡光板，所述水平部上活动设置有第一晶柱，所述第一晶柱上设置有第一衍射晶片，所述水平部上活动设置有调节板，所述调节板上活动设置有第二晶柱，所述第二晶柱上设置有第二衍射晶片，所述第一晶柱与调节板之间活动设置有第二挡光板，所述水平部相对于竖直部的一侧活动设置有第三挡光板。
[0008]进一步地，所述竖直部上开设有若干个第一腰孔，所述第一腰孔配合定位螺栓以使竖直部活动安装于X光发射器上。
[0009]进一步地，所述水平部上开设有与第一晶柱适配的第一预装孔，所述水平部上关于第一预装孔对称开设有第一弧型腰孔，所述第一弧型腰孔配合定位螺栓以使第一晶柱活动安装于水平部上。
[0010]进一步地，所述水平部上对称开设有第二腰孔，所述第二腰孔配合定位螺栓以使第二挡光板活动安装于水平部上，所述第三挡光板上对称开设有第三腰孔，所述第三腰孔配合定位螺栓以使第三挡光板活动安装于水平部上。
[0011]进一步地，所述调节板包括横面和立面，所述横面上开设有若干个第一定位孔，所述第一定位孔至少为四个，所述水平部上开设有适配于第一定位孔的第二定位孔，所述横面上开设有与第二晶柱适配的第二预装孔，所述横面上关于第二预装孔对称开设有第二弧型腰孔，所述第二弧型腰孔配合定位螺栓以使第二晶柱活动安装于调节板上。
[0012]进一步地，所述立面上活动设置有多个调节螺栓。
[0013]进一步地，所述第一挡光板上开设有第一通光孔，所述第二挡光板上开设有第二通光孔。
[0014]进一步地，所述第三挡光板上开设有第三通光孔，所述第三挡光板相对于水平部的一侧关于第三通光孔对称活动设置有调光板。
[0015]进一步地，所述支撑板的竖直部上开设有与X光发射器对齐的发射孔。
[0016]与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：
[0017]本技术提供的一种多晶衍射测量的微调机构，设置第一挡光板、第二挡光板和第三挡光板来约束调节X光穿过三个挡光板的照射范围，设置可旋转的第一晶柱放置第一衍射晶片，以便通过调节第一晶柱来调节第一衍射晶片的角度，通过设置调节板来调节第二晶柱的角度，以便于调节第二衍射晶片的角度，实现多角度调节测试，第一晶柱与第二晶柱的配合可以同时测量复数的晶片，提高测量效率。
附图说明
[0018]构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0019]在附图中：
[0020]图1为本技术提供的微调机构的结构示意图；
[0021]图2为本技术提供的微调机构的正视图；
[0022]图3为本技术提供的微调机构的俯视图；
[0023]图4为本技术提供的微调机构的侧面结构示意图；
[0024]图5为本技术提供的支撑板的结构示意图；
[0025]图6为本技术提供的第三挡光板的结构示意图；
[0026]图7为本技术提供的四定位孔调节板的结构示意图；
[0027]图8为本技术提供的六定位孔调节板的结构示意图。
[0028]图中：
[0029]1、支撑板；11、第一腰孔；12、第一弧型腰孔；13、第二腰孔；14、第二定位孔；2、第一挡光板；3、第一晶柱；4、第二挡光板；5、第二晶柱；6、调节板；61、调节螺栓；62、第二弧型腰孔；631、孔一；632、孔二；633、孔三；634、孔四；635、孔五；636、孔六；7、第三挡光板；71、第三腰孔；72、第三通光孔；8、调光板；9、第一衍射晶片；10、第二衍射晶片。
具体实施方式
[0030]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0031]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变型，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的
过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0032]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0033]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0034]此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0035]本技术提供的一种多晶衍射测量的微调机构，如图1和图5所示，包括X光发射器，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶衍射测量的微调机构，包括X光发射器，其特征在于：还包括支撑板(1)，所述支撑板(1)包括水平部与竖直部，所述竖直部活动安装于X光发射器上，所述竖直部相对于X光发射器的一侧活动设置有第一挡光板(2)，所述水平部上活动设置有第一晶柱(3)，所述第一晶柱(3)上设置有第一衍射晶片，所述水平部上活动设置有调节板(6)，所述调节板(6)上活动设置有第二晶柱(5)，所述第二晶柱(5)上设置有第二衍射晶片，所述第一晶柱(3)与调节板(6)之间活动设置有第二挡光板(4)，所述水平部相对于竖直部的一侧活动设置有第三挡光板(7)。2.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述竖直部上开设有若干个第一腰孔(11)，所述第一腰孔(11)配合定位螺栓以使竖直部活动安装于X光发射器上。3.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述水平部上开设有与第一晶柱(3)适配的第一预装孔，所述水平部上关于第一预装孔对称开设有第一弧型腰孔(12)，所述第一弧型腰孔(12)配合定位螺栓以使第一晶柱(3)活动安装于水平部上。4.根据权利要求1所述的一种多晶衍射测量的微调机构，其特征在于：所述水平部上对称开设有第二腰孔(13)，所述第二腰孔(13)配合定位螺栓以使第二挡光板(4)活动安装于...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄伟，赵松彬，
申请(专利权)人：丹东新东方晶体仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：