下载基于晶圆片倒角的自动进料定位装置的技术资料

文档序号:36700993

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置,涉及半导体加工技术领域,包括联动齿条,联动齿条底端固定连接有固定座,固定座底部固定连接有环架,环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬,通过控制真空发生器停止工作后,控制电动推杆B伸缩部向上收缩后,...
该专利属于三河市致欣科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三河市致欣科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。