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基于晶圆片倒角的自动进料定位装置制造方法及图纸
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下载基于晶圆片倒角的自动进料定位装置的技术资料
文档序号:36700993
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本实用新型提供基于晶圆片倒角的自动进料定位装置,涉及半导体加工技术领域,包括联动齿条,联动齿条底端固定连接有固定座,固定座底部固定连接有环架,环架底部凹槽内侧固定连接有橡胶内衬,通过控制真空发生器停止工作后,控制电动推杆B伸缩部向上收缩后,...
该专利属于三河市致欣科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三河市致欣科技有限公司授权不得商用。
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