【技术实现步骤摘要】
一种晶片起片器
[0001]本技术属于砷化镓晶片生产
,具体涉及一种晶片起片器。
技术介绍
[0002]在砷化镓晶片生产的某些工序中,通常涉及到抛光后晶片的取放于转移,而晶片的取放及转移就需要用到起片器,而现有的起片器在铲起及转移晶片的过程中,晶片容易从起片器上掉落,从而不仅会损坏划伤晶片,同时还会严重降低晶片的取放及转移效率。
技术实现思路
[0003]针对上述现有技术中的问题,本技术提供了一种晶片起片器,并具体公开了以下技术方案:
[0004]一种晶片起片器,包括起片器本体,所述起片器本体包括工作面和非工作面,所述工作面为水平面,所述非工作面为水平面与倾斜平面组合的形式,所述倾斜平面与工作面相交形成铲尖,所述工作面上开设有吸附槽,所述吸附槽内开设有真空孔,所述起片器本体远离铲尖的一端侧面设置有用于连接抽气装置的抽气孔,所述抽气孔与吸附槽内的真空孔连通。
[0005]进一步的,所述吸附槽包括从工作面远离铲尖的一端到靠近铲尖的一端间隔设置的两个椭圆形凹槽以及连接两个椭圆形凹槽的条形凹槽。
[0006]进一步的,所述真空孔设置于远离铲尖一侧的椭圆形凹槽内。
[0007]进一步的,所述起片器本体的边角处均设置为圆弧形倒角。
[0008]与现有技术相比,本技术的有益效果为:
[0009]本技术中通过在起片器本体上设置吸附槽、真空孔以及抽气孔等一系列结构,可以实现在铲起晶片之后将晶片吸附在起片器本体的工作面上,从而防止晶片从起片器本体的工作面上意外掉落,进而提 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶片起片器,其特征在于,包括起片器本体,所述起片器本体包括工作面和非工作面,所述工作面为水平面,所述非工作面为水平面与倾斜平面组合的形式,所述倾斜平面与工作面相交形成铲尖,所述工作面上开设有吸附槽,所述吸附槽内开设有真空孔,所述起片器本体远离铲尖的一端侧面设置有用于连接抽气装置的抽气孔,所述抽气孔与吸附槽内的真空孔连通。2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:李民,古新远,赵波,高伟,
申请(专利权)人:保定通美晶体制造有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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