承载装置以及腔室制造方法及图纸

本公开涉及承载装置以及腔室。根据一实施例的承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并固定，所述单元包括：载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。动器的位置。动器的位置。

【技术实现步骤摘要】
承载装置以及腔室


[0001]本公开涉及一种用于粘合工艺的承载装置、利用其的粘合方法以及腔室，更具体地涉及一种用于真空粘合工艺的承载装置、利用其的真空粘合方法以及腔室。

技术介绍

[0002]在显示装置的制造工艺中，需要板或者膜形态的两个构成要件彼此粘合的过程。作为粘合方法可以使用利用轧辊或者利用腔室的粘合工艺。
[0003]在粘合工艺的情况下，可以使用按如下顺序进行的真空粘合方法：将待粘合的下部材料和上部材料分别装载于构成腔室的腔室下部和腔室上部，在腔室内分别对下部材料和上部材料进行必要的前处理之后，将下部材料和上部材料彼此对齐，在使腔室内成为真空的状态下将下部材料和上部材料彼此粘合。

技术实现思路

[0004]根据基于现有技术的粘合工艺，除了在腔室内的粘合以外的工艺也进行，整个工艺时间变长，由此用于粘合工艺的设备的数量以及占有空间也增加，从而费用也增加。
[0005]本实施例用于解决以上的问题，用于通过缩短粘合工艺的时间来提高生产率并减少投资设备的费用。
[0006]根据一实施例的承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并被固定，所述单元包括：载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。
[0007]可以是，所述装载部的上面的高度初始设定为比所述载置台的上面的高度高。
[0008]可以是，所述承载装置还包括：下防滑垫，位于所述载置台的上面；以及上防滑垫，位于所述装载部的上面。
[0009]可以是，所述下防滑垫以及所述上防滑垫中的至少一个包含乙烯醋酸乙烯酯(EVA)。
[0010]可以是，所述上防滑垫的上面的高度初始设定为比装载于所述下防滑垫之上的所述下部材料的上面的高度高。
[0011]可以是，所述承载装置还包括：移动导件，位于所述推动器和所述承载基座的侧部之间，并能够引导所述推动器的上下方向的移动。
[0012]所述移动导件包括固定于所述承载基座的侧部的轨道以及固定于所述推动器的侧面的块，所述块能够被所述轨道引导而沿着所述轨道在上下方向上移动。
[0013]可以是，所述推动器的上面形成为台阶形，所述装载部的上面形成比所述台阶形的上面中最高部分低的上面。
[0014]可以是，多个所述单元位于所述承载基座之上。
[0015]可以是，所述单元能够从所述承载基座分离，所述承载基座还包括：隔板，位于相邻的所述单元之间。
[0016]根据一实施例的粘合方法包括：将下部材料装载于能够移动的承载装置的步骤；将装载的所述下部材料进行前处理的步骤；将上部材料进行前处理的步骤；将被前处理的所述上部材料装载于所述承载装置的步骤；将所述下部材料和所述上部材料彼此对齐的步骤；以及使所述承载装置位于用于粘合工艺的腔室内，并粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤。
[0017]可以是，将所述下部材料进行前处理的步骤包括：清洗所述下部材料的步骤；剥离附着于所述下部材料之上的保护膜的步骤；以及将所述下部材料的被剥离的表面进行等离子体处理的步骤。
[0018]可以是，将所述上部材料进行前处理的步骤在除所述承载装置之外的空间进行。
[0019]可以是，所述承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并固定；所述单元包括：载置台，能够装载所述下部材料；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上可移动，并且具有能够装载所述上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。
[0020]可以是，所述腔室包括：加压部，能够加压所述推动器；以及弹性部件，附着在所述加压部的下面，所述弹性部件的底面形成中央部分的厚度最厚且厚度随着前往边缘逐渐变薄的斜度。
[0021]可以是，在粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤中，所述腔室内部为真空状态。
[0022]可以是，在粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤中，随着所述推动器下降而所述上部材料与所述下部材料开始粘合并从所述装载部离开，若完成粘合，则所述推动器的位置被所述锁定部固定。
[0023]可以是，在使所述承载装置位于所述腔室内的步骤中，使多个所述承载装置位于所述腔室内。
[0024]可以是，多个所述单元位于所述承载基座之上。
[0025]根据一实施例的腔室用于粘合工艺，并能够使得能够移动且装载待粘合的下部材料和上部材料的承载装置位于内部，所述腔室包括：加压部，能够加压所述承载装置所包括的推动器；以及弹性部件，附着在所述加压部的下面，所述弹性部件的底面形成中央部分的厚度最厚且厚度随着前往边缘逐渐变薄的斜度。
[0026]根据实施例，通过缩短粘合工艺的时间，能够提高生产率并减少投资设备的费用。
附图说明
[0027]图1示出根据一实施例的承载装置的结构。
[0028]图2是根据一实施例的粘合方法的流程图。
[0029]图3示出基于根据一实施例的粘合方法的工艺流程的承载装置。
[0030]图4示出根据一实施例的粘合方法中使用的承载装置的移动。
[0031]图5是根据一实施例的粘合方法的粘合步骤的流程图。
[0032]图6示出在根据一实施例的粘合方法的一步骤中将下部材料以及上部材料装载于承载装置的步骤。
[0033]图7示出作为图6中示出的步骤的下一步骤，使承载装置位于腔室内的步骤。
[0034]图8示出作为图7中示出的步骤的下一步骤，使加压部下降并使腔室内成为真空的步骤。
[0035]图9示出作为图8中示出的步骤的下一步骤，推动器下降而下部材料和上部材料开始彼此粘合的步骤。
[0036]图10示出作为图9中示出的步骤的下一步骤，推动器锁定而下部材料和上部材料彼此粘合的步骤。
[0037]图11示出作为图10中示出的步骤的下一步骤，完成下部材料和上部材料的粘合之后加压部上升的步骤。
[0038]图12示出作为图11中示出的步骤的下一步骤，将承载装置从腔室卸载的步骤。
[0039]图13示出作为图12中示出的步骤的下一步骤，从承载装置卸载被粘合的产品的步骤。
[0040]图14示出根据一实施例的承载装置的结构。
[0041]图15以及图16分别示出根据一实施例的承载装置和腔室的结构。
[0042]图17以及图18分别示出可以装载于根据一实施例的承载装置的下部材料以及上部材料的例子。
[0043](附图标记说明)
[0044]10：下部材料
[0045]20：上部材料
[0046]100、100A：承载装置
[0047]111：承载基座
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载装置，其中，包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并被固定，所述单元包括：载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。2.根据权利要求1所述的承载装置，其中，所述装载部的上面的高度初始设定为比所述载置台的上面的高度高。3.根据权利要求2所述的承载装置，其中，所述承载装置还包括：下防滑垫，位于所述载置台的上面；以及上防滑垫，位于所述装载部的上面。4.根据权利要求3所述的承载装置，其中，所述下防滑垫以及所述上防滑垫中的至少一个包含乙烯醋酸乙烯酯。5.根据权利要求3所述的承载装置，其中，所述上防滑垫的上面的高度初始设定为比装载于所述下防滑垫之上的所述下部材料的上面的高度高。6.根据权利要求1所述的承载装置，其中，所述承载装置还包括：移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：裵敏镐，白尚勋，姜锡宙，李俊熙，金相喆，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：