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本实用新型属于砷化镓晶片生产技术领域，具体涉及一种晶片起片器。包括起片器本体，所述起片器本体包括工作面和非工作面，所述工作面为水平面，所述非工作面为水平面与倾斜平面组合的形式，所述倾斜平面与工作面相交形成铲尖，所述工作面上开设有吸附槽，所述...
该专利属于保定通美晶体制造有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定通美晶体制造有限责任公司授权不得商用。

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