一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，属于晶圆覆膜领域，包括机架，机架上安装有用于传输薄膜的辊轮，机架上还安装有调节机构，调节机构包括两个沿平行于辊轮的方向同步且反向运动的输出端；调节机构的两个输出端上均安装有用于压紧薄膜的压紧机构。调节机构包括可转动连接在机架上的双向丝杆以及固定在机架上且与双向丝杆机械连接的调节电机；双向丝杆与滚轮平行且相对布置，双向丝杆上两段旋向相反的螺纹上均连接有传动螺母；压紧机构与机架之间设有导向件。压紧机构包括固定在传动螺母上的底座、安装在底座上的直线气缸以及安装在直线气缸的输出端上的压紧块。本实用新型专利技术能够高效、精准且无损伤地对薄膜进行张紧。且无损伤地对薄膜进行张紧。且无损伤地对薄膜进行张紧。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备


[0001]本技术涉及晶圆生产领域，特别涉及一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备。

技术介绍

[0002]在对芯片进行生产时，先是对硅锭进行分切，使硅锭呈现为片状并成为晶圆，在晶圆成型后，通过对晶圆的打磨处理并对晶圆表面进行覆膜，使晶圆可在光刻机内部进行电路刻蚀，并且在完成电路刻蚀后进行分切才可完成芯片的生产。
[0003]在对晶圆进行电路刻蚀之前需要在晶圆的表面进行多次的覆膜，通过覆膜材质对晶圆的作用，使光刻机内部的激光可通过覆膜的材质而对光线进行折射并实现电路的刻蚀。但在覆膜时，覆膜的平整度对晶圆的电路刻蚀会产生极大的影响，例如当薄膜不能平整地贴附于晶圆表面或背面时，则会有空气残留在薄膜与晶圆之间。
[0004]为了保证晶圆覆膜的平整性，在覆膜时需要对覆膜进行张紧力调整，从而使薄膜平整地覆盖到晶圆上。现有技术中，通过人工或者机器从薄膜宽度方向(横向)的两侧施加拉力，从而使薄膜呈现出张紧的状态，进而实现薄膜的平整性。但是这一操作过程中，薄膜两侧收到的拉力经常会不一致，导致薄膜整体偏斜或者导致薄膜撕裂。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的晶圆覆膜加工过程中薄膜易在张紧力作用下发生偏斜乃至撕裂的问题，本技术的目的在于提供一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案为：
[0007]一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，包括机架，所述机架上安装有用于传输薄膜的辊轮，所述机架上还安装有调节机构，所述调节机构包括两个沿平行于所述辊轮的方向同步且反向运动的输出端；所述调节机构的两个输出端上均安装有用于压紧所述薄膜的压紧机构。
[0008]优选的，所述调节机构包括双向丝杆和调节电机；所述双向丝杆可转动连接在所述机架上，且所述双向丝杆与所述辊轮平行且相对布置，所述双向丝杆上两段旋向相反的螺纹上均连接有作为所述输出端的传动螺母；所述调节电机固定安装在所述机架上，且所述调节电机与所述双向丝杆机械连接；且所述压紧机构与所述机架之间设置有平行于所述辊轮的导向件。
[0009]优选的，所述调节电机与所述双向丝杆通过联轴器连接。
[0010]优选的，所述压紧机构包括固定在所述传动螺母上的底座、安装在所述底座上的直线气缸以及安装在所述直线气缸的输出端上的压紧块。
[0011]优选的，所述压紧块由防滑、防静电材料制造。
[0012]优选的，所述导向件包括平行于所述辊轮的导轨以及连接在所述导轨上的滑块，
所述压紧机构与所述滑块固定连接。
[0013]优选的，所述导轨上设置有两个所述滑块，两个所述压紧机构分别与两个所述滑块固定连接。
[0014]优选的，所述辊轮为特氟龙辊轮。
[0015]采用上述技术方案，由于调节机构中的两个沿平行于辊轮的方向同步且反向运动的输出端、调节机构的两个输出端上分别安装的用于压紧薄膜的压紧机构以及设置在压紧机构与机架之间且平行于辊轮的导向件的设置，使得晶圆覆膜生成过程中，两个压紧机构从薄膜宽度方向(横向)两侧对薄膜施加压力后，调节机构上的两个输出端同步且反向运动即可将薄膜横向拉紧，从而消除可能存在的褶皱，实现薄膜的平整性。并且张紧过程中，薄膜宽度方向两侧受力均衡，从而有效避免薄膜发生偏斜乃至撕裂。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的主视图。
[0018]图中:1
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机架、2
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辊轮、3
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调节机构、31
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双向丝杆、32
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调节电机、33
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传动螺母、34
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联轴器、4
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压紧机构、41
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底座、42
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直线气缸、43
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压紧块、5
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导轨、6
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滑块。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0020]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示对本技术结构的说明，仅是为了便于描述本技术的简便，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]对于本技术方案中的“第一”和“第二”，仅为对相同或相似结构，或者起相似功能的对应结构的称谓区分，不是对这些结构重要性的排列，也没有排序、或比较大小、或其他含义。
[0022]另外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，连接可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个结构内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据本技术的总体思路，联系本方案上下文具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，如图1及图2所示，包括机架1以及安装在机架1上的辊轮2、调节机构3和压紧机构4。其中，辊轮2优选为滚花特氟龙辊轮，该辊轮2呈水平状安装在机架1上，辊轮2用于传输晶圆覆膜加工所用的薄膜，其主要用于对薄膜进行支撑。其中，调节机构3则包括两个沿平行于辊轮2的方向同步且反向运动的输出端，而调节机构3的两个输出端上均安装有上述的压紧机构4。两个压紧机构4用于分别向由
辊轮2所支撑的薄膜宽度反向的两侧施加压紧力，并在调节机构3的两个输出端的带动下进行同步反向运动，从而使薄膜沿其宽度方向被拉紧，进而消除褶皱，实现薄膜与晶圆表面间的覆膜平整性。
[0024]本实施例中，配置调节机构3包括双向丝杆31和调节电机32。其中，双向丝杆31具有两段旋向相反的螺纹，两段旋向相反的螺纹上均各自连接有对应的传动螺母33，而双向丝杆 31的两端则分别通过轴承与机架1可转动连接，并且该双向丝杆31与上述的辊轮2互相平行，并且两者之间具有一定的间距，该间距用于供薄膜通过。调节电机32则通过螺钉或者螺栓固定安装在机架1上，并且调节电机32的输出轴通过联轴器34与双向丝杆31的其中一个端部机械连接。而上述的两个压紧机构4则分别与两个传动螺母33固定连接。其中，由于调节机构3与辊轮2之间具有一定的间隙，因此将机架1拆分为两个相互固定的部分，调节机构3和辊轮2分别固定安装在机架1的其中一个部分上即可。
[0025]并且可以理解的是，为了防止调节机构3工作过程中压紧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，其特征在于：包括机架，所述机架上安装有用于传输薄膜的辊轮，所述机架上还安装有调节机构，所述调节机构包括两个沿平行于所述辊轮的方向同步且反向运动的输出端；所述调节机构的两个输出端上均安装有用于压紧所述薄膜的压紧机构。2.根据权利要求1所述的调控设备，其特征在于：所述调节机构包括双向丝杆和调节电机；所述双向丝杆可转动连接在所述机架上，且所述双向丝杆与所述辊轮平行且相对布置，所述双向丝杆上两段旋向相反的螺纹上均连接有作为所述输出端的传动螺母；所述调节电机固定安装在所述机架上，且所述调节电机与所述双向丝杆机械连接；且所述压紧机构与所述机架之间设置有平行于所述辊轮的导向件。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴直义，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：