一种用于半导体设备的智能交互方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种用于半导体设备的智能交互方法及系统；其中，所述方法包括：获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。本发明专利技术中的交互界面是动态的，而且是随着半导体设备的实时工作状态数据和用户的身份数据而动态调整的，使得用户可以更加便捷、准确的与半导体设备进行交互。行交互。行交互。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体设备的智能交互方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产制造及计算机
，具体而言，涉及一种用于半导体设备的智能交互方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，需要对各类制造设备的运行状态进行监控，以及向其发送相关指令以控制其运行。这种状态监控及运行操控需要通过交互界面来完成，然而，现有半导体制造设备的交互界面都是统一制式，界面上会尽可能多的显示更多状态信息、控制按钮等，这对某些操作人员来说是不必要的，反而会因冗余信息而降低工作效率。

技术实现思路

[0003]为了至少解决上述
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提供了一种用于半导体设备的智能交互方法、系统、电子设备及计算机存储介质。
[0004]本专利技术的第一方面提供了一种用于半导体设备的智能交互方法，包括如下步骤：
[0005]获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；
[0006]获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；
[0007]根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。
[0008]进一步地，所述交互界面通过Labview可视化语言开发。
[0009]进一步地，所述第一数据包括属性数据、状态数据；
[0010]则所述对所述第一数据进行评估以获得评估值，包括：
[0011]根据所述属性数据确定第一数据区间，将所述状态数据与所述第一数据区间进行匹配计算，以获得所述评估值。
[0012]进一步地，所述获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据，包括：
[0013]获取所述第一用户的图像数据，对所述图像数据进行身份识别以获得所述第一用户的第一身份数据；
[0014]或者，
[0015]通过电连接或非电连接的方式获得所述第一用户的预存数据，对所述预存数据进行解析以获得所述第一用户的第一身份数据。
[0016]进一步地，所述根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案，包括：
[0017]根据所述评估值确定第一显示要素；
[0018]根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素；
[0019]根据所述第一显示要素和所述第二显示要素生成所述第一用户的交互界面的显示方案。
[0020]进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，包括：
[0021]根据所述第一身份数据调取第一能力数据，根据所述第一能力数据确定所述第一用户的第一能力评估值；
[0022]根据所述第一能力评估值确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素。
[0023]进一步地，所述根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素，还包括：
[0024]获取预设范围内的若干第二用户的第二身份数据；
[0025]根据所述第二身份数据调取第三能力数据，根据所述第三能力数据确定所述第二用户的第三能力评估值；
[0026]根据所述第三能力评估值和所述评估值确定所述第二用户交互界面的显示方案。
[0027]本专利技术的第二方面提供了一种用于半导体设备的智能交互系统，包括接收模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述接收模块、所述存储模块连接；
[0028]所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
[0029]所述接收模块，用于获取半导体设备和用户的相关数据并传输给所述处理模块；
[0030]所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0031]本专利技术的第三方面提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0032]本专利技术的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上任一项所述的方法。
[0033]本专利技术的方案，相比于
技术介绍
中所述的统一制式的交互界面，本专利技术中的交互界面是动态的，而且是随着半导体设备的实时工作状态数据和用户的第一身份数据而个性化动态调整的，使得用户无需面对数据繁杂的交互界面，尤其是在出现异常时可以面对十分简洁的交互界面，而且还能够更加快速的对异常情况进行处置，使得交互效率得到极大的提高。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0035]图1是本专利技术实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互方法的流程示意图；
[0036]图2是本专利技术实施例公开的一种用于半导体设备的智能交互系统的结构示意图；
[0037]图3是本专利技术实施例公开一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0038]为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进
一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0039]在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。
[0040]应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0041]应当理解，尽管在本申请实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述
……
，但这些
……
不应限于这些术语。这些术语仅用来将
……
区分开。例如，在不脱离本申请实施例范围的情况下，第一
……
也可以被称为第二
……
，类似地，第二
……
也可以被称为第一
……
。
[0042]取决于语境，如在此所使用的词语“如果”、“若”可以被解释成为“在
……
时”或“当
……
时”或“响应于确定”或“响应于检测”。类似地，取决于语境，短语“如果确定”或“如果检测(陈述的条件或事件)”可以被解释成为“当确定时”或“响应于确定”或“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于，包括如下步骤：获取半导体设备的第一数据，对所述第一数据进行评估以获得评估值；获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据；根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述交互界面通过Labview可视化语言开发。3.根据权利要求1或2所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述第一数据包括属性数据、状态数据；则所述对所述第一数据进行评估以获得评估值，包括：根据所述属性数据确定第一数据区间，将所述状态数据与所述第一数据区间进行匹配计算，以获得所述评估值。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述获取第一用户的第二数据，根据所述第二数据确定所述第一用户的第一身份数据，包括：获取所述第一用户的图像数据，对所述图像数据进行身份识别以获得所述第一用户的第一身份数据；或者，通过电连接或非电连接的方式获得所述第一用户的预存数据，对所述预存数据进行解析以获得所述第一用户的第一身份数据。5.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的智能交互方法，其特征在于：所述根据所述评估值和所述第一身份数据确定所述第一用户的交互界面的显示方案，包括：根据所述评估值确定第一显示要素；根据所述第一身份数据确定与所述第一显示要素关联的第二显示要素；根据所述第一显示要素和所述第二显示要素生成所述第一用户的交互界面的显示方案。6.根据权利要求5所述的一种用于半导体设备的智能交互方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶良帅，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：