【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，特别涉及一种便于更换传感器的晶圆转移装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，是最常用的半导体材料，按其直径分为6英寸、8英寸等规格，近年来为了满足半导体制造的需要，已经发展出12英寸甚至更大规格的晶圆，随着晶圆尺寸的不断增大，对晶圆制造工艺的要求也不断提高。
2、晶圆匣是用于存储和转移晶圆的装置，在晶圆制造过程中，需要多次将晶圆从晶圆匣中取出并送往加工位，加工完成之后再送入晶圆匣中进行存储或转移。机械手是用于将晶圆从晶圆匣中取出、将晶圆从加工位送回晶圆匣、以及在不同加工位之间进行晶圆转移的装置，机械手的末端通常安装有晶圆吸附手指，例如伯努利手指，其用于通过负压吸附的方式固定晶圆，从而实现晶圆的转移。
3、在进行晶圆转移时，首先需要知晓晶圆在晶圆匣以及加工位中的位置及状态，然后才能够控制机械手及晶圆吸附手指准确动作。目前主要通过对射传感器或者反射传感器来检测晶圆的位置，传感器与晶圆吸附手指一同固定在手指连接件上，手指连接件再固定在机械手的末端，因此使用时需要选择搭载有合适类型的传感器的手指连接件进行安装部署。
4、然而在晶圆的实际生产环节中，时常需要更换传感器的类型，而更换传感器时则还需要进行手指连接件的更换，而手指连接件的更换又牵扯到晶圆吸附手指的拆装，导致传感器更换步骤较为繁琐，严重影响生产效率。
5、另外，对于对射式传感器，其发射器与接收器之间的距离需要随着晶圆的尺寸变化而变
技术实现思路
1、针对现有技术存在的晶圆转移装置在更换不同类型传感器时步骤繁琐耗时从而影响生产效率的问题，本技术的目的在于提供一种便于更换传感器的晶圆转移装置，以便于至少部分地解决上述问题。
2、为实现上述目的，本技术的技术方案为：
3、一种便于更换传感器的晶圆转移装置，包括机械手和晶圆吸附手指，所述机械手的末端固定安装有手指连接件，所述手指连接件的近端和远端分别可拆卸固定连接有mapping支架和手指加长件；所述晶圆吸附手指可拆卸固定连接在所述手指加长件的远端；所述mapping支架至少包括对射式mapping支架，所述对射式mapping支架包括两个相对布置的安装架，所述安装架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接，所述手指连接件的近端设置有若干个呈一排布置的支架螺钉孔，以便于调节两个所述安装架的间距。
4、优选的，所述mapping支架包括反射式mapping支架，所述反射式mapping支架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接。
5、优选的，所述反射式mapping支架与所述对射式mapping支架择一连接在所述手指连接件上。
6、优选的，所述手指连接件包括相互间通过连接件螺钉可拆卸固定连接的底板和盖板，所述支架螺钉孔开设在所述底板的近端，所述盖板远端底面设置有与所述手指加长件相适配的加长件安装槽，所述底板的远端底面旋拧有用于连接所述底板与所述手指加长件的加长件螺钉。
7、优选的，所述手指加长件包括基板和压板，所述基板的远端顶面一侧设置有与所述压板相适配的安装台阶，所述压板的底面一侧开设有与所述晶圆吸附手指相适配的手指安装槽，所述基板与所述压板通过紧固螺钉固定，以便于将所述晶圆吸附手指压紧固定在所述手指安装槽中。
8、优选的，所述基板为可锁紧伸缩板。
9、优选的，所述机械手包括底座、大臂和小臂，所述底座与所述大臂之间、所述大臂与所述小臂之间、所述小臂与所述手指连接件之间均连接有关节模组。
10、采用上述技术方案，本技术的有益效果在于：通过手指连接件近端处一排共多个支架螺钉孔的设置，使得对射式mapping支架和反射式mapping支架均能够通过支架螺钉孔进行安装，从而方便进行不同类型传感器的快速更换；另外对射式mapping支架中的两个安装架还能够调整其间距，以便于适配不同尺寸规格的晶圆；而手指加长件的设置，则又使得晶圆吸附手指的最远伸出距离能够得到有效提高，从而具有更大的使用范围，相比于现有技术，能够降低对手指连接件的尺寸规格要求，从而降低手指连接件的库存。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种便于更换传感器的晶圆转移装置，包括机械手和晶圆吸附手指，其特征在于：所述机械手的末端固定安装有手指连接件，所述手指连接件的近端和远端分别可拆卸固定连接有mapping支架和手指加长件；所述晶圆吸附手指可拆卸固定连接在所述手指加长件的远端；所述mapping支架至少包括对射式mapping支架，所述对射式mapping支架包括两个相对布置的安装架，所述安装架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接，所述手指连接件的近端设置有若干个呈一排布置的支架螺钉孔，以便于调节两个所述安装架的间距。
2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述mapping支架包括反射式mapping支架，所述反射式mapping支架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述反射式mapping支架与所述对射式mapping支架择一连接在所述手指连接件上。
4.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述手指连接件包括相互间通过连接件螺钉可拆卸固定连接的底板和盖板，所述支架螺钉孔开
5.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述手指加长件包括基板和压板，所述基板的远端顶面一侧设置有与所述压板相适配的安装台阶，所述压板的底面一侧开设有与所述晶圆吸附手指相适配的手指安装槽，所述基板与所述压板通过紧固螺钉固定，以便于将所述晶圆吸附手指压紧固定在所述手指安装槽中。
6.根据权利要求5所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述基板为可锁紧伸缩板。
7.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述机械手包括底座、大臂和小臂，所述底座与所述大臂之间、所述大臂与所述小臂之间、所述小臂与所述手指连接件之间均连接有关节模组。
...【技术特征摘要】
1.一种便于更换传感器的晶圆转移装置，包括机械手和晶圆吸附手指，其特征在于：所述机械手的末端固定安装有手指连接件，所述手指连接件的近端和远端分别可拆卸固定连接有mapping支架和手指加长件；所述晶圆吸附手指可拆卸固定连接在所述手指加长件的远端；所述mapping支架至少包括对射式mapping支架，所述对射式mapping支架包括两个相对布置的安装架，所述安装架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接，所述手指连接件的近端设置有若干个呈一排布置的支架螺钉孔，以便于调节两个所述安装架的间距。
2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述mapping支架包括反射式mapping支架，所述反射式mapping支架通过支架螺钉与所述手指连接件的近端可拆卸固定连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述反射式mapping支架与所述对射式mapping支架择一连接在所述手指连接件上。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈凯，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。