一种晶圆隔离纸振动分离设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆隔离纸振动分离设备，属于晶圆加工领域，包括底座、平台和振动电机；平台位于底座的上方，且平台的底面与底座的顶面之间连接有多个弹性部件；振动电机固定连接在平台的底面；平台的顶面放置有晶圆盒，平台的顶面还固定有多个挡杆，多个挡杆周向环绕晶圆盒布置，且挡杆与晶圆盒的周向侧壁之间具有间隙。本实用新型专利技术结构简单且设计合理，能够高效地将隔离纸从晶圆上分离，从而提高晶圆加工的效率以及避免人工操作过程中可能发生的机械伤害事故发生。能发生的机械伤害事故发生。能发生的机械伤害事故发生。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆隔离纸振动分离设备


[0001]本技术涉及晶圆加工领域，特别涉及一种晶圆隔离纸振动分离设备。

技术介绍

[0002]目前一般采用真空包装进行晶圆产品的运输，具体是将晶圆放置在晶圆盒内，同时在晶圆上粘附有隔离纸，通过隔离纸对晶圆进行防尘、防静电保护。
[0003]当晶圆盒运输到目的地并需要进行后续加工时，首先是借助机械手从晶圆盒中取出晶圆，再进行后续的半导体的生产加工。
[0004]但由于晶圆上还粘附有隔离纸，而机械手又难以顺利地从晶圆盒内单独取出晶圆，因此晶圆上往往还粘附有隔离纸，通常还需要人工辅助去除晶圆上粘附的隔离纸，而人工的介入不但降低了晶圆加工的生成效率，还存在着机械伤人的可能。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的晶圆上粘附的隔离纸去除工作效率低的问题，本技术的目的在于提供一种晶圆隔离纸振动分离设备。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案为：
[0007]一种晶圆隔离纸振动分离设备，包括底座、平台和振动电机；所述平台位于所述底座的上方，且所述平台的底面与所述底座的顶面之间连接有多个弹性部件；所述振动电机固定连接在所述平台的底面；所述平台的顶面放置有晶圆盒，所述平台的顶面还固定有多个挡杆，多个所述挡杆周向环绕所述晶圆盒布置，且所述挡杆与所述晶圆盒的周向侧壁之间具有间隙。
[0008]进一步的，所述平台的顶面设置有用于放置所述晶圆盒的容置凹槽，且所述容置凹槽的形状与所述晶圆盒的形状相适配，所述容置凹槽的尺寸大于所述晶圆盒的尺寸。
>[0009]优选的，所述挡杆的顶端低于所述晶圆盒的顶端，且所述挡杆的顶端高于所述晶圆盒的高度中线。
[0010]优选的，所述弹性部件为螺旋弹簧或者橡胶垫块。
[0011]优选的，所述晶圆盒呈圆形，多个所述挡杆间隔分布在以所述晶圆盒的轴线为中心的同一圆周上。
[0012]优选的，所述平台呈方形，所述挡杆两两一组成对布置，所述挡杆共有四组并分别设置在所述平台的四角。
[0013]优选的，所述振动电机具体为YZO振动电机。
[0014]采用上述技术方案，本技术的有益效果在于：
[0015]1、由于平台与底座之间连接的弹性部件以及平台上连接的振动电机的设置，使得振动电机工作时，晶圆盒中装载的晶圆随之发生振动，使得晶圆与隔离纸之间的粘附效果降低乃至失效，从而使机械手在振动结束后能够在没有人工介入的情况下将晶圆单独地从晶圆盒中取出，从而大大提高了晶圆加工效率；
[0016]2、由于周向环绕晶圆盒设置的多个挡杆以及挡杆与晶圆盒之间间隙的设置，使得晶圆盒一方面能够在挡杆所环绕的范围内活动，另一方面又能够有效防止晶圆盒从平台上脱落，从而始终维持振动效果。
附图说明
[0017]图1为本技术的主视图；
[0018]图2为本技术中晶圆盒在平台上的放置示意图。
[0019]图中:1
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底座、2
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平台、3
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振动电机、4
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晶圆盒、5
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弹性部件、6
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挡杆。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0021]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示对本技术结构的说明，仅是为了便于描述本技术的简便，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]对于本技术方案中的“第一”和“第二”，仅为对相同或相似结构，或者起相似功能的对应结构的称谓区分，不是对这些结构重要性的排列，也没有排序、或比较大小、或其他含义。
[0023]另外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，连接可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个结构内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据本技术的总体思路，联系本方案上下文具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]一种晶圆隔离纸振动分离设备，如图1及图2所示，包括底座1、平台2、振动电机3和晶圆盒4。
[0025]其中，底座1和平台2均配置为板状结构，平台2位于底座1的正上方，且平台2的底面与底座1的顶面之间连接有多个弹性部件5，例如螺旋弹簧，而弹性部件5有效配置有四个并分别连接在底座1和平台2的四角处，以便于平稳地支撑平台2。在另一优选实施例中，弹性部件5还可以配置为具有弹性的橡胶块。
[0026]振动电机3具体配置为YZO振动电机，振动电机3通过螺栓固定连接在平台2的底面中心处，以便于振动电机3工作时，平台2不至于因振动幅度过大而出现较大的颠簸。从而能够在一定程度上防止晶圆盒4掉落。
[0027]晶圆盒4防止在平台2的顶面，并且平台2的顶面还固定有多个挡杆6，多个挡杆6周向环绕晶圆盒4布置，且挡杆6与晶圆盒4的周向侧壁之间具有间隙。例如本实施例中，首先在平台2的顶面设置有用于放置晶圆盒4的容置凹槽，该容置凹槽的形状与晶圆盒4的形状相适配，容置凹槽的尺寸大于晶圆盒4的尺寸，例如当晶圆盒4呈圆形时，容置凹槽也呈圆形
且其直径大于晶圆盒4的外径，此时挡杆6布置在容置凹槽的边缘处即可确保其与晶圆盒4的侧壁之间具有一定的间隙，并且多个挡杆6间隔分布在以晶圆盒4(容置凹槽)的轴线为中心的同一圆周上。
[0028]本实施例中，进一步配置平台2呈方形，并且容置凹槽开设在平台2顶面的中心处。而挡杆6配置有八个，八个挡杆6两两一组成对布置，四组挡杆6分别设置在平台2的四角处，并且每组中的两个挡杆6关于平台2的对角线对称设置。
[0029]本实施例中，进一步配置挡杆6的顶端低于晶圆盒4的顶端，且挡杆6的顶端高于晶圆盒4的高度中线。如此设置，在确保挡杆6能够对晶圆盒4进行有效阻挡的基础上，尽量降低挡杆6的长度尺寸，从而降低设备对振动电机3的要求。
[0030]使用时，将粘附有隔离纸的晶圆放入到晶圆盒4中，将晶圆盒4放置在容置凹槽内，启动振动电机3，在振动电机3将振动传递给平台2，由于晶圆盒4与挡杆6之间的间隙的存在，使得晶圆盒4具有更大的活动空间，从而具有更佳的振动效果，使得隔离纸能够更好地从晶圆上脱离，以便于机械手将晶圆单独地从晶圆盒4中取出，实现生成效率的提高。
[0031]以上结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但本技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆隔离纸振动分离设备，其特征在于：包括底座、平台和振动电机；所述平台位于所述底座的上方，且所述平台的底面与所述底座的顶面之间连接有多个弹性部件；所述振动电机固定连接在所述平台的底面；所述平台的顶面放置有晶圆盒，所述平台的顶面还固定有多个挡杆，多个所述挡杆周向环绕所述晶圆盒布置，且所述挡杆与所述晶圆盒的周向侧壁之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸振动分离设备，其特征在于：所述平台的顶面设置有用于放置所述晶圆盒的容置凹槽，且所述容置凹槽的形状与所述晶圆盒的形状相适配，所述容置凹槽的尺寸大于所述晶圆盒的尺寸。3.根据权利要求1所述的晶圆隔离纸振动分离设备，...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈凯，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：