自动晶圆搬运系统技术方案

本实用新型专利技术涉及晶圆搬运领域，具体涉及自动晶圆搬运系统，包括推送臂、支撑铲、快速推升机构和容纳箱，支撑铲固定安装在推送臂上，还包括缓慢推升机构和水平校准器，缓慢推升机构固定安装在快速推升机构的底部，用于向上推动推送臂进而再次运动，水平校准器固定安装在容纳箱上，该自动晶圆搬运系统，通过设置缓慢推升机构带动支撑铲进行二次升降，不需要使用使用升降平台，直接使用固定平台即可，避免发生磨损误差，并且通过在容纳箱的侧面设置水平校准器，工人能够随时对支撑铲进行检测，当支撑铲的倾斜幅度达到预设值时，工人需要对其进行更换，并且水平校准器在不使用时，水平校准器能够收回到容纳箱的侧面，避免影响机械手的工作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
自动晶圆搬运系统


[0001]本技术涉及晶圆搬运领域，具体涉及自动晶圆搬运系统。

技术介绍

[0002]在对晶圆进行搬运检测时，需要使用机械手进行搬运，但由于机械手上升，并将晶圆输送到检测设备上后，还需要使用升降平台向上推动对晶圆向上推动，使得晶圆与支撑铲之间进行分离，再通过机械手进行收回，而通过平台进行升降，长期使用情况下，升降的高度会发生磨损误差，工人只能对升降平台进行更换，增加了成本，并且通过支撑铲对晶圆进行支撑时，长期使用后，支撑铲会发生倾斜，但由于倾斜的幅度不明显时，工人往往会忽视对支撑铲进行更换。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供自动晶圆搬运系统。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供自动晶圆搬运系统，包括推送臂、支撑铲、快速推升机构和容纳箱，支撑铲固定安装在推送臂上，推送臂用于水平推送支撑铲，使得支撑铲带动晶圆进行运动，推送臂固定安装在快速推升机构上，快速推升机构用于水平向上输送推送臂，且快速推升机构固定安装在容纳箱内，还包括缓慢推升机构和水平校准器，缓慢推升机构固定安装在快速推升机构的底部，用于向上推动推送臂进而再次运动，水平校准器固定安装在容纳箱上，用于判断支撑铲是否发生的弯曲。
[0006]进一步的，快速推升机构包括延伸柱台、拉升气缸、导座、导柱和安装板，导座固定安装在容纳箱的内侧顶部，导柱与导座滑动连接，安装板固定安装在导柱的底部，缓慢推升机构固定安装在安装板上，延伸柱台固定安装在缓慢推升机构的输送端上，使得缓慢推升机构工作时，能够向上推动延伸柱台，拉升气缸固定安装在容纳箱的内缘顶部，拉升气缸的输出端与安装板固定连接，推送臂固定安装在延伸柱台上。
[0007]进一步的，缓慢推升机构为电动推杆，缓慢推升机构通过安装座固定安装在安装板上，缓慢推升机构的输出端与延伸柱台固定连接。
[0008]进一步的，水平校准器包括转动支座、固定板、转板和滑移板，转动支座固定安装在容纳箱的外壁上，用于供滑移板转动收回到容纳箱的侧面，固定板固定安装在转动支座上，转板的一端与固定板的一端转动连接，滑移板可滑动的安装在转板上。
[0009]进一步的，滑移板的底部设置有滑块，滑块插设在转板内，转板上开设有供滑块滑动的条形滑槽，滑块的底部设置有用于限位的限位板。
[0010]进一步的，转板的底部设置有转轴，转轴与固定板转动连接，转板的底部还设置有增高环，增高环套设在转轴上，增高环位于转板和固定板之间。
[0011]进一步的，转动支座包括转座、水平转杆和竖直转杆，转座固定安装在容纳箱的外壁上，水平转杆的一端与转座转动连接，另一端与竖直转杆转动连接，转座上设置有第一限
位板，水平转杆上设置有与第一限位板配合的第一转动抵板，使得水平转杆转动到水平状态时无法发生继续转动，水平转杆上设置有第二限位板，竖直转杆上设置有与第二限位板配合的第二转动抵板，使得竖直转杆转动到竖直状态时无法发生继续转动，固定板固定安装在转动支座的顶部。
[0012]本技术的有益效果：该自动晶圆搬运系统，通过设置缓慢推升机构带动支撑铲进行二次升降，不需要使用使用升降平台，直接使用固定平台即可，避免发生磨损误差，并且通过在容纳箱的侧面设置水平校准器，工人能够随时对支撑铲进行检测，当支撑铲的倾斜幅度达到预设值时，工人需要对其进行更换，并且水平校准器在不使用时，水平校准器能够收回到容纳箱的侧面，避免影响机械手的工作。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术去除容纳箱的立体结构示意图；
[0016]图3为水平校准器的立体结构示意图；
[0017]图4为水平校准器的局部立体结构分解示意图；
[0018]图中：1、推送臂；2、支撑铲；3、快速推升机构；3a、延伸柱台；3b、拉升气缸；3c、导座；3d、导柱；3e、安装板；4、缓慢推升机构；5、容纳箱；6、水平校准器；6a、转动支座；6a1、转座；6a2、水平转杆；6a3、竖直转杆；6b、固定板；6c、转板；6d、滑移板；6e、滑块；6f、增高环。
具体实施方式
[0019]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0020]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。
[0021]参照图1至图4所示的自动晶圆搬运系统，包括推送臂1、支撑铲2、快速推升机构3和容纳箱5，支撑铲2固定安装在推送臂1上，推送臂1用于水平推送支撑铲2，使得支撑铲2带动晶圆进行运动，推送臂1固定安装在快速推升机构3上，快速推升机构3用于水平向上输送推送臂1，且快速推升机构3固定安装在容纳箱5内，还包括缓慢推升机构4和水平校准器6，缓慢推升机构4固定安装在快速推升机构3的底部，用于向上推动推送臂1进而再次运动，水平校准器6固定安装在容纳箱5上，用于判断支撑铲2是否发生的弯曲。
[0022]快速推升机构3包括延伸柱台3a、拉升气缸3b、导座3c、导柱3d和安装板3e，导座3c固定安装在容纳箱5的内侧顶部，导柱3d与导座3c滑动连接，安装板3e固定安装在导柱3d的底部，缓慢推升机构4固定安装在安装板3e上，延伸柱台3a固定安装在缓慢推升机构4的输送端上，使得缓慢推升机构4工作时，能够向上推动延伸柱台3a，拉升气缸3b固定安装在容纳箱5的内缘顶部，拉升气缸3b的输出端与安装板3e固定连接，推送臂1固定安装在延伸柱台3a上。通过控制器控制拉升气缸3b进行工作，将使得拉升气缸3b向上拉动安装板3e，安装板3e将向上带动缓慢推升机构4进行快速运动，使得缓慢推升机构4带动快速推升机构3向
上运动，缓慢推升机构4将带动延伸柱台3a向上运动，使得延伸柱台3a带动推送臂1向上运动，当快速推升机构3上升完成后，通过控制器控制缓慢推升机构4进行上升，使得支撑铲2向上再次运动，当晶圆被推送到检测设备上后，再通过控制器控制缓慢推升机构4进行下降，缓慢推升机构4将带动支撑铲2进行下降，使得晶圆放置在检测设备上。
[0023]缓慢推升机构4为电动推杆，缓慢推升机构4通过安装座固定安装在安装板3e上，缓慢推升机构4的输出端与延伸柱台3a固定连接。通过控制器控制缓慢推升机构4进行工作，缓慢推升机构4将缓慢向上推动延伸柱台3a进行运动，支撑铲2将进行上升，反之，缓慢推升机构4反向工作，将使得延伸柱台3a进行下降，使得支撑铲2进行下降，不需要在检测设备上设置升降平台来支撑晶圆，只需要设置固定平台即可。
[0024]水平校准器6包括转动支座6a、固定板6b、转板6c和滑移板6d，转动支座6a固定安装在容纳箱5的外壁上，用于供滑移板6d转动收回本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.自动晶圆搬运系统，包括推送臂(1)、支撑铲(2)、快速推升机构(3)和容纳箱(5)，支撑铲(2)固定安装在推送臂(1)上，推送臂(1)用于水平推送支撑铲(2)，使得支撑铲(2)带动晶圆进行运动，推送臂(1)固定安装在快速推升机构(3)上，快速推升机构(3)用于水平向上输送推送臂(1)，且快速推升机构(3)固定安装在容纳箱(5)内，其特征在于，还包括缓慢推升机构(4)和水平校准器(6)，缓慢推升机构(4)固定安装在快速推升机构(3)的底部，用于向上推动推送臂(1)进而再次运动，水平校准器(6)固定安装在容纳箱(5)上，用于判断支撑铲(2)是否发生的弯曲。2.根据权利要求1所述的自动晶圆搬运系统，其特征在于，快速推升机构(3)包括延伸柱台(3a)、拉升气缸(3b)、导座(3c)、导柱(3d)和安装板(3e)，导座(3c)固定安装在容纳箱(5)的内侧顶部，导柱(3d)与导座(3c)滑动连接，安装板(3e)固定安装在导柱(3d)的底部，缓慢推升机构(4)固定安装在安装板(3e)上，延伸柱台(3a)固定安装在缓慢推升机构(4)的输送端上，使得缓慢推升机构(4)工作时，能够向上推动延伸柱台(3a)，拉升气缸(3b)固定安装在容纳箱(5)的内缘顶部，拉升气缸(3b)的输出端与安装板(3e)固定连接，推送臂(1)固定安装在延伸柱台(3a)上。3.根据权利要求2所述的自动晶圆搬运系统，其特征在于，缓慢推升机构(4)为电动推杆，缓慢推升机构(4)通过安装座固定安装在安装板(3e)上，缓慢推升机构(4)的输出端与延伸柱台(3a)固定连接。4.根据权利要求1所述的自动晶圆搬运系统，其特征在于，水...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海龙，
申请(专利权)人：芯茂嘉兴半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：