一种晶圆切割机的切割线材张紧机构制造技术

本实用新型专利技术涉及多线切割机领域，尤其涉及到一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，包括机架和安装板，所述安装板与所述机架转动连接，所述安装板上固定设置有隔板，所述隔板上转动设置有两个滚轮，所述隔板上设置有容置槽，两个所述滚轮设置在所述容置槽的两侧，所述安装板上滑动设置有一调节辊，所述安装板上还固定设置有一张力测试计。本实用新型专利技术通过调节辊和张力测试计的设置，使得能在安装板摆动时，通过调节辊实时调节金属丝的张力，从而保证金属丝的张力保持在一定范围内，避免了金属丝拉断的情况发生，提升了生产的安全性。提升了生产的安全性。提升了生产的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割机的切割线材张紧机构


[0001]本技术涉及多线切割机领域，尤其涉及到一种晶圆切割机的切割线材张紧机构。

技术介绍

[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。
[0003]目前，在切割硅片时，为了加块切割速度，有些种类的多线切割机会采用规律摇晃切割装置使得产品与金属丝的接触更加充分。但是，摇摆会使得金属丝受到的拉力产生规律变化，一但金属丝的张力大于金属丝的抗拉极限，金属丝就会断裂，造成生产事故。因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，包括机架和安装板，所述安装板与所述机架转动连接，所述安装板上固定设置有隔板，所述隔板上转动设置有两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，包括机架(10)和安装板(20)，所述安装板(20)与所述机架(10)转动连接，其特征在于：所述安装板(20)上固定设置有隔板(30)，所述隔板(30)上转动设置有两个滚轮(40)，所述隔板(30)上设置有容置槽(301)，两个所述滚轮(40)设置在所述容置槽(301)的两侧，所述安装板(20)上滑动设置有一调节辊(50)，所述安装板(20)上还固定设置有张力测试计(60)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，其特征在于：所述机架(10)上转动设置有绕线轮(70)和导向辊(80)，所述绕线轮(70)的转轴走向和所述导向辊(80)的转轴走向平行，且所述绕线轮(70)的左侧边与所述导向辊(80)的左侧边位于同一竖直面内。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海龙，
申请(专利权)人：芯茂嘉兴半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：