【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，具体为一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构。
技术介绍
1、晶圆是半导体行业的关键元件，其制作工艺较为麻烦，且晶圆片的运输需要非常小心，由于其材质原因，在转运的过程中常会出现边角崩裂导致晶圆体失去原先的作用，其外工作人员也不能直接拿取晶圆片，这容易导致晶体表面受到污染甚至破裂；
2、在现有的晶圆片抓取技术中，通常采用机械臂夹持的放置对晶圆片进行运输，但是常出现以下几种问题：
3、1.现有的晶圆片抓取技术通常采用单个或两个抓持臂对晶圆片进行抓持，这导致其对晶圆片的运输效率不高，且能源消耗较大；
4、2.现有的晶圆片抓取技术，无法自动根据晶圆片的大小自动调整抓持结构的尺寸；
5、3.现有的晶圆片运输结构在夹持运输的过程中会随着机械手一起翻转，容易导致晶圆片发生破裂；
6、同时，在现有的晶圆片接料技术中，通常是采用自动上料的装置配合机械臂单个对晶圆片进行夹持码放，导致其码放效率不高，影响整体的生产运输的效率，因此，根据上述问题提供一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构，用以解决上述问题。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
2、一种晶圆片智能手臂抓取组件，包括抓取结构和接料结构，抓取结构包括有旋转台本体，旋转台本体的上表面等分设置有若干固定外壳，固定外壳远离旋转台本体的一侧设置有x型支架，x型支架的下表面设置有吸盘本体，接料结构包括有设置在旋转台本体一侧的接料外壳。
3、作为本专利技术优选的方案，固定外壳的下端与旋转台本体的上端相接触且为螺栓连接，固定外壳靠近x型支架的一侧外壁开设有第一活动槽，第一活动槽的内部设置有丝杆，丝杆的上下两端与第一活动槽的内部两端相接触且为转动连接，固定外壳的上表面与丝杆相匹配的位置设置有旋转电机，旋转电机的输出端贯穿固定外壳的外壁与丝杆的一端外壁相接触且为传动连接，丝杆的外壁套设有第二固定块，第二固定块的内壁与丝杆的外壁相接触且为螺纹连接，第二固定块的一端外壁与第一活动槽的内壁相接触且为滑动连接，第二固定块远离第一活动槽的一端设置有连接横杆，连接横杆的一侧外壁中心与第二固定块的一端外壁相接触且为螺栓连接，连接横杆远离第二固定块的一侧设置有x型支架。
4、作为本专利技术优选的方案，x型支架的上表面贯穿设置有位移槽体，x型支架位于位移槽体的两侧对称开设有限制槽体，限制槽体与位移槽体相连通，限制槽体的一端内部设置有第一固定块，第一固定块的两端外壁与限制槽体的内壁相接触且为滑动连接，第一固定块的表面中心处设置有吸盘本体，吸盘本体的上表面与第一固定块的下表面相接触且为密闭连接，吸盘本体的上表面中心贯穿设置有吸盘通孔，第一固定块的上表面中心设置有气泵连接头，气泵连接头的外壁与第一固定块的上表面相接触且为支架连接，吸盘通孔的上端贯穿第一固定块的上表面并与气泵连接头的输入端相接触且为密闭连接。
5、作为本专利技术优选的方案，第一固定块的一侧设置有位移液压杆，位移液压杆的输出端与第一固定块的一侧外壁相接触且为支架连接，位移液压杆远离输出端的一侧外壁与位移槽体的一端内壁相接触且为支架连接，固定外壳的上表面设置有上部连接板，上部连接板的下表面一侧与固定外壳的上表面相接触且为螺栓连接，上部连接板远离固定外壳的一端设置有视觉模块，视觉模块的外壁与上部连接板的一端外壁相接触且为支架连接，多个x型支架的下端设置有输送本体。
6、作为本专利技术优选的方案，接料外壳的内部中心设置有工作台，工作台的一侧设置有第一移动架，第一移动架的内部两侧设置有存放外壳，存放外壳的内部设置有若干收纳板，工作台的另一侧设置有第二移动架，第二移动架的内部下端设置有滑板，滑板的两侧对称设置有挂耳接料外壳的一侧贯穿设置有放置槽，放置槽的内壁下端与工作台的两侧外壁相接触且为螺栓连接，放置槽的内壁上端对称开设有两个夹持槽体，两个夹持槽体的内部均设置有夹持液压杆，夹持液压杆远离输出端的一侧外壁与放置槽的一端外壁相接触且为支架连接，夹持液压杆的输出端设置有安装块，安装块的一侧外壁与夹持液压杆输出端相接触且为支架连接，安装块的外壁与夹持槽体的内壁相接触且为滑动连接，安装块的一侧外壁设置有伸缩杆，伸缩杆远离输出端的一侧外壁与安装块的一侧外壁相接触且为支架连接，伸缩杆的输出端设置有夹持块，夹持块的一侧外壁与伸缩杆的输出端相接触且为支架连接。
7、作为本专利技术优选的方案，第一移动架的靠近工作台的一侧外壁下端对称设置有定位块，定位块的一侧外壁与第一移动架的一侧外壁相接触且为螺栓连接，定位块的另一侧外壁与工作台的一侧外壁相接触，存放外壳的下表面与第一移动架的上表面相接触且为螺栓连接，两个存放外壳相向的一侧外壁开口且内部上下两端均对称设置有皮带轮，皮带轮的两端外壁均与存放外壳的内壁相接触且为转动连接，存放外壳的一侧下端设置有带动电机，带动电机的外壁与存放外壳的外壁相接触且为支架连接，带动电机的输出端贯穿存放外壳的外壁与皮带轮的一端外壁相接触且为传动连接。
8、作为本专利技术优选的方案，两个皮带轮的外壁均套设有两个皮带本体，两个皮带本体的内壁均与皮带轮的外壁相接触且为啮合连接，皮带本体的外壁设置有若干挡块，挡块的一侧外壁与皮带本体的外壁相接触且为支架连接，挡块的上端设置有收纳板，收纳板的下表面一侧与挡块的上表面相接触，收纳板的上表面开设有多个圆弧形凹槽，圆弧形凹槽的内部底板上表面开设有安置槽。
9、作为本专利技术优选的方案，放置槽位于第二移动架的一侧底板上表面设置有底部支撑块，底部支撑块的下表面与放置槽的底板上表面相接触且为固定连接，第二移动架的底板上表面贯穿设置有与底部支撑块相匹配的第二活动槽，底部支撑块的上表面对称设置有举升液压缸，举升液压缸远离输出端一侧外壁与底部支撑块的上表面相接触且为支架连接，举升液压缸输出端设置有收纳盒，收纳盒内部空心且上端开口，收纳盒的底板上表面设置有压力传感器。
10、作为本专利技术优选的方案，压力传感器远离输出端的一侧外壁与收纳盒的底板上相接触且为支架连接，压力传感器输出端与滑板下表面相接触，滑板的外壁与收纳盒的内壁相接触且为滑动连接，挂耳相向的一侧外壁与滑板的两侧外壁相接触且为固定连接，挂耳的下表面与第二移动架的上表面相接触。
11、作为本专利技术优选的方案，放置槽的一端设置有第一活动板，第一活动板的外壁与接料外壳的一端外壁相接触且为合页连接，放置槽的另一端设置有第二活动板，第二活动板的一侧外壁与接料外壳的一端外壁相接触且为合页连接。
12、综上所述，本专利技术主要具有以下有益效果：
13、本专利技术在结构上设置有抓取结构和接料结构：
14、1.抓取结构：该抓取结构设置有旋转台本体和x型支架，当旋转台本体进行旋转时能够转动x型支架进行位移，因而可以在完成对晶圆片的夹持后，继续对晶圆片进行连续夹持，并且支持多线路同时夹持，极大的加快了对晶圆片的夹持效率，同时，通过视觉模块和位移液压杆推动第一固定块之间的配合下，能够改变吸本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆片智能手臂抓取组件，包括抓取结构(100)和接料结构(200)，其特征在于，所述抓取结构(100)包括有旋转台本体(111)，所述旋转台本体(111)的上表面等分设置有若干固定外壳(151)，所述固定外壳(151)远离旋转台本体(111)的一侧设置有X型支架(121)，所述X型支架(121)的下表面设置有吸盘本体(131)，所述接料结构(200)包括有设置在旋转台本体(111)一侧的接料外壳(211)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述固定外壳(151)的下端与旋转台本体(111)的上端相接触且为螺栓连接，所述固定外壳(151)靠近X型支架(121)的一侧外壁开设有第一活动槽(152)，所述第一活动槽(152)的内部设置有丝杆(153)，所述丝杆(153)的上下两端与第一活动槽(152)的内部两端相接触且为转动连接，所述固定外壳(151)的上表面与丝杆(153)相匹配的位置设置有旋转电机(154)，所述旋转电机(154)的输出端贯穿固定外壳(151)的外壁与丝杆(153)的一端外壁相接触且为传动连接，所述丝杆(153)的
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述X型支架(121)的上表面贯穿设置有位移槽体(122)，所述X型支架(121)位于位移槽体(122)的两侧对称开设有限制槽体(123)，所述限制槽体(123)与位移槽体(122)相连通，所述限制槽体(123)的一端内部设置有第一固定块(133)，所述第一固定块(133)的两端外壁与限制槽体(123)的内壁相接触且为滑动连接，所述第一固定块(133)的表面中心处设置有吸盘本体(131)，所述吸盘本体(131)的上表面与第一固定块(133)的下表面相接触且为密闭连接，所述吸盘本体(131)的上表面中心贯穿设置有吸盘通孔(132)，所述第一固定块(133)的上表面中心设置有气泵连接头(134)，所述气泵连接头(134)的外壁与第一固定块(133)的上表面相接触且为支架连接，所述吸盘通孔(132)的上端贯穿第一固定块(133)的上表面并与气泵连接头(134)的输入端相接触且为密闭连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述第一固定块(133)的一侧设置有位移液压杆(135)，所述位移液压杆(135)的输出端与第一固定块(133)的一侧外壁相接触且为支架连接，所述位移液压杆(135)远离输出端的一侧外壁与位移槽体(122)的一端内壁相接触且为支架连接，所述固定外壳(151)的上表面设置有上部连接板(161)，所述上部连接板(161)的下表面一侧与固定外壳(151)的上表面相接触且为螺栓连接，所述上部连接板(161)远离固定外壳(151)的一端设置有视觉模块(162)，所述视觉模块(162)的外壁与上部连接板(161)的一端外壁相接触且为支架连接，多个所述X型支架(121)的下端设置有输送本体(112)。
5.根据权利要求1-4任意一条的一种晶圆片智能手臂抓取组件的接料机构，其特征在于，所述接料外壳(211)的内部中心设置有工作台(231)，所述工作台(231)的一侧设置有第一移动架(251)，所述第一移动架(251)的内部两侧设置有存放外壳(252)，所述存放外壳(252)的内部设置有若干收纳板(262)，所述工作台(231)的另一侧设置有第二移动架(271)，所述第二移动架(271)的内部下端设置有滑板(281)，所述滑板(281)的两侧对称设置有挂耳(282)所述接料外壳(211)的一侧贯穿设置有放置槽(221)，所述放置槽(221)的内壁下端与工作台(231)的两侧外壁相接触且为螺栓连接，所述放置槽(221)的内壁上端对称开设有两个夹持槽体(241)，两个所述夹持槽体(241)的内部均设置有夹持液压杆(242)，所述夹持液压杆(242)远离输出端的一侧外壁与放置槽(221)的一端外壁相接触且为支架连接，所述夹持液压杆(242)的输出端设置有安装块(243)，所述安装块(243)的一侧外壁与夹持液压杆(242)输出端相接触且为支架连接，所述安装块(243)的外壁与夹持槽体(241)的内壁相接触...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片智能手臂抓取组件，包括抓取结构(100)和接料结构(200)，其特征在于，所述抓取结构(100)包括有旋转台本体(111)，所述旋转台本体(111)的上表面等分设置有若干固定外壳(151)，所述固定外壳(151)远离旋转台本体(111)的一侧设置有x型支架(121)，所述x型支架(121)的下表面设置有吸盘本体(131)，所述接料结构(200)包括有设置在旋转台本体(111)一侧的接料外壳(211)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述固定外壳(151)的下端与旋转台本体(111)的上端相接触且为螺栓连接，所述固定外壳(151)靠近x型支架(121)的一侧外壁开设有第一活动槽(152)，所述第一活动槽(152)的内部设置有丝杆(153)，所述丝杆(153)的上下两端与第一活动槽(152)的内部两端相接触且为转动连接，所述固定外壳(151)的上表面与丝杆(153)相匹配的位置设置有旋转电机(154)，所述旋转电机(154)的输出端贯穿固定外壳(151)的外壁与丝杆(153)的一端外壁相接触且为传动连接，所述丝杆(153)的外壁套设有第二固定块(142)，所述第二固定块(142)的内壁与丝杆(153)的外壁相接触且为螺纹连接，所述第二固定块(142)的一端外壁与第一活动槽(152)的内壁相接触且为滑动连接，所述第二固定块(142)远离第一活动槽(152)的一端设置有连接横杆(141)，所述连接横杆(141)的一侧外壁中心与第二固定块(142)的一端外壁相接触且为螺栓连接，所述连接横杆(141)远离第二固定块(142)的一侧设置有x型支架(121)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述x型支架(121)的上表面贯穿设置有位移槽体(122)，所述x型支架(121)位于位移槽体(122)的两侧对称开设有限制槽体(123)，所述限制槽体(123)与位移槽体(122)相连通，所述限制槽体(123)的一端内部设置有第一固定块(133)，所述第一固定块(133)的两端外壁与限制槽体(123)的内壁相接触且为滑动连接，所述第一固定块(133)的表面中心处设置有吸盘本体(131)，所述吸盘本体(131)的上表面与第一固定块(133)的下表面相接触且为密闭连接，所述吸盘本体(131)的上表面中心贯穿设置有吸盘通孔(132)，所述第一固定块(133)的上表面中心设置有气泵连接头(134)，所述气泵连接头(134)的外壁与第一固定块(133)的上表面相接触且为支架连接，所述吸盘通孔(132)的上端贯穿第一固定块(133)的上表面并与气泵连接头(134)的输入端相接触且为密闭连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片智能手臂抓取组件，其特征在于，所述第一固定块(133)的一侧设置有位移液压杆(135)，所述位移液压杆(135)的输出端与第一固定块(133)的一侧外壁相接触且为支架连接，所述位移液压杆(135)远离输出端的一侧外壁与位移槽体(122)的一端内壁相接触且为支架连接，所述固定外壳(151)的上表面设置有上部连接板(161)，所述上部连接板(161)的下表面一侧与固定外壳(151)的上表面相接触且为螺栓连接，所述上部连接板(161)远离固定外壳(151)的一端设置有视觉模块(162)，所述视觉模块(162)的外壁与上部连接板(161)的一端外壁相接触且为支架连接，多个所述x型支架(121)的下端设置有输送本体(112)。
5.根据权利要求1-4任意一条的一种晶圆片智能手臂抓取组件的接料机构，其特征在于，所述接料外壳(211)的内部中心设置有工作台(231)，所述工作台(231)的一侧设置有第一移动架(251)，所述第一移动架(251)的内部两侧设置有存放外壳(252)，所述存放外壳(252)的内部设置有若干收纳板(262)，所述工作台(231)的另一侧设置有第二移动架(271)，所述第二移动架(271)的内部下端设置有滑板(281)，所述滑板(281)的两侧对称设置有挂耳(282)所述接料外壳(211)的一侧贯穿设置有放置槽(221)，所述放置槽(221)的内壁下端与工作台(231)的两侧外壁相接触且为螺栓连...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈凯，
申请(专利权)人：芯钛科半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。