并联三自由度压电粘滑平台制造技术

并联三自由度压电粘滑平台，它包含载物台、移动台、压电贴片式驱动机构、中间支撑柱、导向限位机构、底板和直线导轨；载物台由固定在底板上的中间支持柱支撑，载物台设置在移动台上并可相对移动台周向转动，直线导轨固定在移动台的侧面，直线导轨与导向限位机构滑动连接，移动台由沿其周向均匀布置的多个导向限位机构支撑，在中间支撑柱外侧的底板上沿周向均布有多个压电贴片式驱动机构，压电贴片式驱动机构的顶部与载物台的下表面为静摩擦接触，压电贴片式驱动机构通电时顶部产生输出，以驱动载物台绕轴线旋转或者沿直线导轨移动。本发明专利技术结构紧凑，可降低运动耦合率，使运动精度更加精确。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于压电精密驱动领域，具体涉及一种并联三自由度压电粘滑平台。

技术介绍

1、现有的微操作平台采用超声波电动机、真空电动机、压电驱动等。其中压电驱动的原理是压电效应，一种施加应力能产生电荷，施加电场能产生尺寸上变形的效应，即将电能和机械能相互转化。压电效应分为正压电效应和逆压电效应，正压电效应一般应用在压电式传感器上，即将机械能转为电能。压电式驱动器大多是逆压电效应，利用磁效应制成。压电驱动将变形直接作用于从动件实现机械驱动，不同于传统驱动器需要先形成旋转再转换为目标动力。柔性铰链机构的采用实现了传统机构无法实现的功能，其具有受到驱动后依靠自身的微小变形和恢复的性能和便于更换的特点。目前大多采用具有夹紧释放作用的粘滑式压电驱动器，其操作和结构简单，可与双伺服控制方法结合使用，实现长行程和高精度，但驱动力有限。

2、公开号cn110148436a公开一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，该平台采用连杆放大机构实现三个自由度运动。

3、公开号cn209774584u公开一种平面三自由度全柔性并联定位平台，该平台采用音圈电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：包含载物台(1)、移动台(2)、压电贴片式驱动机构(A)、中间支撑柱(5)、导向限位机构(B)、底板(10)和直线导轨(12)；

2.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：每个所述压电贴片式驱动机构(A)包含驱动器(3)和压电片(4)；

3.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：每个所述导向限位机构(B)包含连接件(7)、挡板(8)和底座(9)；

4.根据权利要求2所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：外弧柔性壳体32包含半圆弧片(32-1)、两个过渡片(32-2)和两个...

【技术特征摘要】

1.并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：包含载物台(1)、移动台(2)、压电贴片式驱动机构(a)、中间支撑柱(5)、导向限位机构(b)、底板(10)和直线导轨(12)；

2.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：每个所述压电贴片式驱动机构(a)包含驱动器(3)和压电片(4)；

3.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：每个所述导向限位机构(b)包含连接件(7)、挡板(8)和底座(9)；

4.根据权利要求2所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：外弧柔性壳体32包含半圆弧片(32-1)、两个过渡片(32-2)和两个向内弯曲的外弧片(32-3)；

5.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：中间支撑柱(5)的顶端安装有与载物台(1)接触的万向牛眼轴承(6)。

6.根据权利要求1所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：所述载物台(1)通过深沟球轴承(11)固定在移动台(2)中部，载物台(1)与深沟球轴承(11)的内圈过盈配合，移动台(2)与深沟球轴承(11)的外圈过盈配合。

7.根据权利要求2所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：所述驱动器(3)通过线切割加工而成。

8.根据权利要求2所述并联三自由度压电粘滑平台，其特征在于：载物台(1)沿y向运动时，给y方向上布置的两个驱动器上的位于同一侧的压电片(4)通电，随着电压的缓慢升高，压电片(4)缓慢膨胀以推动外弧柔性壳体顶部向y轴方向移动，外弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏炜，杨依领，魏燕定，钱文宇，邵梓萱，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：