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并联三自由度压电粘滑平台制造技术
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下载并联三自由度压电粘滑平台的技术资料
文档序号:40953119
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并联三自由度压电粘滑平台,它包含载物台、移动台、压电贴片式驱动机构、中间支撑柱、导向限位机构、底板和直线导轨;载物台由固定在底板上的中间支持柱支撑,载物台设置在移动台上并可相对移动台周向转动,直线导轨固定在移动台的侧面,直线导轨与导向限位机...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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