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本发明提供一种晶圆片智能手臂抓取组件及其接料机构，包括抓取结构和接料结构，抓取结构包括有旋转台本体，旋转台本体的上表面等分设置有若干固定外壳，固定外壳远离旋转台本体的一侧设置有X型支架，X型支架的下表面设置有吸盘本体，接料结构包括有设置在旋...
该专利属于芯钛科半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯钛科半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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