一种预防晶棒掉落的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体、感应组件和抱钳组件，装置本体的内部设置有晶棒，所述装置本体的内侧设置有感应组件，所述感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体内部的晶棒进行检测，判断晶棒的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒掉棒，所述感应组件包括发射器、接收器和感应器；本实用新型专利技术通过晶棒、发射器、接收器、感应器、上抱钳、下抱钳、推杆、滑槽、滑块和空槽之间的相互配合使用，有效解决晶棒掉落问题，抱钳装置可预防掉棒，检测出晶棒在副室腔体内的长度、位置，在晶棒掉落时，通过推杆的作用下推动抱钳，使抱钳稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。

【技术实现步骤摘要】
一种预防晶棒掉落的装置


[0001]本技术涉及晶棒设备
，尤其涉及一种预防晶棒掉落的装置。

技术介绍

[0002]直拉单晶硅棒，在生产环节，因外界振动或其他原因导致细晶的硅原子断裂，进而晶棒掉落到埚内(简称：掉棒)，抱钳装置可预防掉棒，但晶棒在副室腔体内的长度、位置没有精确，在晶棒掉落时，抱钳力度不足或者抱钳数不够导致晶棒掉落到坩埚中；
[0003]晶棒提拉部件断裂，晶棒掉落在隔离阀或者埚内，均会造成停炉或漏硅，停炉导致单个晶棒拉制成本异常高，漏硅将对设备造成不可修复的损坏，因此，本技术提出一种预防晶棒掉落的装置以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术的目的在于提出一种预防晶棒掉落的装置，该预防晶棒掉落的装置通过晶棒、发射器、接收器、感应器、上抱钳、下抱钳、推杆、滑槽、滑块和空槽之间的相互配合使用，有效解决晶棒掉落问题，抱钳装置可预防掉棒，检测出晶棒在副室腔体内的长度、位置，在晶棒掉落时，通过推杆的作用下推动抱钳，使抱钳稳定的对晶棒进行规定不会掉入锅中。
[0005]为实现本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种预防晶棒掉落的装置，包括装置本体(1)、感应组件和抱钳组件，其特征在于：装置本体(1)的内部设置有晶棒(2)，所述装置本体(1)的内侧设置有感应组件，所述感应组件的下方设置有抱钳组件，通过感应组件对装置本体(1)内部的晶棒(2)进行检测，判断晶棒(2)的大小和脉冲值，在通过抱钳组件对晶棒进行抱钳工作防止晶棒(2)掉棒，所述感应组件包括发射器(3)、接收器(4)和感应器(5)，所述装置本体(1)内壁的一侧设置有发射器(3)，所述装置本体(1)内壁的另一侧设置有接收器(4)，所述装置本体(1)内部的底部设置有感应器(5)，通过发射器(3)与接收器(4)之前的配合，对内部晶棒(2)进行体积与长度进行判断，持续检测晶棒在炉内的长度变化，便于后续工作使用。2.根据权利要求1所述的一种预防晶棒掉落的装置，其特征在于：所述抱钳组件包括上抱钳(6)、下抱钳(7)和推杆(8)，所述装置本体(1)内部的上方设置有上抱钳(6)，所述上抱钳(6)的下方设置有下抱钳(7)，所述上抱钳(6)和下抱钳(7)的内侧均设置有推杆(8)，通过推杆(8)带动上抱钳(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，徐志群，付明全，
申请(专利权)人：青海高景太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：