一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，属于单晶硅生产技术领域，包括生产炉本体、绝缘瓷环和电极本体，绝缘瓷环套设在电极本体上，生产炉本体的底部设置有通孔，绝缘瓷环穿设在通孔内，生产炉本体内设置有圆形板，圆形板的外侧壁上固定安装有圆形套环，绝缘瓷环的底部和电极本体的底部固定安装有底板，生产炉本体的底部设置有固定板，固定板的底部固定安装有连接杆，连接杆的一侧固定安装有弹簧，弹簧的一端固定安装有托板，圆形板上设置穿过孔，电极本体的一端穿设在穿过孔内，本实用新型专利技术方便对绝缘瓷环进行阻热，可大大提高绝缘瓷环的使用寿命，降低了生产成本，并且方便对绝缘瓷环和电极本体进行拆卸，方便了更换。方便了更换。方便了更换。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置


[0001]本技术涉及一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，属于单晶硅生产


技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂
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冶金级硅
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提纯和精炼
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沉积多晶硅锭
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单晶硅
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硅片切割，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，在单晶硅生产时需要用到生产炉，单晶硅生产炉是生产单晶硅时一种重要的设备。
[0003]在单晶硅生产炉使用时需要用到绝缘瓷环，绝缘瓷环作用是对电极体进行绝缘保护，然而现有的绝缘瓷环受到生产炉内高温的影响，从而使其使用寿命降低，进而不能对电极体进行更好的保护，另外由于绝缘瓷环和电极体是套设在一起的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，其特征在于：包括生产炉本体(1)、绝缘瓷环(2)和电极本体(3)，所述绝缘瓷环(2)套设在所述电极本体(3)上，所述生产炉本体(1)的底部设置有通孔(4)，所述绝缘瓷环(2)穿设在所述通孔(4)内，所述生产炉本体(1)内设置有圆形板(5)，所述圆形板(5)的外侧壁上固定安装有圆形套环(6)，所述绝缘瓷环(2)的底部和所述电极本体(3)的底部固定安装有底板(7)，所述生产炉本体(1)的底部设置有固定板(8)，所述固定板(8)的底部固定安装有连接杆(9)，所述连接杆(9)的一侧固定安装有弹簧(10)，所述弹簧(10)的一端固定安装有托板(11)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，其特征在于：所述圆形板(5)上设置穿过孔(12)，所述电极本体(3)的一端穿设在所述穿过孔(12)内，所述圆形板(5)为石墨材质。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，其特征在于：所述圆形套环(6)底部的直径大于顶部的直径，所述绝缘瓷环(2)的顶部与所述圆形板(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：何建和，曹羽，
申请(专利权)人：景德镇晶达新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：