单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括：将硅料装入炉体内的坩埚中；采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应；在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作，以得到单晶硅棒。本申请实施例中，在单晶硅棒拉制的过程中，可以将含卤气体通入硅液内部，以使含卤气体与所述硅液的金属杂质充分反应，提高所述硅液的纯度，从而，可以减少从所述硅液中生长拉制的单晶硅棒的杂质，提升所述单晶硅棒的品质。硅棒的品质。硅棒的品质。

【技术实现步骤摘要】
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置


[0001]本申请属于光伏
，具体涉及一种单晶硅棒拉制方法以及一种单晶硅棒拉制装置。

技术介绍

[0002]近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到的，因此，单晶硅棒的质量最终也会影响到硅片的质量。在实际应用中，单晶硅棒通常可以由硅料生长拉制而成。
[0003]现有的技术中，为了降低单晶硅棒拉制的成本，单晶炉的投料量正在快速地增加。然而，投料量加大后，不仅会增加拉晶时间，使得热场中的杂质(特别是金属)进入熔硅中的总量增加，而且，由于分凝效应，熔硅中的杂质到拉晶后期会更加富集。这样，很容易导致拉制的单晶硅棒中杂质含量较多，单晶硅棒的品质较差。

技术实现思路

[0004]本申请旨在提供一种单晶硅棒拉制方法以及一种单晶硅棒拉制装置，以解决现有的单晶硅棒中杂质含量较多，单晶硅棒的品质较差的问题。
[0005]为了解决上述技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒拉制方法，其特征在于，包括：将硅料装入炉体内的坩埚中；采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应；从所述硅液中拉制单晶硅棒。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体的步骤中，所述反应气体的流量为0.1－10L/min。3.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述方法还包括：收集从所述炉体内排出的尾气；对所述尾气中的含卤气体进行处理。4.根据权利要求1至3任一项所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述含卤气体包括：氯气、溴气、氟气、四氯化碳、氯化氢、氟利昂中的至少一种；所述反应气体还包括惰性气体，所述惰性气体包括：氮气、氩气、氦气中的至少一种。5.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制方法，其特征在于，所述导气管包括：进气管以及设置在所述进气管端部的环状出气管，所述进气管与所述环状出气管连通；其中，所述进气管穿设于所述炉体，以从所述炉体外伸入所述炉体内；所述进气管的端部以及所述环状出气管插入所述硅液中，所述环状出气管的管壁上设置有多个出气孔，以将所述反应气体通入所述硅液中。6.一种单晶硅棒拉制装置，其特征在于，所述单晶硅棒拉制装置包括：炉体；坩埚，所述坩埚设置于所述炉体内，用于容纳硅料；加热器，所述加热器设置于所述炉体内，用于加热所述坩埚内的硅料；导气管，所述导气管活动连接于炉体；其中，在将所述硅料装入所述坩埚后，可采用所述加热器加热熔化所述坩埚内的硅料，得到硅液；将所述导气管插入所述硅液中；通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩伟，杜超，邓浩，李侨，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：