下载单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置的技术资料

文档序号:33378497

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本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括:将硅料装入炉体内的坩埚中;采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料,得到硅液;将导气管插入所述硅液中;通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体,所述反应气体至少包括...
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