一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，包括图案板、柔光纸、LED灯板、边框和LED电源，所述边框内侧面环绕其一周开设有卡槽，边框通过卡槽从上到下依次卡接图案板、柔光纸和LED灯板，边框的一侧中部开设有插槽，图案板呈黑白棋盘格状；LED灯板上呈矩形阵列分布有多个LED灯珠，多个LED灯珠通过电源线电性连接，LED灯板的端部具有正负极接头，正负极接头从边框的插槽中伸出，正负极接头通过电源线与电源电性连接。本实用新型专利技术以LED灯板为主动光源，能模拟实际硅熔液的发光方式，无需外部光源照射，有效解决外部光源照射在图案板上的照明方式能带来反射，从而引起的图案显示反光强烈、明暗不均等问题。明暗不均等问题。明暗不均等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘


[0001]本技术涉及硅单晶生长炉视觉控制系统
，具体为一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘。

技术介绍

[0002]目前，视觉控制已广泛用于工业生产，双相机视觉控制也已在硅单晶体生长炉上得以应用。通过立体成像，可以得出比以往采用人工测控及单个相机测控更准确的直径测量及获得“液口距”数据。现在普遍的做法是用靶盘模拟硅液相对相机的相对位置，在靶盘上印(刻)制预设图案，用相机采集到的图像数据与预设图案匹配，获得校准数据。
[0003]然而，硅单晶体生长炉视觉校准时需要外部光源，解决环境光及外部补充光源的亮度不均引起的无法校准及校准误差偏大的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0006]本技术提供一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，包括图案板、柔光纸、LED灯板、边框和LED电源，本实施例中所述边框呈矩形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，其特征在于，包括图案板、柔光纸、LED灯板、边框和LED电源，所述边框内侧面环绕其一周开设有卡槽，所述边框通过卡槽从上到下依次卡接图案板、柔光纸和LED灯板，所述边框的一侧中部开设有插槽，所述图案板呈黑白棋盘格状；所述LED灯板上呈矩形阵列分布有多个LED灯珠，多个LED灯珠通过电源线电性连接，所述LED灯板的端部具有正负极接头，所述正负极接头从边框的插槽中伸出，所述正负极接头通过电源线与电源电性连接。2.如权利要求1所述的一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，其特征在于，所述边框采用圆形或多边形。3.如权利要求2所述的一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，其特征在于，所述边框呈矩形框状，所述图案板呈17
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13的黑白棋盘格状，所述图案板的中心设有白色标志圆，所述图案板以中心的白色标志圆作为整个靶盘的原点，所述图案板设有相互垂直的X轴和Y轴，所述X轴和Y轴上设有刻度。4.如权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建军，王龙，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：