本发明公开了一种确定引晶过程中晶棒光圈区域的方法，包括如下步骤：建立坐标体系，以光圈的灰度图建立坐标体系，X轴为行数，Y轴为列数，图像上的每一点(x，y)对应一个像素值；根据行像素点平均值，确定界面M所在的行数；将界面M所在的行以下的区...

本实用新型公开了一种预防晶棒坠落的保护装置及拉晶炉，预防晶棒坠落的保护装置包括：抱箍组件，抱箍组件包括上环形抱箍组件和下环形抱箍组件，上环形抱箍组件和下环形抱箍组件抱紧固定在拉晶炉副炉室的下端；自动伸缩组件，自动伸缩组件组件有两个，两个...

本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，包括：底座，底座的一端与机架连接，其另一端与平底板连接，平底板的中心处开设容许延长管通过的中心孔；波纹管；直线驱动机构，两个直线驱动机构对称地位于波纹管的两侧，直线驱动机构的上端...

本发明公开了一种基于VCN协议实时监控多台单晶炉上位机界面的方法，在目标单晶炉上配置和安装通用VNC服务端，并在监控机上创建预制XML参数模板以及自定义控件类和用户控件类的对象实例，根据预制XML参数模板通过用户控件类的对象实例，多线程...

本发明公开了一种基于量测数据的半导体硅片表面形貌模型预测方法，包括如下步骤：S1、获取一片直径为D的硅片在量测机台中按直线排列分布的原始量测数据；S2、将原始量测数据转换为二进制数据；S3、构造硅片极坐标参数模型；S4、构造硅片笛卡尔坐...

本实用新型公开了一种电动取棒工装，包括：主体支架；支撑板，支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔，支撑板垂直固定于支架的下部；抱夹机构，抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪，抱夹机构与支架水平滑移配合；驱动机构，驱动机构...

本实用新型公开了一种新型单晶炉坩埚旋转及升降机构，包括磁流体和对中调平座，单晶炉底部中心的通孔固定连接波纹管，波纹管的底部垂直固定在磁流体座上，磁流体座的底部固定有磁流体，磁流体的中心轴通过旋转传动机构带动，磁流体中心轴的底部连接旋转接...

本实用新型公开了一种适用于硬轴硅单晶生长炉的无动力取晶棒装置，包括：支架；滑移托板，滑移托板上下滑动设置于支架的下部；抱夹机构，抱夹机构包括两个对称设置的夹爪，抱夹机构与支架在水平方向上滑移配合；传动机构，传动机构有两个，两个传动机构对...

本实用新型公开了一种自重式晶棒夹紧装置，包括：支架；托板，用于支撑晶棒底部的锥体部，托板垂直设置于支架的一侧下部；抱夹组件，抱夹组件包括两个对称设置的抱夹，抱夹组件水平滑动连接在支架上；传力机构，传力机构的一端与托板连接，其另一端与抱夹...

本实用新型公开了一种机械式取棒装置，包括：支架；托板，用于支撑晶棒底部的锥体部，托板上下滑动设置于支架的下部；抱夹机构，抱夹机构包括对称设置的左夹爪和右夹爪，抱夹机构水平滑动连接在支架上；连杆机构，连杆机构有两个，两个连杆机构对称设置于...

本实用新型公开了一种取棒工装，包括：支架组件；多个夹爪组件，多个夹爪组件在上下方向设有间隔排布于支架组件的厚度方向上的一侧表面，夹爪组件包括两个夹爪，两个夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托，底托设于支架组件...

本实用新型公开了一种用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车，取棒工装包括：支架组件；夹爪组件，夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托；传动组件，传动组件包括：...

本发明公开了一种适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置，包括：底座，底座的一端与机架连接，其另一端与平底板连接，平底板的中心处开设容许延长管通过的中心孔；波纹管；直线驱动机构，两个直线驱动机构对称地位于波纹管的两侧，直线驱动机构的上端安装...

本实用新型公开了一种浮动式托板机构，包括板本体，板本体同轴放置于底托板上表面中心处，板本体的中心处开设有通孔一，通孔一的孔径小于中心孔的孔径；多个弹性件，多个弹性件沿板本体的周向排布，弹性件的一端与底托板相连，弹性件的另一端与板本体的相...

本实用新型公开了一种自动挂载分离装置，包括T型提升销组件，T型提升销组件的上端与旋转连接装置连接，T型提升销组件的两端具有水平对称设置的安装头，两个安装头的下端可拆卸连接V形块；挂载钩，挂载钩包括底座和两个钩体，底座呈带底圆筒状，两个钩...

本实用新型公开了一种适用于承载硬轴单晶炉内置加料器的推车，包括推车架体；旋转架，所述旋转架转动连接在推车架体上，所述旋转架具有两个平行设置的连接柱，所述连接柱用于套接内置加料器的夹持工装；转动限位装置，所述转动限位装置与旋转架连接，所述...

本发明公开了一种用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车，取棒工装包括：支架组件；夹爪组件，夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托；传动组件，传动组件包括：弹性...

本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料的自动连接装置，包括从下到上依次设置的挂钩组件、U形接头组件和旋转连接机构；旋转连接机构的上端与硬轴籽晶轴连接，旋转连接机构的下端与U形接头组件连接，旋转连接机构用于抵消硬轴籽晶轴的旋转运动；...

本实用新型公开了一种硬轴单晶炉内置加料自动化接头装置，包括旋转连接装置，旋转连接装置的上端与硬轴籽晶轴的底部连接，旋转连接装置的下端与弧形母头连接；弧形母头，弧形母头呈带底圆筒状，弧形母头的内部限定形成内腔，内腔的底部呈倒圆锥状，弧形母...

本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，包括主体支架一，主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑，主体支架一底部垂直固定底座，管支撑具有容纳内置加料器的U形槽；防倾倒机构，防倾倒机构包括旋转轴和防护板，主体支架一两侧分...