适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，包括主体支架一，主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑，主体支架一底部垂直固定底座，管支撑具有容纳内置加料器的U形槽；防倾倒机构，防倾倒机构包括旋转轴和防护板，主体支架一两侧分别转动连接一个旋转轴，两个旋转轴远离主体支架一的一端分别垂直连接防护板，两个旋转轴用于控制两个防护板的打开与关闭。本实用新型专利技术能够实现防倾倒装置的自动打开和闭合，有效防止内置加料器转移过程中跌落，降低了成本，实现内置加料过程安全实施。安全实施。安全实施。

【技术实现步骤摘要】
适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装


[0001]本技术涉及硬轴单晶炉
，具体为适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装。

技术介绍

[0002]软轴单晶硅炉,采用硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴,软轴为钢丝绳,硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点,在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴更有优势。但是硬轴系统结构相对更加复杂，为保证高位置精度，籽晶硬轴固定到炉机架上，因此当籽晶硬轴下降到副炉室内时是不允许副室移动的。
[0003]同时硬轴单晶炉的内置加料器是一个长度大于1.5米、装料后重量大于150Kg、易损坏的石英玻璃圆柱体，因此将内置加料器放置入固定的副炉室内是困难的，给硬轴单晶炉加料过程带来不便。

技术实现思路

[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0006]本技术提供一种适用于硬轴单晶炉内置加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，其特征在于，包括主体支架一，所述主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑，所述主体支架一底部垂直固定底座，所述管支撑具有容纳内置加料器的U形槽；防倾倒机构，所述防倾倒机构包括旋转轴和防护板，所述主体支架一两侧分别转动连接一个旋转轴，两个所述旋转轴远离主体支架一的一端分别垂直连接防护板，两个所述旋转轴用于控制两个防护板的打开与关闭，当两个防护板处于打开状态时，两个防护板呈竖直状态，当两个防护板处于闭合状态时，两个防护板呈水平状态。2.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，其特征在于，所述防倾倒机构还包括连杆机构、托板、弹簧和导向轴，两个所述旋转轴靠近主体支架一的一端通过连杆机构与导向轴转动连接，所述导向轴的底部垂直固定在托板上，所述托板通过弹簧与主体支架一连接，所述托板位于底座上方，空载状态下，两个防护板呈打开状态，当内置加料器放入托板上后，导向轴带动连杆机构向下运动，连杆机构带动旋转轴旋转，使得两个防护板呈闭合状态。3.如权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，其特征在于，所述连杆机构包括连轴块和连杆，所述连轴块垂直固定在旋转轴靠近主体支架一的一端，所述连轴块的中心线与所述防护板的中心线在所述旋转轴周向方向上的夹角为30
°‑
60
°
，所述连轴块的一端转动连接连杆的顶部，所述连杆的底部转动连接导向轴的顶部。4.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，其特征在于，所述主体支架一为两个平行设置的支撑杆，所述主体支架一的两个支撑杆的中部对称垂直固定有轴套，两个所述轴套中分别转动连接一个所述旋转轴。5.如权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装，其特征在于，还包括支架二和同心调整机构，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：