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本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,包括主体支架一,主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑,主体支架一底部垂直固定底座,管支撑具有容纳内置加料器的U形槽;防倾倒机构,防倾倒机构包括旋转轴和防护板,主体支架一两侧分别转...该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的夹持工装,包括主体支架一,主体支架一从上到下间隔垂直固定多个管支撑,主体支架一底部垂直固定底座,管支撑具有容纳内置加料器的U形槽;防倾倒机构,防倾倒机构包括旋转轴和防护板,主体支架一两侧分别转...