本实用新型专利技术公开了一种自重式晶棒夹紧装置，包括：支架；托板，用于支撑晶棒底部的锥体部，托板垂直设置于支架的一侧下部；抱夹组件，抱夹组件包括两个对称设置的抱夹，抱夹组件水平滑动连接在支架上；传力机构，传力机构的一端与托板连接，其另一端与抱夹组件连接，当晶棒放置于托板上，托板下降，托板通过传力机构带动抱夹组件的两个抱夹相向运动，以使两个抱夹对晶棒环抱夹持；复位弹簧，复位弹簧有两个，两个复位弹簧水平设置，复位弹簧的一端固定在支架的侧边框上，其另一端固定在抱夹上，晶棒脱离托板时，两个复位弹簧分别收缩拉动与其相连的抱夹，两个抱夹背向运动，以使两个抱夹具有允许晶棒通过的开口。有允许晶棒通过的开口。有允许晶棒通过的开口。
【技术实现步骤摘要】
自重式晶棒夹紧装置
[0001]本技术涉及取晶棒装置加工
，具体为一种自重式晶棒夹紧装置。
技术介绍
[0002]在硬轴单晶炉的生产工艺中，需要从硬轴单晶炉的副炉室内把晶棒取下来。此时晶棒的位置是垂直位置，需要用工装把晶棒夹住固定，然后才能把晶棒取下来。夹住晶棒的目的是防止取棒时掉落或倾倒发生事故。
[0003]现有的晶棒夹持方法是利用电机减速机驱动一对或多对抱夹相向沿导轨运动，进行夹紧晶棒。因此需要电动减速机及电动控制一系列复杂的传动机构，同时需要额外的电源，设备的投资成本高，同时存在电气方面的安全风险。
技术实现思路
[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种自重式晶棒夹紧装置，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0006]本技术提供一种自重式晶棒夹紧装置，包括：
[0007]支架；
[0008]托板，用于支撑晶棒底部的锥体部，所述托板垂直设置于所述支架的一侧下部；
[0009]抱夹组件，所述抱夹组件包括两个对称设置的抱夹，所述抱夹组件水平滑动连接在所述支架上；
[0010]传力机构，所述传力机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹组件连接，当所述晶棒放置于所述托板上，所述托板下降，所述托板通过所述传力机构带动所述抱夹组件的两个抱夹相向运动，以使两个所述抱夹对所述晶棒环抱夹持，所述抱夹组件呈夹紧状态；
[0011]复位弹簧，所述复位弹簧有两个，两个所述复位弹簧水平设置，所述复位弹簧的一端固定在所述支架的侧边框上，其另一端固定在所述抱夹上，所述晶棒脱离所述托板时，两个所述复位弹簧分别收缩拉动与其相连的所述抱夹，两个所述抱夹背向运动，以使两个所述抱夹具有允许所述晶棒通过的开口，所述抱夹组件呈打开状态。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述抱夹组件通过水平滑动机构固定在支架上。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述水平滑动机构包括水平导轨和水平滑块，所述水平导轨水平安装在所述支架上，所述抱夹组件的两个抱夹分别安装一个水平滑块，两个所述水平滑块与水平导轨滑动配合。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述支架的一侧底部垂直一体连接限位板，所述限位板位于所述托板下方；
[0015]所述支架在各个水平导轨的两侧分别安装有限位挡块，以防止水平滑块背向运动时，脱离水平导轨。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述传力机构包括拉杆和改向组件，所述拉杆的底部竖直固定在托板上，所述拉杆通过改向组件与抱夹组件的两个抱夹连接，所述改向组件用于将拉杆的上下运动转换成抱夹的水平运动。
[0017]在本技术的一些实施例中，所述改向组件包括连接板、两个定滑轮和两个钢丝绳，所述连接板固定在拉杆上，两个定滑轮对称设置于拉杆的两侧，且两个定滑轮分别位于两个抱夹的下方，两个所述钢丝绳的一端固定在连接板上，其另一端绕过定滑轮后固定在抱夹上。
[0018]在本技术的一些实施例中，还包括限位组件，所述限位组件包括支承套和安装固定板，所述支承套与拉杆同轴设置，所述支承套的内径大于拉杆的直径，所述拉杆的上端从支承套中穿出，所述支承套上水平固定有安装固定板，所述安装固定板固定于支架的水平杆上。
[0019]在本技术的一些实施例中，还包括竖向滑动机构，所述竖向滑动机构竖直安装于所述支架的下部，所述竖向滑动机构包括竖向滑轨和与竖向滑轨相配适的竖向滑块，所述竖向滑块可拆卸固定于所述托板靠近支架的一侧中部。
[0020]在本技术的一些实施例中，所述抱夹组件为多个，多个所述抱夹组件从上到下间隔设置在支架上。
[0021]在本技术的一些实施例中，所述支架的一侧从上到下间隔固定有多个支撑托，用于在自重式晶棒夹紧装置水平放置时支撑晶棒。
[0022]本技术的有益效果在于：
[0023](1)本技术的自重式晶棒夹紧装置，利用晶棒自身的重量，向下压托板，使得托板向下沿竖向导轨移动，从而带动拉杆一起向下运动，同时拉杆上的钢丝绳被向下牵引，通过安装的定滑轮，钢丝绳的施力方向得以改变90
°
，从而带动抱夹沿水平导轨向中间靠拢，实现了对晶棒的夹紧。当晶棒取下时，利用复位弹簧进行抱夹的复位。
[0024](2)本技术的自重式晶棒夹紧装置，利用重力的原理进行自锁，无需额外的动力，节省了电动减速机及电动控制一系列复杂的传动机构，本身也不需要额外的电源，节约了设备的投资成本，提高了电气方面的安全性。
[0025](3)本技术中支架的一侧从上到下间隔固定有多个支撑托，当自重式晶棒夹紧装置水平放置时，晶棒通过多个支撑托支撑，同时自重式晶棒夹紧装置在竖直状态下，支撑托不会对抱夹组件的抱紧效果产生影响。
[0026](4)本技术中支架上还安装有限位组件，限位组件包括支承套和安装固定板，支承套与拉杆同轴设置，支承套的内径大于拉杆的直径，拉杆的上端从支承套中穿出，支承套上水平固定有安装固定板，安装固定板固定于支架上。如此，在拉杆上下运动时，可以保持直线运动，有效解决长时间使用后成拉杆倾斜，从而影响抱夹抱紧效果，影响晶棒夹紧装置的使用寿命的问题。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为根据本技术一个实施例的自重式晶棒夹紧装置的结构示意图；
[0029]图2为根据本技术一个实施例的自重式晶棒夹紧装置的另一视角结构示意图；
[0030]图3为根据本技术一个实施例的自重式晶棒夹紧装置的后视图；
[0031]图4为本技术中传力机构和托板的结构示意图；
[0032]图5为根据本技术一个实施例的隐藏一个抱夹组件后的自重式晶棒夹紧装置的结构示意图。
[0033]图6为根据本技术一个实施例的自重式晶棒夹紧装置的侧视图；
[0034]图7为根据本技术中自重式晶棒夹紧装置水平放置时抱夹组件的示意图；
[0035]图8为根据本技术中抱夹的结构示意图；
[0036]图9为根据本技术一个实施例的自重式晶棒夹紧装置夹持晶棒时的结构示意图。
[0037]附图标记说明：
[0038]支架10，托板20，抱夹组件30，传力机构40，水平滑动机构50，限位组件60，竖向滑动机构70，复位弹簧80，晶棒90；
[0039]限位板11，夹持轴12，支撑托13，凹槽131；
[0040]防护板21；
[0041]抱夹31，垫板32，夹持槽33；
[0042]拉杆41，改本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自重式晶棒夹紧装置，其特征在于，包括：支架；托板，用于支撑晶棒底部的锥体部，所述托板垂直设置于所述支架的一侧下部；抱夹组件，所述抱夹组件包括两个对称设置的抱夹，所述抱夹组件水平滑动连接在所述支架上；传力机构，所述传力机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹组件连接，当所述晶棒放置于所述托板上时，所述托板下降，所述托板通过所述传力机构带动所述抱夹组件的两个抱夹相向运动，以使两个所述抱夹对所述晶棒环抱夹持，所述抱夹组件呈夹紧状态；复位弹簧，所述复位弹簧有两个，两个所述复位弹簧水平设置，所述复位弹簧的一端固定在所述支架的侧边框上，其另一端固定在所述抱夹上，所述晶棒脱离所述托板时，两个所述复位弹簧分别收缩并拉动与其相连的所述抱夹，两个所述抱夹背向运动，以使两个所述抱夹具有允许所述晶棒通过的开口，所述抱夹组件呈打开状态。2.如权利要求1所述的自重式晶棒夹紧装置，其特征在于，所述抱夹组件通过水平滑动机构固定在支架上。3.如权利要求2所述的自重式晶棒夹紧装置，其特征在于，所述水平滑动机构包括水平导轨和水平滑块，所述水平导轨水平安装在所述支架上，所述抱夹组件的两个抱夹分别安装一个水平滑块，两个所述水平滑块与所述水平导轨滑动配合。4.如权利要求3所述的自重式晶棒夹紧装置，其特征在于，所述支架的一侧底部垂直一体连接限位板，所述限位板位于所述托板下方；所述支架在所述水平导轨的两侧分别安装有限位挡块。5.如权利要求4所述的自重式晶棒夹紧装置，其特征在于，所述传力机构包括拉杆和改...
【专利技术属性】
技术研发人员：张龙飞，汪佳，宋涛，李兆颖，周来平，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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