取棒工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种取棒工装，包括：支架组件；多个夹爪组件，多个夹爪组件在上下方向设有间隔排布于支架组件的厚度方向上的一侧表面，夹爪组件包括两个夹爪，两个夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合；底托组件，底托组件包括底托，底托设于支架组件的下端，底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔；两个防护件，两个防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的夹爪组件的两个夹爪的底端，两个防护件的下端均与底托间隔开，两个防护件适于在相应的夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。根据本实用新型专利技术的取棒工装，既能夹取长度较长的标准晶棒，又能夹取长度较短的非标准晶棒，可满足不同场景的使用要求。的使用要求。的使用要求。

【技术实现步骤摘要】
取棒工装


[0001]本技术涉及晶体制备领域，尤其是涉及一种取棒工装。

技术介绍

[0002]相关技术中，一般采用取棒工装来夹取晶棒，然而相关技术中的取棒工装，只适用于夹取标准晶棒，当晶棒不满足标准长度，长度较小，例如300mm
‑
800mm时，晶棒不能被夹爪夹持，因而无法满足不同场景的使用要求。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种取棒工装，既能夹取长度较长的标准晶棒，又能夹取长度较短的非标准晶棒，可满足不同场景的使用要求。
[0004]根据本技术实施例的取棒工装，包括：支架组件；多个夹爪组件，多个所述夹爪组件在上下方向设有间隔排布于所述支架组件的厚度方向上的一侧表面，每个所述夹爪组件包括两个夹爪，两个所述夹爪沿第一方向间隔开，两个所述夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合；底托组件，所述底托组件包括底托，所述底托设于所述支架组件的下端，所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔；两个防护件，两个所述防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的所述夹爪组件的两个所述夹爪的底端，两个所述防护件的下端均与所述底托间隔开，两个所述防护件适于在相应的所述夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。
[0005]根据本技术实施例的取棒工装，通过设置多个夹爪组件和两个防护件，取棒工装既能夹取长度较长的标准晶棒，又能夹取长度较短的非标准晶棒，可满足不同场景的使用要求。
[0006]在本技术的一些实施例中，所述防护件与所述底托的间距是H，所述H满足：100mm≤H≤300mm。
[0007]在本技术的一些实施例中，所述防护件包括：第一固定板，所述第一固定板与所述夹爪的底壁通过螺纹紧固件相连；第二固定板，所述第二固定板设于所述第一固定板的下方，所述第一固定板和所述第二固定板平行间隔开；多个连接杆，多个所述连接杆连接在所述第一固定板和所述第二固定板之间，多个所述连接杆沿相应的所述夹爪的延伸方向排布，每个所述连接杆在上下方向延伸。
[0008]在本技术的一些实施例中，所述夹爪的内侧设有第一石墨垫片，所述第一石墨垫片与所述夹爪通过螺纹紧固件相连。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述底托的上表面设有多个晶棒挡块，多个所述晶棒挡块环绕所述贯穿孔设置，多个所述晶棒挡块适于与吊料晶棒的外周壁抵接配合。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述晶棒挡块与所述底托为一体件。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述取棒工装还包括：多个支撑件，多个所述支撑件在上下方向上间隔开设于所述支架组件，所述支撑件包括依次相连的第一段、第二段和
第三段，所述第二段与所述支架组件间隔开且沿所述第一方向延伸，所述第一段与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的一端，所述第三段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的另一端，所述第二段的部分朝向靠近所述支架组件的方向凹入以限定出适于定位所述晶棒的凹槽。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述支架组件的另一侧设有挂载机构，所述挂载机构与取晶臂卡接相连，所述挂载机构包括第一连接段、卡轴和第二连接段，所述卡轴与所述支架组件间隔开排布且沿所述第一方向延伸，所述第一连接段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述挂载机构的方向连接至所述卡轴的一端，所述第二连接段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述挂载机构的方向连接至所述卡轴的另一端，所述卡轴背离所述支架组件的一侧设有平面抵止部。
[0013]在本技术的一些实施例中，支架组件包括：架体；第一加强板和第二加强板，所述第一加强板和所述第二加强板沿所述第一方向间隔开且在上下方向延伸，所述第一加强板具有在上下方向上间隔开排布的多个第一定位孔，所述第二加强板具有在上下方向上间隔开排布的多个第二定位孔，第一紧固螺栓穿过所述第一连接段连接至对应的所述第一定位孔，第二紧固螺栓穿过所述第二连接段连接至对应的所述第二定位孔。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述取棒工装还包括：调节固定板，所述调节固定板设于所述架体且位于所述第一连接段和所述第二连接段的上方；第一调节螺栓，所述第一调节螺栓与所述调节固定板螺纹相连，所述第一调节螺栓向下穿过所述调节固定板抵接至所述第一连接段的顶部；第二调节螺栓，所述第二调节螺栓与所述调节固定板螺纹相连，所述第二调节螺栓向下穿过所述调节固定板抵接至所述第二连接段的顶部。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]图1是根据本技术一个实施例的取棒工装的立体示意图；
[0017]图2是根据本技术一个实施例的取棒工装的侧视示意图；
[0018]图3是根据本技术一个实施例的两个防护件的结构示意图；
[0019]图4是根据本技术一个实施例的支撑件的结构示意图；
[0020]图5是根据本技术一个实施例的挂载机构、调节固定板以及架体的局部结构示意图；
[0021]图6是根据本技术一个实施例的传动组件、底托组件和夹爪组件的结构示意图，其中，夹爪组件处于松开状态；
[0022]图7是根据本技术一个实施例的传动组件、底托组件和夹爪组件的结构示意图，其中，夹爪组件处于抱紧状态；
[0023]图8是根据本技术一个实施例的卸载机构的结构示意图；
[0024]图9是根据本技术一个实施例的卸载机构的另一个角度的结构示意图，其中，滑槽件被移除；
[0025]图10是根据本技术一个实施例的副炉室、取棒工装和取晶臂的示意图，其中
取棒工装处于装夹状态；
[0026]图11是根据本技术一个实施例的副炉室、取棒工装和取晶臂的示意图，其中晶棒处于从副炉室取出的状态；
[0027]图12是根据本技术实施例的取棒车的结构示意图，其中，晶棒处于垂直状态；
[0028]图13是根据本技术实施例的取棒车的结构示意图，其中，晶棒处于水平状态。
[0029]附图标记：
[0030]取棒工装100；
[0031]支架组件10；架体11；第一加强板12；第一定位孔121；第二加强板13；第二定位孔131；第一滑轨14；第一止挡块141；第二止挡块142；直线轴承15；第一紧固螺栓16；第二紧固螺栓17；
[0032]夹爪组件20；夹爪21；第一石墨垫片22；
[0033]底托组件30；底托31；贯穿孔311；缺口312；晶棒挡块313；第二滑轨32；第三滑轨33；
[0034]防护件40；第一固定板41；第二固定板42；连接杆43；
[0035]支撑件50；第一段51；第二段52；第三段53；凹槽54；第一斜面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取棒工装，其特征在于，包括：支架组件；多个夹爪组件，多个所述夹爪组件在上下方向设有间隔排布于所述支架组件的厚度方向上的一侧表面，每个所述夹爪组件包括两个夹爪，两个所述夹爪沿第一方向间隔开，两个所述夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合；底托组件，所述底托组件包括底托，所述底托设于所述支架组件的下端，所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔；两个防护件，两个所述防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的所述夹爪组件的两个所述夹爪的底端，两个所述防护件的下端均与所述底托间隔开，两个所述防护件适于在相应的所述夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。2.根据权利要求1所述的取棒工装，其特征在于，所述防护件与所述底托的间距是H，所述H满足：100mm≤H≤300mm。3.根据权利要求2所述的取棒工装，其特征在于，所述防护件包括：第一固定板，所述第一固定板与所述夹爪的底壁通过螺纹紧固件相连；第二固定板，所述第二固定板设于所述第一固定板的下方，所述第一固定板和所述第二固定板平行间隔开；多个连接杆，多个所述连接杆连接在所述第一固定板和所述第二固定板之间，多个所述连接杆沿相应的所述夹爪的延伸方向排布，每个所述连接杆在上下方向延伸。4.根据权利要求1所述的取棒工装，其特征在于，所述夹爪的内侧设有第一石墨垫片，所述第一石墨垫片与所述夹爪通过螺纹紧固件相连。5.根据权利要求1所述的取棒工装，其特征在于，所述底托的上表面设有多个晶棒挡块，多个所述晶棒挡块环绕所述贯穿孔设置，多个所述晶棒挡块适于与吊料晶棒的外周壁抵接配合。6.根据权利要求5所述的取棒工装，其特征在于，所述晶棒挡块与所述底托为一体件。7.根据权利要求1所述的取棒工装，其特征在于，还包括：多个支撑件，多个所述支撑件在上下方向上间隔开设于所述支架组件，所述支撑件包括依次相连的第一段、第二段和第三段，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，汪佳，徐涛，王晓明，李兆颖，周来平，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：