机械式取棒装置制造方法及图纸

技术编号:35538349 阅读:33 留言:0更新日期:2022-11-09 15:05
本实用新型专利技术公开了一种机械式取棒装置,包括:支架;托板,用于支撑晶棒底部的锥体部,托板上下滑动设置于支架的下部;抱夹机构,抱夹机构包括对称设置的左夹爪和右夹爪,抱夹机构水平滑动连接在支架上;连杆机构,连杆机构有两个,两个连杆机构对称设置于支架的两侧,两个连杆机构的一端分别与托板的左右两侧连接,两个连杆机构的另一端分别与抱夹机构的左夹爪和右夹爪连接;复位机构,复位机构有两个,复位机构包括拉伸弹簧和搭扣,拉伸弹簧的一端与支架的顶部连接,其另一端与连杆机构连接,搭扣设置于连杆机构上,搭扣用于控制连杆机构与托板的连接与断开。本实用新型专利技术靠晶棒的自身重力实现抱夹机构的抓紧,靠拉伸弹簧、搭扣实现抱夹机构的打开。抱夹机构的打开。抱夹机构的打开。

【技术实现步骤摘要】
机械式取棒装置


[0001]本技术涉及硬轴单晶炉取晶棒设备领域,尤其是涉及一种机械式取棒装置。

技术介绍

[0002]目前市场上用于硬轴单晶炉的取棒设备大多数为电动取棒设备,即通过电机带动夹爪夹紧晶棒,进而将晶棒从硬轴单晶炉的副炉室内取出。因此需要电机及电动控制一系列复杂的传动机构,同时需要额外的电源,设备的投资成本高,同时存在电气方面的安全风险。

技术实现思路

[0003]针对上述存在的技术不足,本技术的目的是提供一种自重式晶棒夹紧装置,以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:
[0005]本技术提供一种机械式取棒装置,包括:
[0006]支架;
[0007]托板,用于支撑晶棒底部的锥体部,所述托板上下滑动设置于所述支架的下部;
[0008]抱夹机构,所述抱夹机构包括对称设置的左夹爪和右夹爪,所述抱夹机构水平滑动连接在所述支架上;
[0009]连杆机构,所述连杆机构有两个,两个所述连杆机构对称设置于支架的两侧,两个所述连杆机构的下端分别与托板的左右两侧连接,两个所述连杆机构的上端分别与所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪连接,当所述晶棒放置于所述托板上时,晶棒的重力使所述托板下降,所述托板通过两个所述连杆机构分别带动所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪水平相向运动,以使所述抱夹机构呈对所述晶棒环抱夹持的夹紧状态;
[0010]复位机构,所述复位机构有两个,所述复位机构包括拉伸弹簧和搭扣,所述拉伸弹簧的一端与支架的顶部连接,其另一端与连杆机构连接,所述搭扣设置于连杆机构上,所述搭扣用于控制所述连杆机构与所述托板的连接与断开,打开所述搭扣,所述拉伸弹簧收缩,带动所述连杆机构上移,两个所述连杆机构分别带动所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪水平背向运动,以使所述抱夹机构呈允许所述晶棒通过的打开状态。
[0011]在本技术的一些实施例中,所述抱夹机构为多个,多个所述抱夹机构从上到下间隔设置在所述支架上,所述支架上水平固定有与所述抱夹机构一一对应的滑轨一,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪的背面分别固定一个滑块一,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪分别通过一个滑块一与滑轨一滑动连接。
[0012]在本技术的一些实施例中,所述支架的下部的左右两端对称固定滑轨三,两个所述滑轨三竖向设置,所述托板的背面对称固定有与两个所述滑轨三一一对应的滑块三,所述托板通过所述滑块三与所述滑轨三滑动连接。
[0013]在本技术的一些实施例中,所述连杆机构包括连杆一、连杆二、连杆三和连接
块,所述连杆二的上端与连接块转动连接,所述连杆二的下端通过搭扣与连杆三的上端连接,所述连杆二和连杆三位于一条直线上,所述连杆三的下端与所述托板转动连接,所述连杆一的一端与所述连接块转动连接,其另一端与所述抱夹机构的一个夹爪转动连接。
[0014]在本技术的一些实施例中,所述支架的左右两端对称固定有与所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪一一对应的滑轨二,所述滑轨二竖向设置,所述连接块的背面固定有滑块二,所述连接块通过滑块二与滑轨二滑动连接。
[0015]在本技术的一些实施例中,所述连杆机构中的所述连杆二、连杆三的数量均为一个,所述连杆一和所述连接块的数量与抱夹机构的数量相同,位于最上端的所述连接块与所述拉伸弹簧连接。
[0016]在本技术的一些实施例中,所述支架的底部垂直固定挡板,所述托板位于所述挡板的上方且与所述挡板平行设置。
[0017]在本技术的一些实施例中,所述挡板的上表面固定有橡胶减震垫;
[0018]所述支架的下部固定有垫板,两个所述滑轨三对称固定于所述垫板上。
[0019]在本技术的一些实施例中,所述托板与两个所述滑块三之间分别固定有连接耳,两个所述连接耳对称设置,两个所述连接耳伸出所述托板左右两侧,所述连杆三的下端与所述连接耳通过销轴连接。
[0020]在本技术的一些实施例中,所述滑块二的顶部设置有限位块。
[0021]与现有技术相比,本技术具有以下有益效果:
[0022]本技术的机械式取棒装置,依靠晶棒的自身重力作用在托板上,使托板沿着滑轨三向下移动,直到托板压在挡板上的橡胶减震垫上为止,托板下移过程中也带动两侧的连杆机构的连杆三向下运动。连杆三通过搭扣带动连杆二向下运动,进而带动连接块沿着滑轨二向下移动。在连杆一作用下,当连接块向下移动时,左夹爪和右夹爪相向移动,进而实现夹紧功能。打开时通过打开晶棒两侧的搭扣,拉伸弹簧收缩,带动连接块和连杆二向上运动,直至初始位置,在连杆一作用下,当连接块向上移动时,左夹爪和右夹爪向外侧移动,进而实现抱夹机构的打开。
[0023]本技术设计的机械式取棒装置,不需要电机提供动力,即可实现抱夹机构的抓紧与打开动作。本技术靠晶棒的自身重力实现抱夹机构的抓紧,靠拉伸弹簧、搭扣实现抱夹机构的打开。同时节省了电动控制一系列复杂的传动机构,本身也不需要额外的电源,节约了设备的投资成本,提高了电气方面的安全性。
[0024]本技术的机械式取棒装置与电动取棒设备相比,结构简单,成本低,操作简便,安全性高。
附图说明
[0025]图1是根据本技术一个实施例的机械式取棒装置的示意图;
[0026]图2是图1隐藏托板后的结构示意图;
[0027]图3是图2中Ⅰ处的局部放大图;
[0028]图4是图2中Ⅱ处的局部放大图;
[0029]图5是本技术的主视图;
[0030]图6是本技术的左视图;
[0031]图7是本技术的机械式取棒装置放平后的结构示意图;
[0032]图8是晶棒的结构示意图。
[0033]附图标记:
[0034]支架10,托板20,抱夹机构30,连杆机构40,复位机构50,晶棒60;
[0035]挡板11,滑轨一12,滑块一13,滑轨二14,滑块二15,限位块151,滑轨三16,滑块三17,橡胶减震垫18,垫板19;
[0036]连接耳21;
[0037]左夹爪31,右夹爪32;
[0038]拉伸弹簧51,搭扣52;
[0039]连杆一41,连杆二42,连杆三43,连接块44;
[0040]锥体部61。
具体实施方式
[0041]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。
[0042]下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本技术。此外,本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械式取棒装置,其特征在于,包括:支架;托板,用于支撑晶棒底部的锥体部,所述托板上下滑动设置于所述支架的下部;抱夹机构,所述抱夹机构包括对称设置的左夹爪和右夹爪,所述抱夹机构水平滑动连接在所述支架上;连杆机构,所述连杆机构有两个,两个所述连杆机构对称设置于所述支架的两侧,两个所述连杆机构的下端分别与所述托板的左右两侧连接,两个所述连杆机构的上端分别与所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪连接,当所述晶棒放置于所述托板上时,晶棒的重力使所述托板下降,所述托板通过两个所述连杆机构分别带动所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪水平相向运动,以使所述抱夹机构呈对所述晶棒环抱夹持的夹紧状态;复位机构,所述复位机构有两个,所述复位机构包括拉伸弹簧和搭扣,所述拉伸弹簧的一端与支架的顶部连接,其另一端与连杆机构连接,所述搭扣设置于连杆机构上,所述搭扣用于控制所述连杆机构与所述托板的连接与断开,打开所述搭扣,所述拉伸弹簧收缩,带动所述连杆机构上移,两个所述连杆机构分别带动所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪水平背向运动,以使所述抱夹机构呈允许所述晶棒通过的打开状态。2.根据权利要求1所述的机械式取棒装置,其特征在于,所述抱夹机构为多个,多个所述抱夹机构从上到下间隔设置在所述支架上,所述支架上水平固定有与所述抱夹机构一一对应的滑轨一,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪的背面分别固定一个滑块一,所述抱夹机构的左夹爪和右夹爪分别通过一个滑块一与滑轨一滑动连接。3.根据权利要求1所述的机械式取棒装置,其特征在于,所述支架的下部的左右两端对称固定滑轨三,两个所述滑轨三竖向设置,所述托板的背面对称固定有与两个所述滑轨三一一对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员:张理杰宋涛李兆颖周来平
申请(专利权)人:徐州晶睿半导体装备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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