一种单晶炉快速降温结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉快速降温结构，包括炉体本体，所述炉体本体包括炉底、设于所述炉底上的下炉体、与所述下炉体可拆卸连接的上炉体，所述下炉体包括设于最内层的内筒体和包裹设置在所述内筒体外的外筒体，所述内筒体与所述外筒体之间设有一定间隙作为保温腔，所述保温腔内设有保温介质，所述保温腔内设有水冷铜管，所述水冷铜管盘绕所述内筒体设置，所述保温腔内还设有若干与所述内筒体侧壁固定连接的翅片，所述水冷铜管贯穿所述翅片设置，本实用新型专利技术提高降温效率，能够起到快速降温的作用，便于快速进行下一批次单晶硅的加工，便于快速降温对炉内进行维护，本实用新型专利技术兼具良好的保温效果及快速降温的性能于一体。兼具良好的保温效果及快速降温的性能于一体。兼具良好的保温效果及快速降温的性能于一体。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉快速降温结构


[0001]本技术涉及单晶炉的
，特别是用于单晶炉快速降温结构的


技术介绍

[0002]21世纪，世界能源危机促进了光伏市场的发展，晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视，特别是发达国家制定了一系列的扶持政策，鼓励开发利用太阳能，另外，随着硅太阳能电池应用面的不断扩大，太阳能电池的需求量越来越大，硅单晶材料的需求量也就越来越大。目前，在半导体和太阳能行业单晶硅的生产过程中，较多采用的是直拉法生产工艺，其所采用的设备是直拉单晶炉。利用单晶炉拉制单晶硅棒时，需要把硅料加热至1420℃以上使其熔化，然后拉晶成型。利用单晶炉进行直拉法单晶生产的工艺流程包括装炉、装料、合炉、抽空、熔料、引晶、缩颈、放肩、等径、收尾、停炉、拆炉等工艺，上述整套生产工艺耗时大约在75小时左右，由于单晶炉的降温速度慢，现有单晶炉多只能依靠自然的冷却方法非常缓慢得完成冷却，然后再进行下一批工件的加热。因为有保温层的存在，自然冷却的时间需要很长，使得现在的停炉工艺需要6个小时，耗时较长，而提前拆炉的话由于温度太高会损坏单晶炉内的热场部件，增加生产成本。
[0003]专利号为CN204151452U的中国技术专利就提出了一种单晶炉的停炉冷却装置，包括内部空心的炉盖，炉盖上分别设置有进水管、出水管和氩气进气管，进水管上设置有进水管阀门，出水管上设置有出水管阀门，氩气进气管上设置有氩气阀，炉盖的下表面通过两根导水管连接有冷却主体，冷却主体的下部连接有接触式冷却体，进水管、炉盖、导水管、冷却主体以及出水管依次连通构成冷却循环系统。但这种结构的冷却装置使用较为繁琐，需要在停炉后将设备移到单晶炉处，并将设备插入炉内才能使用，使用繁琐，且对环境要求较高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种单晶炉快速降温结构，能够提高单晶炉散热降温效率，快速散热。
[0005]为实现上述目的，本技术提出了一种单晶炉快速降温结构，包括炉体本体，所述炉体本体包括炉底、设于所述炉底上的下炉体、与所述下炉体可拆卸连接的上炉体，所述下炉体包括设于最内层的内筒体和包裹设置在所述内筒体外的外筒体，所述内筒体与所述外筒体之间设有一定间隙作为保温腔，所述保温腔内设有保温介质，所述保温腔内设有水冷铜管，所述水冷铜管盘绕所述内筒体设置，所述水冷铜管输入端设有与其连通的水冷输入管、输出端设有与其连通的水冷输出管，所述水冷输入管、水冷输出管均贯穿所述外筒体延伸至外部，所述保温腔内还设有若干与所述内筒体侧壁固定连接的翅片，所述水冷铜管贯穿所述翅片设置。
[0006]作为优选，所述的保温腔内还设有风冷管，所述风冷管盘绕所述内筒体侧壁设置并与所述内筒体侧壁贴合，所述风冷管输入端设有贯穿所述外筒体延伸至外部的进气管，所述风冷管输入端设有贯穿所述外筒体延伸至外部的出气管。
[0007]作为优选，所述的内筒体侧壁设有若干与所述风冷管贯通的气孔。
[0008]作为优选，所述的下炉体与所述上炉体之间设有可以驱动所述下炉体与所述上炉体分离或合并的炉体分离装置。
[0009]作为优选，所述的炉体分离装置包括竖直设置的蜗杆和设于所述蜗杆上用于驱动所述蜗杆升降的蜗轮驱动件，所述蜗轮驱动件内设有可以与所述蜗杆啮合的蜗轮，所述蜗杆下端与所述下炉体固定连接，所述蜗轮驱动件固定设于所述上炉体上，所述蜗杆贯穿所述上炉体与所述蜗轮驱动件连接。
[0010]作为优选，所述的蜗轮驱动件上设有与其内部蜗轮传动连接的驱动轴，所述驱动轴上设有手动轮。
[0011]作为优选，所述的下炉体与所述上炉体之间设有至少三个炉体分离装置，且所述炉体分离装置之间通过同步机构同步连接，所述同步机构包括设于所述上炉体上且首尾相连的环形齿条，所述环形齿条通过环形轴承与所述上炉体可旋转连接，所述驱动轴上设有可以与所述环形齿条啮合的同步齿轮。
[0012]本技术一种单晶炉快速降温结构的有益效果：本技术通过将下炉体设置为内筒体和外筒体组成的夹层结构，通过在夹层内设置保温介质可以提高炉体的保温性能，其中保温介质可以为保温棉等保温材料，通过在夹层内设置水冷铜管，水冷铜管的水冷输入管、水冷输出管可以与水冷设备连接，将冷却水或冷却油等液态冷却介质导入保温腔，对内部的保温介质和下炉体进行快速降温，设置翅片与水冷铜管配合，翅片能够吸收内筒体温度，提高降温效率，能够起到快速降温的作用，便于快速进行下一批次单晶硅的加工，便于快速降温对炉内进行维护，水冷铜管不使用时可以内部可以放空，便于保温，设置炉体分离装置可以将下炉体与上炉体分离，便于炉内散热，与风冷管、气孔配合，进一步提高散热效率，快速带走炉内热量，避免热量堆积；本技术兼具良好的保温效果及快速降温的性能于一体。
[0013]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0014]图1是本技术一种单晶炉快速降温结构的主视剖面结构示意图。
[0015]图2是本技术一种单晶炉快速降温结构的炉体分离装置放大后结构示意图。
[0016]图中：1
‑
炉体、2
‑
水冷铜管、3
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翅片、4
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风冷管、5
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炉体分离装置、6
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同步机构、11
‑
炉底、12
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下炉体、13
‑
上炉体、121
‑
内筒体、122
‑
外筒体、123
‑
保温介质、1211
‑
气孔、41
‑
进气管、42
‑
出气管、51
‑
蜗杆、52
‑
蜗轮驱动件、521
‑ꢀ
驱动轴、522
‑
手动轮、61
‑
环形齿条、62
‑
环形轴承、63
‑
同步齿轮。
【具体实施方式】
[0017]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解
释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉快速降温结构，包括炉体本体（1），所述炉体本体（1）包括炉底（11）、设于所述炉底（11）上的下炉体（12）、与所述下炉体（12）可拆卸连接的上炉体（13），其特征在于：所述下炉体（12）包括设于最内层的内筒体（121）和包裹设置在所述内筒体（121）外的外筒体（122），所述内筒体（121）与所述外筒体（122）之间设有一定间隙作为保温腔，所述保温腔内设有保温介质（123），所述保温腔内设有水冷铜管（2），所述水冷铜管（2）盘绕所述内筒体（121）设置，所述水冷铜管（2）输入端设有与其连通的水冷输入管（21）、输出端设有与其连通的水冷输出管（22），所述水冷输入管（21）、水冷输出管（22）均贯穿所述外筒体（122）延伸至外部，所述保温腔内还设有若干与所述内筒体（121）侧壁固定连接的翅片（3），所述水冷铜管（2）贯穿所述翅片（3）设置。2.如权利要求1所述的一种单晶炉快速降温结构，其特征在于：所述的保温腔内还设有风冷管（4），所述风冷管（4）盘绕所述内筒体（121）侧壁设置并与所述内筒体（121）侧壁贴合，所述风冷管（4）输入端设有贯穿所述外筒体（122）延伸至外部的进气管（41），所述风冷管（4）输入端设有贯穿所述外筒体（122）延伸至外部的出气管（42）。3.如权利要求2所述的一种单晶炉快速降温结构，其特征在于：所述的内筒体（121）侧壁设有若干与所述风冷管（4）贯通的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪建刚，
申请(专利权)人：浙江浩祥精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：