一种延长水冷时间的单晶炉炉盖制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉领域，具体公开了一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，外炉盖和内炉盖之间设有主冷水通道，主冷水通道靠近中间筒处设有主进水口，主冷水通道位于炉盖本体外围设有主出水口，主冷水通道呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形；中间筒包括第一外筒和第一内筒，第一外筒和第一内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第一水冷通道；第一冷水通道侧面设有第一进水口和连通主冷水通道的第一出水口；观察筒包括第二外筒和第二内筒，第二外筒和第二内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第二水冷通道；第二冷水通道侧面设有第二进水口和连通主冷水通道的第二出水口。能减慢水流速度，充分吸收炉盖热量，能对观察筒、中间筒也进行有效降温。行有效降温。行有效降温。

【技术实现步骤摘要】
一种延长水冷时间的单晶炉炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉领域，尤其是涉及一种延长水冷时间的单晶炉炉盖。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。炉盖：中间筒、设于炉盖本体上向上延伸的观察筒以及热屏提升筒。
[0003]目前对炉盖降温的方式是水冷降温，但是水流速度快，无法充分吸收炉盖表面的热量，而且无法对观察筒、中间筒也进行有效降温。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，能减慢水流速度，充分吸收炉盖热量，而且能对观察筒、中间筒也进行有效降温。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，包括半球形的炉盖本体和连接于炉盖本体中间向上延伸的中间筒、设于炉盖本体上向上延伸的观察筒以及热屏提升筒，所述炉盖本体包括外炉盖和内炉盖、设于外炉盖和内炉盖之间的主冷水通道，所述主冷水通道靠近中间筒处设有主进水口，主冷水通道位于炉盖本体外围设有主出水口，所述主冷水通道呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形；
[0006]所述中间筒包括第一外筒和第一内筒，所述第一外筒和第一内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第一水冷通道；第一水冷通道顶部侧面设有第一进水口和连通主冷水通道的第一出水口；
[0007]所述观察筒包括第二外筒和第二内筒，所述第二外筒和第二内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第二水冷通道；第二水冷通道顶部侧面设有第二进水口和连通主冷水通道的第二出水口。
[0008]本产品将所述主冷水通道设计成沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形，进而延长了水在主冷水通道内的停留时间，减慢了出水速度，进而使水能充分吸收炉盖的热量之后然后排出，提高降温效果；而且设计了所述第一水冷通道和第二水冷通道能对中间筒和观察筒通水降温，而且水最终会进入主冷水通道内继续吸收锅盖本体的热量然后排出。
[0009]进一步地，所述热屏提升筒包括第三外筒和第三内筒，所述第三外筒和第三内筒之间沿竖直方向形成螺旋形的第三水冷通道；第三水冷通道顶部侧面设有第三进水口和连通主冷水通道的第三出水口。该设计可对热屏提升筒通水降温，之后水进入主冷水通道内继续吸收锅盖本体的热量然后排出。
[0010]进一步地，所述第一水冷通道、第二水冷通道以及第三水冷通道也呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形。该设计进一步延长了水在第一水冷通道、第二水冷通
道以及第三水冷通道内停留的时间，使水充分吸收中间筒、观察筒以及热屏提升筒的热量之后排出。
[0011]进一步地，所述中间筒顶部设有第一法兰。方便拆装。
[0012]综上所述，本技术的有益效果：本产品能减慢水流速度，使水充分吸收炉盖热量之后排出；而且能对观察筒、中间筒也进行通水降温，之后水再进入主冷水通道设计对炉盖主体进行降温之后排出。
附图说明
[0013]图1为本技术剖视图；
[0014]图2为本技术结构示意图；
[0015]其中，炉盖本体1、外炉盖11、内炉盖12、主冷水通道13；中间筒2、第一外筒21、第一内筒22、第一水冷通道23、第一法兰24；观察筒3、第二外筒31、第二内筒32、第二水冷通道33；热屏提升筒4、第三外筒41、第三内筒42、第三水冷通道43。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]如图1和2所示，一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，包括炉盖本体1和中间筒2，所述炉盖本体1呈半球形，中间筒2连接于炉盖本体1中间，并且向上延伸设置。设于炉盖本体1上向上延伸的观察筒3以及热屏提升筒4，为了方便安装，于是所述中间筒2顶部设有第一法兰24。这些结构均是目前普通单晶炉炉盖的结构。
[0018]本产品的改进之处在于：所述炉盖本体1包括外炉盖11和内炉盖12以及主冷水通道13。所述主冷水通道13设于外炉盖11和内炉盖12之间，所述主冷水通道13靠近中间筒2处设有主进水口，主冷水通道13位于炉盖本体1外围设有主出水口，所述主冷水通道13呈螺旋形，而且主冷水通道13内部宽度沿水流方向逐渐变大再逐渐变小，进而能增大主冷水通道13的水容量，同时减慢出水时间，延长水在主冷水通道13内的停留时间；外炉盖11和内炉盖12为不锈钢制成，生产时，先将螺旋形的不锈钢条焊接到内炉盖12外表面，然后再将外炉盖11罩设与内炉盖12外，然后将螺旋形不锈钢条与外炉盖11焊接，进而外炉盖11、内炉盖12、螺旋形不锈钢条之间围成了主冷水通道13。
[0019]同理，所述中间筒2包括第一外筒21和第一内筒22，所述第一内筒22位于第一外筒21内，而且第一内筒22连通炉盖本体1内，所述第一外筒21和第一内筒22之间形成螺旋形第一水冷通道23，沿竖直方向螺旋设置。所述第一水冷通道23顶部侧面设有第一进水口，第一水冷通道23底部设有第一出水口，第一出水口连通主冷水通道13。同样地，所述观察筒3包括第二外筒31和第二内筒32，所述第二外筒31和第二内筒32之间形成螺旋形的第二水冷通道33，第二水冷通道33沿竖直方向形成螺旋设置。所述第二水冷通道33顶部侧面设有第二进水口，第二水冷通道33底部侧面设有第二出水口，第二出水口连通主冷水通道13。再者，所述热屏提升筒4包括第三外筒41和第三内筒42，所述第三外筒41和第三内筒42之间螺旋
形的第三水冷通道43，第三水冷通道43沿竖直方向螺旋设置。第三水冷通道43顶部侧面设有第三进水口，第三水冷通道43底部侧面设有第三出水口，第三出水口连通主冷水通道13。优选地，所述第一水冷通道23、第二水冷通道33以及第三水冷通道43也呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形。所述第一水冷通道23、第二水冷通道33以及第三水冷通道43的设置方式与主冷水通道13的设置方式类似，都是由螺旋形的不锈钢隔条焊接而成，此处不再赘述。
[0020]所述第一水冷通道23沿着水流方向分布若干凸包，该凸包由内炉盖12向外凸起形成，最好是圆弧形，进而当水流冲击到凸包时，会向两侧散开，增大散热面积，提高散热效果。
[0021]降温时，向主进水口通入冷水，水沿着冷水通道流动，从主出水口排出，由于主冷水通道13内部宽度沿水流方向逐渐变大再逐渐变小，进而减慢了出水速度，延长了水冷时间，提高了水冷效果，使水充分对炉盖进行降温；还可以向第一进水口、通入冷水，水经过第一水冷通道23对中间筒2进行降温之后从第一出水口进入主冷水通道13内，对炉盖主体进行降温，最后都从主排水口排出。同理，向第二进水口通入冷水，水经过第二水冷通道33，对观察筒3进行降温之后从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种延长水冷时间的单晶炉炉盖，包括半球形的炉盖本体(1)和连接于炉盖本体(1)中间向上延伸的中间筒(2)、设于炉盖本体(1)上向上延伸的观察筒(3)以及热屏提升筒(4)，其特征在于：所述炉盖本体(1)包括外炉盖(11)和内炉盖(12)、设于外炉盖(11)和内炉盖(12)之间的主冷水通道(13)，所述主冷水通道(13)靠近中间筒(2)处设有主进水口，主冷水通道(13)位于炉盖本体(1)外围设有主出水口，所述主冷水通道(13)呈沿水流方向宽度逐渐变大再逐渐变小的螺旋形；所述中间筒(2)包括第一外筒(21)和第一内筒(22)，所述第一外筒(21)和第一内筒(22)之间沿竖直方向形成螺旋形的第一水冷通道(23)；第一水冷通道(23)顶部侧面设有第一进水口和连通主冷水通道(13)的第一出水口；所述观察筒(3)包括第二外筒(31)和第二内筒(32)...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪建刚，
申请(专利权)人：浙江浩祥精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：