单晶炉制造技术

本实用新型专利技术适用于单晶硅棒制造技术领域，提供了一种单晶炉，单晶炉可包括炉体、坩埚、排气管道和自动除灰装置。炉体形成有炉室，坩埚设置在炉室内。排气管道连接在炉室底部且连通炉室。自动除灰装置可包括电驱部件和活动件，活动件可活动地设置在排气管道内，电驱部件安装在炉体和/或排气管道上，电驱部件连接活动件且用于驱动活动件在排气管道内活动。如此，可通过自动除灰装置的电驱部件来驱动活动件在排气管道内活动以定期对排气管道管壁上所凝固的挥发物进行清理，清理后的挥发物可从排气管道排走，改善单晶炉的排气堵塞现象，提高单晶品质，使得单晶炉能够长时间的运行。使得单晶炉能够长时间的运行。使得单晶炉能够长时间的运行。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅棒制造
，尤其涉及一种单晶炉。

技术介绍

[0002]在相关技术中，通常采用单晶炉来生产单晶硅棒，然而，单晶硅棒生产使用的单晶炉台受制于炉台排气、运行周期制约，在运行一定时间后就要停止生产，对降低晶棒生产成本造成巨大影响，例如，在单晶拉制的过程中，炉内会产生氧化物，氧化物会跟随气体沿炉底的排气管排出，但是炉台长时间运行后会导致氧化物在炉底排气管处冷凝堆积，进而堵塞炉台排气，导致单晶品质较低，同时也需要在工作一段时间后对排气管进行清理，导致炉台无法长时间运行。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种单晶炉，旨在解决现有技术中单晶炉的排气管道容易出现堵塞而导致单晶品质较低以及导致炉台无法长时间运行的技术问题。
[0004]本技术是这样实现的，本技术实施例的单晶炉包括：
[0005]炉体，所述炉体形成有炉室；
[0006]设置在所述炉室内的坩埚；
[0007]连接在所述炉室底部且连通所述炉室的排气管道；和
[0008]自动除灰装置，所述自动除灰装置包括电驱部件和活动件，所述活动件可活动地设置在所述排气管道内，所述电驱部件安装在所述炉体和/或排气管道上，所述电驱部件连接所述活动件且用于驱动所述活动件在所述排气管道内活动。
[0009]更进一步地，所述活动件包括旋转叶片，所述电驱部件包括电机，所述旋转叶片设置在所述排气管道内，所述旋转叶片的直径小于所述排气管道的直径，所述电机设置在所述排气管道外且与所述旋转叶片连接以驱动所述旋转叶片在所述排气管道内旋转。
[0010]更进一步地，所述活动件与所述排气管道滑动配合，所述电驱部件用于驱动所述活动件在所述排气管道内滑动。
[0011]更进一步地，所述活动件呈中空状。
[0012]更进一步地，所述单晶炉还包括控制器和连接所述排气管道的干泵，所述干泵用于将所述炉室内的气体抽出，所述控制器与所述干泵和所述电驱部件电连接；
[0013]其中，在所述炉室内的压力升高第一预设数值或者所述干泵的开度增加第二预设数值时，所述控制器控制所述干泵的开度调节至最大且控制所述电驱部件驱动所述活动件活动。
[0014]更进一步地，所述单晶炉还包括吸料工装，所述吸料工装用于从所述炉体的炉口处进入所述炉室内与所述坩埚内的硅液接触，在所述吸料工装与所述坩埚内的硅液接触时，所述坩埚内的硅液能够在所述炉室内的气压作用下被压入至所述吸料工装内。
[0015]更进一步地，所述吸料工装包括承载器和吸料管，所述承载器形成有密闭的收容
腔，所述吸料管连接在所述承载器上，所述吸料管包括输入端和输出端，所述输出端位于所述收容腔内且与所述收容腔连通，所述输入端位于所述收容腔外且凸出于所述承载器的底部；
[0016]在所述输入端与所述坩埚内的硅液接触时，所述坩埚内的硅液能够在所述炉室内的气压作用下从所述输入端吸入后从所述输出端流出至所述收容腔内。
[0017]更进一步地，所述吸料工装还包括保护套，所述承载器安装在所述保护套内，所述输入端穿设并凸出于所述保护套的底部，所述保护套用于连接外部提升装置以使所述外部提升装置能够带动所述吸料工装在所述炉室内上下升降。
[0018]更进一步地，所述保护套包括本体、可拆卸地安装在所述本体顶部的顶盖和可拆卸地安装在所述本体底部的底盖，所述本体环绕所述承载器设置，所述承载器设于所述本体、所述顶盖和所述底盖所围成的空间内，所述底盖上形成有通孔，所述输入端穿设所述通孔并凸出于所述底盖的底部。
[0019]更进一步地，所述输出端与所述收容腔的底部之间的距离大于预设阈值。
[0020]在本技术实施例中的单晶炉中，炉体的炉室底部连接有排气管道，自动除灰装置包括电驱部件和活动件，活动件可活动地设置在排气管道内，电驱部件安装在炉体和/或排气管道上，电驱部件连接活动件且用于驱动活动件在排气管道内活动。如此，可通过自动除灰装置的电驱部件来驱动活动件在排气管道内活动以定期对排气管道管壁上所凝固的挥发物进行清理，清理后的挥发物可从排气管道排走，改善单晶炉的排气堵塞现象，提高单晶品质，使得单晶炉能够长时间的运行。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0022]图1是本技术提供的单晶炉的结构示意图；
[0023]图2是本技术提供的单晶炉的自动除灰装置的结构示意图；
[0024]图3是本技术提供的单晶炉的自动除灰装置的另一结构示意图；
[0025]图4是本技术提供的单晶炉放置有吸料工装的结构示意图；
[0026]图5是本技术提供的吸料工装的结构示意图。
[0027]主要元件符号说明：
[0028]单晶炉100、炉体10、炉室11、主室111、副室112、坩埚20、排气管道30、自动除灰装置40、电驱部件41、活动件42、加热器50、干泵60、吸料工装70、承载器71、收容腔711、吸料管72、输入端721、输出端722、保护套73、本体731、顶盖732、底盖733、通孔7331。
具体实施方式
[0029]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本实用新
型。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体形成有炉室；设置在所述炉室内的坩埚；连接在所述炉室底部且连通所述炉室的排气管道；和自动除灰装置，所述自动除灰装置包括电驱部件和活动件，所述活动件可活动地设置在所述排气管道内，所述电驱部件安装在所述炉体和/或排气管道上，所述电驱部件连接所述活动件且用于驱动所述活动件在所述排气管道内活动。2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述活动件包括旋转叶片，所述电驱部件包括电机，所述旋转叶片设置在所述排气管道内，所述旋转叶片的直径小于所述排气管道的直径，所述电机设置在所述排气管道外且与所述旋转叶片连接以驱动所述旋转叶片在所述排气管道内旋转。3.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述活动件与所述排气管道滑动配合，所述电驱部件用于驱动所述活动件在所述排气管道内滑动。4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述活动件呈中空状。5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括控制器和连接所述排气管道的干泵，所述干泵用于将所述炉室内的气体抽出，所述控制器与所述干泵和所述电驱部件电连接；其中，在所述炉室内的压力升高第一预设数值或者所述干泵的开度增加第二预设数值时，所述控制器控制所述干泵的开度调节至最大且控制所述电驱部件驱动所述活动件活动。6.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉还包括吸料工装，所述吸料工装用...

【专利技术属性】
技术研发人员：张骏凯，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：