一种单晶炉小副室及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉小副室及单晶炉，单晶炉小副室包括：小副室筒，小副室筒内形成有腔室；旋摆阀仓，设置在小副室筒外侧，并与腔室连通，用于容纳旋摆阀，旋摆阀仓背离小副室筒的一侧设有开口；旋摆阀仓门，设置在旋摆阀仓的开口处；驱动组件；卡扣组件，卡扣组件的一端与旋摆阀仓门连接，另一端与驱动组件连接，用于在驱动组件的驱动下使旋摆阀仓门扣合开口，或远离开口。本实用新型专利技术的单晶炉小副室，使用驱动组件连接旋摆阀仓门，以控制旋摆阀仓门闭合与打开，有效提高了工作效率。有效提高了工作效率。有效提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉小副室及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶制备领域，具体涉及一种单晶炉小副室及单晶炉。

技术介绍

[0002]现有的单晶炉主要包括主炉室和设置在主炉室上方的副室，副室和主炉室通过小副室相互连通。单晶炉的小副室内设置有用于隔离主炉室和副室的旋摆阀，小副室侧壁上设置有用于容纳旋摆阀的旋摆阀仓，由于旋摆阀在隔离主炉室和副室的过程中，会积累挥发物及灰尘杂质，容易污染单晶棒，因此旋摆阀仓上设置有可拆卸的旋摆阀仓门，以每隔一段时间打开旋摆阀仓门，对旋摆阀进行清理。旋摆阀仓门通过螺栓与旋摆阀仓上的开口连接，螺栓在长时间的操作下会产生铁屑，若进入单晶炉会对单晶寿命造成影响，且随着单晶拉制行业的发展，大尺寸单晶炉的使用比例不断提高，随着炉型增大，炉台变高，旋摆阀仓门与副室之间的连接件体积也会相应增大，人工操作时需要进行登高作业，且操作难度较高，存在安全隐患。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种单晶炉小副室及单晶炉，用以解决现有旋摆阀仓门上螺栓产生的铁屑容易污染单晶棒，且拆装难度较高的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术实施例的一种单晶炉小副室，包括：小副室筒、旋摆阀仓、旋摆阀仓门、驱动组件以及卡扣组件。其中，小副室筒内形成有腔室；旋摆阀仓设置在小副室筒外侧，并与腔室连通，用于容纳旋摆阀，旋摆阀仓背离小副室筒的一侧设有开口。旋摆阀仓门设置在旋摆阀仓的开口处。驱动组件。卡扣组件的一端与旋摆阀仓门连接，另一端与驱动组件连接，用于在驱动组件的驱动下使旋摆阀仓门扣合开口或远离开口。通过驱动组件推动旋摆阀仓门开合，可以避免在旋摆阀仓门拆装过程中产生金属碎屑，污染单晶拉制环境，有效提高了单晶质量。同时在旋摆阀仓门的拆装过程中，无需人工介入，在避免了安全隐患的同时，有效降低了劳动强度。
[0006]在本技术的一个实施例中，驱动组件包括：气缸、驱动杆和传动杆。其中，气缸设置在旋摆阀仓仓体的侧壁上。驱动杆与气缸连接，用于在气缸的驱动下伸出或缩回。传动杆与驱动杆连接，传动杆长度方向与驱动杆长度方向垂直。
[0007]在本技术的一个实施例中，开口周向形成有向外突出的贴合部，贴合部与旋摆阀仓门靠近开口的一端匹配。也就是说，当旋摆阀仓门在靠近旋摆阀仓开口时，可以通过贴合部与旋摆阀仓的仓壁扣合，从而增加了旋摆阀仓门与旋摆阀仓的仓壁的接触面积。
[0008]在本技术的一个实施例中，卡扣组件设有两组，两组卡扣组件对称设置在传动杆的两端，卡扣组件包括：连接杆和旋转卡扣。连接杆与传动杆连接，连接杆背离传动杆的一端形成有螺纹。旋转卡扣通过螺纹与连接杆栓接，旋转卡扣背离连接杆的一端形成有沿径向向外突出的凸台。此外，旋摆阀仓还包括：两组第一卡槽板和两组第二卡槽板。其中，
两组第一卡槽板对称设置在旋摆阀仓门靠近驱动组件的一侧，第一卡槽板上形成有用于容纳旋转卡扣的第一卡槽；两组第二卡槽板与第一卡槽板对应设置在贴合部上靠近驱动组件的一侧，第二卡槽板上形成有用于容纳旋转卡扣的第二卡槽。
[0009]在本技术的一个实施例中，第一卡槽背离仓体的一侧形成有向内凹陷的引导面，引导面与旋转卡扣配合。
[0010]在本技术的一个实施例中，旋摆阀仓门形成有向背离小副室筒方向凸出的容纳空腔，且容纳空腔截面与旋摆阀截面匹配。
[0011]在本技术的一个实施例中，单晶炉小副室还包括：观察窗。观察窗设置在小副室筒侧壁上，用于观察小副室筒的腔室。
[0012]本申请还提供一种单晶炉，其特征在于，包括上述实施例中任一项的单晶炉小副室。
[0013]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0014]本技术的单晶炉小副室及单晶炉，通过使用气缸推动旋摆阀仓门伸缩，可以避免在旋摆阀仓门拆装过程中产生金属碎屑，污染单晶拉制环境，有效提高了单晶质量。同时在旋摆阀仓门的拆装过程中，无需人工介入，在避免了安全隐患的同时，有效降低了劳动强度。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例的单晶炉小副室的结构示意图；
[0016]图2为本技术实施例的单晶炉小副室的剖视图；
[0017]图3为本技术实施例的单晶炉小副室的另一结构示意图。
[0018]附图标记：100、小副室筒；200、旋摆阀仓；210、贴合部；220、第二卡槽板；300、旋摆阀仓门；310、第一卡槽板；400、驱动组件；410、气缸；420、驱动杆；430、传动杆；500、卡扣组件；510、连接杆；520、旋转卡扣；521、凸台；600、观察窗。
具体实施方式
[0019]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]除非另作定义，本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
[0021]下面首先结合附图具体描述根据本技术的一种单晶炉小副室，如图1所示，图1为本技术实施例的单晶炉小副室的结构示意图。单晶炉小副室包括：小副室筒100、旋
摆阀仓200、旋摆阀仓门300、驱动组件400以及卡扣组件500。其中，小副室筒100内形成有腔室。旋摆阀仓200设置在小副室筒100外侧，并与腔室连通，用于容纳旋摆阀。旋摆阀仓200背离小副室筒100的一侧设有开口。旋摆阀仓门300设置在旋摆阀仓200的开口处。卡扣组件500的一端与旋摆阀仓门300连接，另一端与驱动组件400连接，用于在驱动组件400的驱动下使旋摆阀仓门300扣合开口，或远离开口。
[0022]如图1所示，在隔离主炉室和副室时，旋摆阀可以从旋摆阀仓200中伸出并盖合在小副室筒100上。当需要清理旋摆阀时，旋摆阀可以缩回小副室筒100外侧的旋摆阀仓200内。此时，可以使用驱动组件400驱动与旋摆阀仓门300连接的卡扣组件500，向背离旋摆阀仓200开口一侧的方向运动，从而将与卡扣组件500连接的旋摆阀仓门300推出，以便于施工人员对旋摆阀进行清理。而在关闭旋摆阀仓门300时，可以使用驱动组件400驱动卡扣组件500向朝向旋摆阀仓200开口一侧方向运动，从而将旋摆阀仓门本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉小副室，其特征在于，包括：小副室筒，所述小副室筒内形成有腔室；旋摆阀仓，设置在所述小副室筒外侧，并与所述腔室连通，用于容纳旋摆阀，所述旋摆阀仓背离所述小副室筒的一侧设有开口；旋摆阀仓门，设置在所述旋摆阀仓的开口处；驱动组件；卡扣组件，所述卡扣组件的一端与所述旋摆阀仓门连接，另一端与所述驱动组件连接，用于在所述驱动组件的驱动下使所述旋摆阀仓门扣合所述开口，或远离所述开口。2.根据权利要求1所述的单晶炉小副室，其特征在于，所述驱动组件包括：气缸，设置在所述旋摆阀仓的侧壁上；驱动杆，与所述气缸连接，用于在所述气缸的驱动下伸出或缩回；传动杆，与所述驱动杆连接，所述传动杆长度方向与所述驱动杆长度方向垂直。3.根据权利要求2所述的单晶炉小副室，其特征在于，所述卡扣组件设有两组，两组所述卡扣组件对称设置在所述传动杆的两端，所述卡扣组件包括：连接杆，与所述传动杆连接，所述连接杆背离所述传动杆的一端形成有螺纹；旋转卡扣，通过所述螺纹与所述连接杆栓接，所述旋转卡扣背离所述连接杆的一端形成有沿径向向外突出的凸台。4.根据权利要求3所述的单晶炉小副室，其特征在于，所述开口周...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，宋克冉，李昕忆，
申请(专利权)人：曲靖晶澳光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：