一种单晶炉炉底电极用保护结构制造技术

技术编号:34356403 阅读:12 留言:0更新日期:2022-07-31 06:40
一种单晶炉炉底电极用保护结构,包括配设于电极柱与安装孔之间的衬层一和衬层二,其中,所述衬层一和所述衬层二沿所述电极柱的高度阶梯设置;所述衬层一靠近所述电极柱一侧设置,所述衬层二靠近所述安装孔内壁一侧设置;且所述电极柱与所述衬层一、所述衬层一和所述衬层二、以及所述衬层二与所述安装孔之间两两相互紧贴设置。本实用新型专利技术通过阶梯设置的衬层一和衬层二,严密包裹在电极柱的外壁并完全充满在电极柱与安装孔之间的空间中,使电极柱周围被双层结构的衬层一和衬层二包围设置,可减少单晶炉主室内的热气从电极柱与安装孔之间的间隙中流出,减少单晶炉内热量的散失,从而可降低热场功耗。可降低热场功耗。可降低热场功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉底电极用保护结构


[0001]本技术属于直拉单晶制备保温
,尤其是涉及一种单晶炉炉底电极用保护结构。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术,随着市场竞争加剧,单晶硅生产需要降低单晶硅单公斤的生产成本,来提升产品价格优势。单晶硅生产中,燃动成本占比较大,降低单晶炉功耗是降低单公斤生产成本的主要途径之一。尤其是在拉晶制程过程中,炉底电极柱的功耗变化较大,直接影响单晶炉主室内热场功率的稳定性。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种单晶炉炉底电极用保护结构,解决了现有技术中单晶炉炉底电极柱热量散失严重而导致热场功耗较大的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题,本技术采用的技术方案是:
[0005]一种单晶炉炉底电极用保护结构,包括配设于电极柱与安装孔之间的衬层一和衬层二,其中,所述衬层一和所述衬层二沿所述电极柱的高度阶梯设置;
[0006]所述衬层一靠近所述电极柱一侧设置,所述衬层二靠近所述安装孔内壁一侧设置;
[0007]且所述电极柱与所述衬层一、所述衬层一和所述衬层二、以及所述衬层二与所述安装孔之间两两相互紧贴设置。
[0008]进一步的,所述衬层一为筒状结构的塑性件,套设于所述电极柱外侧设置。
[0009]进一步的,所述衬层二为环状弹性件,被内置于所述衬层一和所述安装孔之间的空间。
[0010]进一步的,所述衬层一和所述衬层二的下端面均抵顶于电极片设置。
[0011]进一步的,所述衬层一的高度大于所述衬层二的高度。
[0012]进一步的,所述衬层一与所述衬层二的高度差不小于20mm。
[0013]进一步的,所述衬层一的上端面低于所述安装孔的上端面。
[0014]进一步的,所述衬层一的上端面低于所述电极柱的外壁面高度。
[0015]进一步的,所述衬层一的厚度小于所述衬层二的厚度。
[0016]进一步的,所述衬层二的厚度是所述衬层一厚度的2

4倍。
[0017]采用本技术设计的一种单晶炉炉底电极用保护结构,通过阶梯设置的衬层一和衬层二,严密包裹在电极柱的外壁并完全充满在电极柱与安装孔之间的空间中,使电极柱周围被双层结构的衬层一和衬层二包围设置,可减少单晶炉主室内的热气从电极柱与安装孔之间的间隙中流出,减少单晶炉内热量的散失,从而可降低热场功耗,也间接延长了置于炉底的保温材料的使用寿命。
附图说明
[0018]图1是本技术一实施例的一种单晶炉炉底电极用保护结构的结构示意图。
[0019]图中:
[0020]10、电极柱
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20、安装孔
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30、保护结构
[0021]31、衬层一
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32、衬层二
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40、电极片
具体实施方式
[0022]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0023]本实施例提出一种单晶炉炉底电极用保护结构30,如图1所示,包括配设于电极柱10与安装孔20之间的衬层一31和衬层二32,在炉底上设有4个主加热器的电极柱10和2个底加热器的电极柱10,气流经多个电极柱10与其配合的安装孔20之间的缝隙所流出带走的热量是热场热量散失的主要途径,进而在所有的电极柱10和安装孔20之间的缝隙中完全填充保护结构30,使缝隙完全被封堵,进而可减少热量的散失,降低单晶炉功耗。其中,衬层一31和衬层二32均沿电极柱10的高度阶梯设置,衬层一31靠近电极柱一10侧设置,衬层二32靠近安装孔20内壁一侧设置;且电极柱10与衬层一31、衬层一31和衬层二32、以及衬层二32与安装孔20之间两两相互紧贴设置。严密包裹在电极柱10的外壁并完全充满在电极柱10与安装孔20之间的空间中的衬层一31和衬层二32,可使气流被隔设在炉腔内,无法沿电极柱10和安装孔20之间的空隙流出,进而可减少单晶炉内热量的散失,从而可降低热场功耗,也间接延长了置于炉底的保温材料的使用寿命。
[0024]进一步的,衬层一31为筒状结构的塑性件,该塑性件由低热导率、耐高温、高温绝缘性好、高温下化学稳定性好的材质制作而制成,套设于电极柱10的外侧且紧贴电极柱10设置。
[0025]进一步的,衬层二32为环状弹性件,优选地采用熔点高于石英砂且导热率低于石英砂的材料制成,且衬层二32完全被内置于衬层一31和安装孔20之间的空间中,由于采用由衬层一31和衬层二32形成的封闭且严实的保护结构30,可使炉底中的安装孔20的内径缩小,从而减少主室内热场热量的散失;且整个保护结构30在高温状态下的物理性能稳定,从而达到降低功耗的效果。
[0026]进一步的,衬层一31和衬层二32的下端面均抵顶于电极柱10下端面设置的石英电极片40,完全使衬层一31和衬层二32填满电极柱10和安装孔20。
[0027]进一步的,衬层一31的高度大于衬层二32的高度;优选地,衬层一31与衬层二32的高度差不小于20mm,从而使衬层一31被悬空放置在电极柱10和安装孔20之间,保证衬层一31对电极柱10的保护。
[0028]进一步的,衬层一31的上端面低于安装孔20的上端面,目的是使衬层一31不会干涉电极柱10与安装孔20的安装。
[0029]进一步的,衬层一31的上端面低于电极柱20的外壁面高度,防止电极柱10出现打火现象。
[0030]进一步的,衬层一31的厚度小于衬层二32的厚度,目的是提高衬层二32填充的稳定且密实,在保证衬层一31完全包裹电极柱10设置的基础上,并保证衬层一31放置的稳固性。
[0031]优选地,衬层二32的厚度是衬层一31厚度的2

4倍。
[0032]采用本技术设计的一种单晶炉炉底电极用保护结构,通过阶梯设置的衬层一和衬层二,严密包裹在电极柱的外壁并完全充满在电极柱与安装孔之间的空间中,使电极柱周围被双层结构的衬层一和衬层二包围设置,可减少单晶炉主室内的热气从电极柱与安装孔之间的间隙中流出,减少单晶炉内热量的散失,从而可降低热场功耗,也间接延长了置于炉底的保温材料的使用寿命。
[0033]以上对本技术的实施例进行了详细说明,所述内容仅为本技术的较佳实施例,不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉底电极用保护结构,其特征在于,包括配设于电极柱与安装孔之间的衬层一和衬层二,其中,所述衬层一和所述衬层二沿所述电极柱的高度阶梯设置;所述衬层一靠近所述电极柱一侧设置,所述衬层二靠近所述安装孔内壁一侧设置;且所述电极柱与所述衬层一、所述衬层一和所述衬层二、以及所述衬层二与所述安装孔之间两两相互紧贴设置。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉底电极用保护结构,其特征在于,所述衬层一为筒状结构的塑性件,套设于所述电极柱外侧设置。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉炉底电极用保护结构,其特征在于,所述衬层二为环状弹性件,被内置于所述衬层一和所述安装孔之间的空间。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉炉底电极用保护结构,其特征在于,所述衬层一和所述衬层二的下端面均抵顶于电极片设置。5.根据权利要求1

2、4任一项所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:李鹏飞王建平许建王凯赵子龙王建龙高建芳
申请(专利权)人:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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