一种单晶炉导气管防护罩体制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉导气管防护罩体，可置于导气管顶部，罩体至少包括在所述导气管的部分顶部配设的盖面，所述盖面靠近加热器一侧具有反射层，能够在拉晶制程中阻止所述导气管受反冲气流冲击时使所述导气管与底部加热器隔离，并同时使从加热器中的电磁波朝所述导气管方向发出的光线反射回热场中，以降低热场热量损失。本实用新型专利技术在导气管顶部放置一防护罩体，不仅可阻止导气管被反冲气流冲击，避免出现底部加热器电极打火；而且还可对所有从加热器中向下传递的热辐射光线反射回热场，以阻止加热器向外扩散的热量传播，进而可降低热场的热量损失和功率消耗，从而提高热场保温效果。效果。效果。

A protective cover for air duct of single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉导气管防护罩体


[0001]本技术属于单晶炉热场保温
，尤其是涉及一种单晶炉导气管防护罩体。

技术介绍

[0002]现有直拉单晶生长制程中，炉体内的废气和杂质随惰性气体从炉底中的导气管排出，但因导气管很容易被反冲气流回吹，并使导气管接触到单晶炉炉底的底部加热器时，会出现电极打火，造成导气管出现凹坑或黑点，亦会引起炉底加热器无法通电，热场工作失效，进而直接导致炉内硅料焖埚。还有，现有主加热器发射的电磁波直接由上而下直接辐射到导气管位置下方的低温区，热量随惰性气体流失严重；同时，在导气管中的排出气流与反冲气流相向对流时，使得炉底处的温度更低，会使更多炉内高温热量流传至低温区，导致炉内热场功耗较大，热量散失严重。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种单晶炉导气管防护罩体，解决了现有技术中由于主加热器的温度直接传递至导气管上而导致热场温度损失严重且功耗大的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种单晶炉导气管防护罩体，可置于导气管顶部，罩体至少包括在所述导气管的部分顶部配设的盖面，所述盖面靠近加热器一侧具有反射层，能够在拉晶制程中阻止所述导气管受反冲气流冲击时使所述导气管与底部加热器隔离，并同时使从加热器中的电磁波朝所述导气管方向发出的光线反射回热场中，以降低热场热量损失。
[0006]进一步的，所述导气管顶部被所述盖面全覆盖且紧贴所述盖面的内壁设置。
[0007]进一步的，所述罩体还包括与所述盖面一体设置的壁面，所述壁面套设于所述导气管直壁段设置。
[0008]进一步的，所述壁面高度不大于所述导气管中排气孔的位置高度。
[0009]进一步的，所述壁面高度大于所述导气管中排气孔的位置高度。
[0010]进一步的，在所述壁面上还设有与所述导气管中排气孔叠放设置的通孔，且所述通孔的数量与所述排气孔数量相同。
[0011]进一步的，每个所述通孔面积不小于与其配合的所述排气孔的面积。
[0012]进一步的，所述盖面与所述壁面的连接处为弧面结构或直角结构。
[0013]进一步的，所述盖面与所述壁面厚度相同。
[0014]进一步的，所述罩体为钼制金属制成的结构。
[0015]本技术在导气管顶部放置一防护罩体，不仅可阻止导气管被反冲气流冲击，避免出现底部加热器电极打火；而且还可对所有从加热器中的电磁波朝导气管方向发出的热辐射光线反射回热场，以阻止加热器向外扩散的热量传播，进而可降低热场的热量损失和功率消耗，从而提高热场保温效果。
附图说明
[0016]图1是本技术中实施例一的一种单晶炉导气管防护罩体的结构图；
[0017]图2是本技术实施例一中A部放大图；
[0018]图3是本技术实施例一中的另一种防护罩体的结构示意图；
[0019]图4是本技术中实施例二的导气管的防护罩体的结构图；
[0020]图5是本技术实施例二中的另一种防护罩体的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]10、导气管
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11、排气孔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20、罩体
[0023]21、盖面
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
22、壁面
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
23、通孔
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0025]本实施例提出的一种单晶炉导气管防护罩体，如图1所示，每个单晶炉的炉底中一般设有两个导气管10，其中，导气管10的顶部为封面并在其顶部周缘设有若干排气孔11，导气管10为圆柱型结构。本事实施例中的防护罩体20，可置于导气管10的顶部，包括在导气管10的部分顶部配设一盖面21，盖面21靠近加热器一侧为反射面，盖面21能够在拉晶制程中，首先可以阻止导气管10受反冲气流冲击时使导气管10与底部加热器(附图省略)隔离，以防止导气管10与底部加热器碰撞而产生打火，一旦底部加热器的电极出现打火现象，则会导致两个主加热器、一个底部加热器、炭炭坩埚以及炭炭埚托全部报废，加热器无法通电，炉内热场工作失灵，直接导致石英坩埚内的硅料焖埚，致使硅料损失严重，罩体20的设置可完全避免这类事故的发生。其次，因热场中的热量主要是以热传导和热辐射的方式进行向外扩散，主要是以热辐射为主；而本实施例中的盖面21为具有反射功能的钼材料制成，是具有反射功能的反射层，可有效将从加热器中的电磁波朝导气管10方向发出的热辐射光线返回至热场中，以减少热量传递的损失；而且可在经导气管中的排出气流与反冲气流相向对流时，防止炉底处的温度变化过大，避免使更多炉内高温热量流传至低温区，以降低热场热量损失，缓解炉内热场功耗。
[0026]进一步的，导气管10的顶部被盖面21全覆盖且紧贴盖面21的内壁设置，进而可保证盖面21与导气管10配合的稳固性，防止盖面21掉落或挪移，从而保证罩体20对导气管10防护的有效性、安全性和稳定性。且所有导气管10上均设有罩体20，也即是每个炉体内的两个导气管10都配设一罩体20，进而保证炉体底部温度变化的稳定性，使热场温度变化幅度减小，从而可保证热场热量散失最小化。
[0027]进一步的，如图2所示，罩体20还包括与盖面21一体设置的壁面22，壁面22套设于导气管10的直壁段设置，目的是导气管10的顶部及侧部的部分全被罩体20所包裹，以使导气管10的四周均可形成一个反射网，更加全面且有效地吸收从加热器中电磁波朝导气管10方向发出的热辐射光线反射回热场中，进而防止温度向外扩散，提高热场温度保温性能。
[0028]其中一个实施例，壁面22的高度H1不大于导气管10中排气孔11的位置高度H2，目的是在保证惰性气体经排气孔11正常排出的条件下，包裹导气管10的顶部面，以降低热场热量损失和功率消耗。优选地，避免22的高度H1的边缘与排气孔11的上部边缘齐平设置。此时，盖面21与壁面22可以为弧面连接设置，如图2所示。也可以为直角连接设置，如图3所示。
[0029]其中另一个实施例，壁面22的高度H1大于导气管10中排气孔11的位置高度H2，且在壁面22上还设有与导气管10中所有排气孔11叠放设置的通孔23，且通孔23的数量与排气孔11的数量相同，同时，每个通孔23的面积不小于与其配合的排气孔11的面积。目的是使罩体20的结构不阻碍排气孔11的排气效果，同时还能保证罩体20对导气管10的防护。此时，盖面21与壁面22的连接处可以为弧面结构，如图4所示，也可以为直角结构，如图5所示。
[0030]无论罩体20的结构如何，则罩体20中的盖面21与壁面22的厚度均相同，优选地，该厚度不大于10mm；这是由于若壁面22的厚度大于10mm，而导气管10与加热器之间的单面距离为20mm，则罩体20的外壁面与加热器会更加接近，会出现安装问题。同时，罩体20为钼本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉导气管防护罩体，其特征在于，可置于导气管顶部，罩体至少包括在所述导气管的部分顶部配设的盖面，所述盖面靠近加热器一侧具有反射层，能够在拉晶制程中阻止所述导气管受反冲气流冲击时使所述导气管与底部加热器隔离，并同时使从加热器中的电磁波朝所述导气管方向发出的光线反射回热场中，以降低热场热量损失。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导气管防护罩体，其特征在于，所述导气管顶部被所述盖面全覆盖且紧贴所述盖面的内壁设置。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉导气管防护罩体，其特征在于，所述罩体还包括与所述盖面一体设置的壁面，所述壁面套设于所述导气管直壁段设置。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉导气管防护罩体，其特征在于，所述壁面高度不大于所述导气管中排气孔的位置高度。5.根据权利要求3所述的一种单晶炉导气管防护罩体，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振宇，许建，安磊，郭志荣，李晓东，王建平，高建芳，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：