检测装置及具有其的单晶炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种检测装置及具有其的单晶炉，检测装置包括：支架组件、旋转平台、检测元件，旋转平台包括底座和第一转盘，底座固定连接于支架组件上，且第一转盘可转动地与底座相连；检测元件与第一转盘固定连接。根据本实用新型专利技术的检测装置，通过设置检测元件，利用检测元件可以精确的检测籽晶是否位于参考位置，与传统的通过人工观测籽晶的位置相比，具有检测精确高和可以自动测量的优点，可以减轻操作人员劳动强度，同时还可以实现快速检测，提高工作效率。此外通过设置旋转平台，且检测元件可转动地设在旋转平台上，利用旋转平台可以调节检测元件的位置，从而实现对籽晶参考位置的调节，同时还可以保证调节的精度。同时还可以保证调节的精度。同时还可以保证调节的精度。

【技术实现步骤摘要】
检测装置及具有其的单晶炉


[0001]本技术涉及晶体制造
，特别涉及一种检测装置及具有其的单晶炉。

技术介绍

[0002]相关技术中，单晶炉在拉晶生长时，需要用到籽晶。籽晶安装在提拉晶棒的硬轴的下端，单晶炉在工艺上需要知道籽晶所在的参考位置，用来校准籽晶位置，目前是通过单晶炉副室上的观察窗人工观测籽晶的位置，存在测量误差且加大了操作人员的劳动强度。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种具有检测装置，通过设置可以转动的检测元件，可以实现自动化测量，利于提高检测准确性、且利于减轻操作人员的劳动强度。
[0004]本技术的另一个目的在于提出一种单晶炉，所述单晶炉包括上述检测装置。
[0005]根据本技术实施例的检测装置，包括：支架组件、旋转平台、检测元件，所述旋转平台包括底座和第一转盘，所述底座固定连接于所述支架组件上，且所述第一转盘可转动地与所述底座相连；所述检测元件与所述第一转盘固定连接。
[0006]根据本技术实施例的检测装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：支架组件；旋转平台，所述旋转平台包括底座和第一转盘，所述底座固定连接于所述支架组件上，且所述第一转盘可转动地与所述底座相连；检测元件，所述检测元件与所述第一转盘固定连接。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括：第二转盘，所述第二转盘可转动地与所述底座相连，所述第二转盘的周缘设有滑块，所述第二转盘被构造成在与所述第一转盘相对固定和相对分离的状态之间可切换；调节件，所述调节件设于所述底座上并抵接所述滑块，以驱动所述第二转盘转动；弹性件，所述弹性件分别与所述底座和所述滑块相连，以驱动所述滑块抵接所述调节件。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述底座设有第一安装块和第二安装块，所述第一安装块和所述第二安装块沿所述第二转盘的周向间隔排布，所述滑块设于所述第一安装块和所述第二安装块之间，其中，所述调节件包括丝杆和旋转手柄，所述丝杆可伸缩地与所述第一安装块相连，所述丝杆抵接所述滑块，所述旋转手柄可转动地与所述第一安装块相连，并与所述旋转手柄螺纹转动连接，所述旋转手柄适于驱动所述丝杆伸缩；和/或所述弹性件包括弹簧，所述弹簧抵接于所述第二安装块和所述滑块之间；和/或所述调节件还包括细调锁紧件，细调锁紧件与所述第二安装块螺纹传动连接，所述细调锁紧件与所述调节件适于分别抵接于所述滑块的相对两侧，以锁紧所述滑块。4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括：粗调锁紧件，所述粗调锁紧件与所述第二转盘相连，并被构造成适于锁紧和释放所述第一转盘，所述粗调锁紧件锁紧所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对固定，且所述粗调锁紧件释放所述第一转盘时所述第一转盘与所述第二转盘相对分离。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述旋转平台还包括粗调手柄，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢飞，张龙飞，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：