本实用新型专利技术公开了一种防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备，防晶棒坠落装置包括：安装座和托臂，托臂可转动地设于安装座上，托臂具有防脱状态，在防脱状态，托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，托臂在第一防坠位置、第二防坠位置和位于第一防坠位置和第二防坠位置之间的任一位置，托臂均可承接晶棒。根据本实用新型专利技术的防晶棒坠落装置，通过安装座上设置的可活动托臂，可以在取棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。生长设备造成损坏及伤害。生长设备造成损坏及伤害。
【技术实现步骤摘要】
防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备
[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其是涉及一种防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备。
技术介绍
[0002]单晶炉是半导体
生长单晶的常用设备，采用CZ法生产单晶。通常先在单晶炉中将多晶硅料投入单晶炉的主室中高温熔化，将籽晶浸入，单晶炉中提拉机构向上作慢速提拉，经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤最终形成晶棒；然后将晶棒从单晶炉的副室中取出。通常晶棒在引晶处的直径为4
‑6㎜
，该引晶部分的抗拉应力远大于抗剪应力。则取出晶棒时，关闭隔离阀并将副室在水平方向上旋转，使得副室与主室间隔，而副室在旋转过程中会带动晶棒旋转易受到剪切应力，进而易发生断线引起晶棒坠落，造成坩埚、热场等击穿，而在炉内坠落的晶棒取出较为困难；在副室中提拉机构的作用晶棒下降进入取棒车位置，由于副室的振动或旋转后副室的倾斜，(因处于副室内的晶棒在提拉机构的作用下始终处于竖直状态，使得竖直的晶棒与副室间的相对位置不是同轴的)容易使得晶棒受到剪切应力，进而在晶棒进入取棒车过程中也会发生坠落的风险，造成晶棒较为严重的损伤。但是目前却没有一种保护装置，可保证晶棒安全地从副室旋出到取棒车位置。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置可以对晶棒起到承接作用，可以对晶棒取棒的整个过程进行防护，避免晶棒坠落的风险，进而降低了对晶棒本身、现场作业员及晶体生长设备造成的伤害及损失。
[0004]本技术还提出一种具有上述防晶棒坠落装置的晶体生长设备。
[0005]根据本技术第一方面的防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置用于防止晶棒坠落，所述防晶棒坠落装置包括：安装座；托臂，所述托臂可活动地设于所述安装座上，所述托臂具有防脱状态，在所述防脱状态，所述托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，所述托臂在所述第一防脱位置、所述第二防坠位置和位于所述第一防坠位置和所述第二防坠位置之间的任一位置，所述托臂均可承接所述晶棒。
[0006]根据本技术的防晶棒坠落装置，通过安装座上设置的可活动托臂，可以在从副室取出晶棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至炉内或地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。而当托臂与晶棒表面形成有一定的间距，可以保证晶棒在托臂的防护下安全下落至取棒车的取棒位置，降低了晶棒的坠落风险，也有效地避免了因晶棒倾斜造成卡棒而坠落的风险。
[0007]根据本技术的一些实施例，在所述第一防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的下侧，所述托臂适于与所述晶棒的尾部的外表面接触，或，所述托臂适于与所述尾部上下相对；在所述第二防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的径向外侧，所述托臂与所述晶棒的
等径部的外表面接触，或，所述托臂与所述等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距。
[0008]根据本技术的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述托臂与所述晶棒之间的间距。
[0009]根据本技术的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：滚动件，所述滚动件绕球心可滚动地设于所述托臂上，或，所述滚动件绕水平延伸的转动轴线可转动地设于所述托臂上，所述托臂适于通过所述滚动件承接所述晶棒。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述托臂沿朝向一侧凹陷的曲线和/或折线延伸，所述托臂的内侧限定出晶棒承接空间，所述滚动件设于所述托臂的朝向所述晶棒承接空间的一侧。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述滚动件包括多个，多个所述滚动件沿所述托臂的延伸方向间隔布置。
[0012]根据本技术的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：支撑架，所述支撑架的一端绕水平延伸的旋转轴线可转动地与所述安装座相连，所述托臂设于所述支撑架的另一端；驱动件，所述驱动件与所述支撑架相连，所述驱动件用于驱动所述支撑架转动。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述托臂还具有准备位置，在所述准备位置时，所述托臂位于所述安装座的上侧，在所述第一防坠位置和所述第二防坠位置，所述托臂均位于所述安装座的下侧。
[0014]根据本技术的一些实施例，在所述第一防坠位置和所述第二防坠位置，所述托臂在所述晶棒的径向由内向外的方向上向上倾斜设置。
[0015]根据本技术的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：传动轴，所述传动轴水平设置，所述传动轴的一端与所述驱动件相连，所述支撑架上设有连接部，所述连接部套设在所述传动轴上并与所述传动轴固定连接；轴承座，所述轴承座设于所述安装座上，所述轴承座包括间隔布置的至少两个，所述轴承座上设有轴承，所述传动轴通过轴承可转动地支撑于所述轴承座上；减速器，所述减速器连接在所述驱动件与所述传动轴之间，所述驱动件为电机。
[0016]根据本技术第二方面的晶体生长设备，包括副室和根据本技术第一方面的所述的防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置设于所述副室的外侧。
[0017]根据本技术的晶体生长设备，通过设置上述第一方面的防晶棒坠落装置，从而提高了晶体生长设备的使用寿命。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述防晶棒坠落装置包括多个，多个所述防晶棒坠落装置沿所述副室的周向间隔布置。
[0019]根据本技术的一些实施例，所述副室的下端形成有沿径向向外凸出的法兰，所述安装座设于所述法兰上。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0021]图1是根据本技术实施例的防晶棒坠落装置的示意图；
[0022]图2是根据本技术实施例的晶体生长设备的示意图；
[0023]图3是根据本技术实施例的晶体生长设备未使用防晶棒坠落装置时的示意图；
[0024]图4是根据本技术实施例的晶体生长设备使用防晶棒坠落装置时的正视图，其中托臂和滚动件支撑晶棒的底部；
[0025]图5是根据本技术实施例的晶体生长设备使用防晶棒坠落装置时的的侧视图，其中，托臂和滚动件抵接在晶棒的侧壁；
[0026]图6是图5中所示的晶体生长设备的晶体生长设备的正视图；
[0027]图7是图6中所示的晶体生长设备的晶体生长设备的局部放大图。
[0028]附图标记：
[0029]1000、晶体生长设备；
[0030]100、防晶棒坠落装置；
[0031]10、支撑架；11、连接部；
[0032]20、托臂；
[0033]30、滚动件；
[0034]40、安装座；
[0035]50、驱动件；
[0036]60、传动轴；
[0037]70、轴承座；71、轴承；
[0038]80、减速器；
[0039]200、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防晶棒坠落装置，其特征在于，所述防晶棒坠落装置用于防止晶棒坠落，所述防晶棒坠落装置包括：安装座；托臂，所述托臂可转动地设于所述安装座上，所述托臂具有防脱状态，在所述防脱状态，所述托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，所述托臂在所述第一防坠位置、所述第二防坠位置和位于所述第一防坠位置和所述第二防坠位置之间的任一位置，所述托臂均可承接所述晶棒。2.根据权利要求1所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，在所述第一防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的下侧，所述托臂适于与所述晶棒的尾部的外表面接触，或，所述托臂适于与所述尾部上下相对；在所述第二防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的径向外侧，所述托臂与所述晶棒的等径部的外表面接触，或，所述托臂与所述等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距。3.根据权利要求2所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述托臂与所述晶棒之间的间距。4.根据权利要求1所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：滚动件，所述滚动件绕球心可滚动地设于所述托臂上，或，所述滚动件绕水平延伸的转动轴线可转动地设于所述托臂上，所述托臂适于通过所述滚动件承接所述晶棒。5.根据权利要求4所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，所述托臂沿朝向一侧凹陷的曲线和/或折线延伸，所述托臂的内侧限定出晶棒承接空间，所述滚动件设于所述托臂的朝向所述晶棒承接空间的一侧。6.根据权利要求5所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，所述滚动件包括多个，多个所述滚动件沿所述托臂的延伸方向间隔布置。7.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：颜子棋，李向阳，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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