晶棒运输车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶棒运输车，所述晶棒运输车包括：车架；支撑台，所述支撑台沿第一方向延伸且包括沿第二方向间隔排布的两个；第一弹性件，所述第一弹性件连接在所述支撑台与所述车架之间，以使所述支撑台相对于所述车架在所述第二方向上可活动；减振托架，所述减振托架包括多个，多个所述减振托架分别设于两个所述支撑台上，多个所述减振托架构造成适于托举晶棒并为所述晶棒减振。根据本实用新型专利技术的晶棒运输车，通过车架上设置的第一弹性件及减振托架，可以增加减振效果，减小振动幅度，进而对晶棒实现减振保护，降低晶棒在运输过程中因振动而引起的损坏。动而引起的损坏。动而引起的损坏。

【技术实现步骤摘要】
晶棒运输车


[0001]本技术涉及晶棒运输
，尤其是涉及一种晶棒运输车。

技术介绍

[0002]长晶炉的拉晶完成后，晶棒需从无尘室转运到截断滚圆车间进行阶段，但目前没有转移用的专用工具，只能通过取棒车将晶棒转移。由于从无尘室到截断车间距离比较远，转运时间会比较长，若路面不平整则会造成取棒车颠簸，有引起晶棒断裂的风险。同时，长时间用取棒车运输晶棒也会减少其使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种晶棒运输车，所述晶棒运输车可以增加减振效果，减小振动幅度，进而对晶棒实现减振保护，降低晶棒在运输过程中因振动而引起的损坏，同时，可以对不同尺寸的晶棒进行承托、运输，提高可适用性。
[0004]根据本技术的晶棒运输车，包括：车架；支撑台，所述支撑台沿第一方向延伸且包括沿第二方向间隔排布的两个；第一弹性件，所述第一弹性件连接在所述支撑台与所述车架之间，以使所述支撑台相对于所述车架在所述第二方向上可活动；减振托架，所述减振托架包括多个，多个所述减振托架分别设于两个所述支撑台上，多个所述减振托架构造成适于托举晶棒并为所述晶棒减振。
[0005]根据本技术的晶棒运输车，通过车架上设置的第一弹性件及减振托架，可以增加减振效果，减小振动幅度，进而对晶棒实现减振保护，降低晶棒在运输过程中因振动而引起的损坏。同时，间隔排布的两个支撑台相对于车架在第二方向上可活动，可以使减振托架限定出不同的托举空间，进而可以对不同尺寸的晶棒进行承托、运输，提高晶棒运输车的可适用性。
[0006]根据本技术的一些实施例，所述支撑台相对于所述车架在第一位置和第二位置之间可移动，所述车架上设有第一限位件和第二限位件，所述支撑台在所述第一位置时与所述第一限位件抵接，所述支撑台在所述第二位置时与所述第二限位件抵接。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述支撑台上设有沿第二方向延伸的导向孔，所述车架上设有导向杆，所述导向杆穿设于所述导向孔内，所述第一弹性件为第一弹簧，所述第一弹簧套设在所述导向杆上。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述减振托架包括：底座，所述底座与所述支撑台相连；托举件，所述托举件设于所述底座上且适于与所述晶棒接触以支撑所述晶棒；第二弹性件，所述第二弹性件连接在所述底座和所述托举件之间，以使所述托举件相对于所述底座沿上下可活动。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述托举件为截面为圆形的柱体，所述减振托架还包括支架，所述支架通过所述第二弹性件设于所述底座上，所述托举件沿水平轴线可转
动地设于所述支架上。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述托举件为回转体，所述托举件的外周面的母线为沿径向向外凸起的弧线。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述减振托架还包括：导向轴，所述导向轴竖向设置，所述支架通过所述导向轴可转动地设于所述底座上，所述底座上设有限位凹槽，所述支架的下端伸入所述限位凹槽内，所述限位凹槽的侧壁适于与所述支架抵接以限制所述支架相对于所述底座的转动角度。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述限位凹槽沿第一方向延伸，在所述第一方向上，所述限位凹槽的宽度先逐渐减小再逐渐增大。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述限位凹槽的侧壁包括沿第一方向顺次相连的第一延伸段和第二延伸段，所述第一延伸段和所述第二延伸段均为平面，且所述第一延伸段和所述第二延伸段与所述第一方向的夹角为8
°
到15
°
。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述底座上设有滑槽，所述底座通过所述滑槽沿所述第一方向可滑动地设于所述支撑台上，所述支撑台上设有沿所述第一方向间隔布置的多个第一定位部，所述底座上设有第二定位部，所述第二定位部可与任一个所述第一定位部配合以定位所述减振托架。
[0015]根据本技术的一些实施例，晶棒运输车还包括：吹扫冷却机构，所述吹扫冷却机构设于所述车架上，所述吹扫冷却机构设有吹气口，所述吹气口朝向所述晶棒设置。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例的晶棒运输车的俯视图；
[0018]图2是根据本技术实施例的晶棒运输车的侧视图；
[0019]图3是图1所圈示的A处的放大图；
[0020]图4是图1所示的减振托架的示意图；
[0021]图5是图1所示的减振托架的另一角度的示意图；
[0022]图6是图1所示的减振托架的再一角度的示意图。
[0023]附图标记：
[0024]100、晶棒运输车；
[0025]10、车架；11、第一限位件；12、第二限位件；
[0026]20、支撑台；21、导向杆；
[0027]30、第一弹性件；
[0028]40、减振托架；41、底座；411、限位凹槽；4111、第一延伸段；4112、第二延伸段；412、滑槽；42、托举件；43、第二弹性件；44、支架；45、导向轴；
[0029]50、车轮；
[0030]60、把手。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0032]下面参考图1
‑
图6描述根据本技术实施例的晶棒运输车100。
[0033]根据本技术的晶棒运输车100，如图1所示，晶棒运输车100包括：车架10、支撑台20、第一弹性件30和减振托架40。
[0034]具体的，支撑台20沿第一方向(例如图1所示的从前往后的方向)延伸且包括沿第二方向(例如图1所示的从左向右的方向)间隔排布的两个；第一弹性件30连接在支撑台20与车架10之间，以使支撑台20相对于车架10在第二方向(例如图1所示的从左向右的方向)上可活动；减振托架40包括多个，多个减振托架40分别设于两个支撑台20上，多个减振托架40构造成适于托举晶棒并为晶棒减振。
[0035]车架10由不锈钢管材焊接而成，为车架10上设有的支撑台20、第一弹性件30及减振托架40提供安装平台及刚性支撑；第一弹性件30一端与车架10抵接，另一端与支撑台20抵接，在力的作用下，使两个支撑台20相对车架10在第二方向可活动，进而可以通过控制两个支撑台20之间的间距，使设置在支撑台20上的减振托架40实现对不同尺寸的晶棒进行承托，同时，两个支撑台20上的减振托架40在第二方向上的直线距离始终小于晶体的直径。另外，在运输过程中，第一弹性件30可以减缓车架10对支撑台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒运输车，其特征在于，包括：车架；支撑台，所述支撑台沿第一方向延伸且包括沿第二方向间隔排布的两个；第一弹性件，所述第一弹性件连接在所述支撑台与所述车架之间，以使所述支撑台相对于所述车架在所述第二方向上可活动；减振托架，所述减振托架包括多个，多个所述减振托架分别设于两个所述支撑台上，多个所述减振托架构造成适于托举晶棒并为所述晶棒减振。2.根据权利要求1所述的晶棒运输车，其特征在于，所述支撑台相对于所述车架在第一位置和第二位置之间可移动，所述车架上设有第一限位件和第二限位件，所述支撑台在所述第一位置时与所述第一限位件抵接，所述支撑台在所述第二位置时与所述第二限位件抵接。3.根据权利要求2所述的晶棒运输车，其特征在于，所述支撑台上设有沿第二方向延伸的导向孔，所述车架上设有导向杆，所述导向杆穿设于所述导向孔内，所述第一弹性件为第一弹簧，所述第一弹簧套设在所述导向杆上。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的晶棒运输车，其特征在于，所述减振托架包括：底座，所述底座与所述支撑台相连；托举件，所述托举件设于所述底座上且适于与所述晶棒接触以支撑所述晶棒；第二弹性件，所述第二弹性件连接在所述底座和所述托举件之间，以使所述托举件相对于所述底座沿上下可活动。5.根据权利要求4所述的晶棒运输车，其特征在于，所述托举件为截面为圆形的柱体，所述减振托架还包括支架，所述支架通过所述第二弹性件设于所述底座上，所述托举件沿水平轴线可转动地设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙高伟，丁春雷，王培培，陈建，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：