一种单晶炉用环形降氧工装及系统技术方案

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用环形降氧工装及系统，其中单晶炉用环形降氧工装，包括若干个弧形阻热装置，弧形阻热装置安装在单晶炉内的环形加热器的下方，弧形阻热装置安装在环形加热器上的相邻的两个脚板之间；单晶炉用环形降氧系统，包括单晶炉和上述的单晶炉用环形降氧工装。本实用新型专利技术能够解决单晶炉内的高氧问题，提高了生成的单晶硅的品质。晶硅的品质。晶硅的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用环形降氧工装及系统


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种单晶炉用环形降氧工装及系统。

技术介绍

[0002]高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力，为了进一步提高单晶硅片的品质，大尺寸热场应运而生，但大尺寸热场带来了单晶炉内高氧的问题，单晶炉内高氧不仅会引起晶棒反切比例上升导致拉晶成本上升，还会导致硅片电池出现黑心和同心圆，降低电池片效率和半衰期，单晶炉内的高氧问题主要是由于单晶炉内上下温度差低导致的，因此需要一种增加单晶炉内上下温度差的装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供了一种单晶炉用环形降氧工装及系统，用以增加单晶炉内上下的温度差以解决单晶炉内的高氧问题，进而提高单晶炉生产的单晶硅的品质。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
[0005]一方面，一种单晶炉用环形降氧工装，包括若干个弧形阻热装置，所述弧形阻热装置安装在单晶炉内的环形加热器的下方，所述弧形阻热装置安装在环形加热器上的相邻的两个脚板之间。
[0006]进一步的，所述弧形阻热装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用环形降氧工装，其特征在于，包括若干个弧形阻热装置(1)，所述弧形阻热装置(1)安装在单晶炉(2)内的环形加热器(3)的下方，所述弧形阻热装置(1)安装在环形加热器(3)上的相邻的两个脚板(4)之间。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用环形降氧工装，其特征在于，所述弧形阻热装置(1)包括安装在单晶炉(2)的底面上的底板(102)，所述底板(102)上可拆卸安装有一个或若干个支撑柱(103)的一端，所述支撑柱(103)的另一端可拆卸安装有阻热板(101)。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用环形降氧工装，其特征在于，所述弧形阻热装置(1)与环形加热器(3)的脚板(4)之间设置有间隙。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉用环形降氧工装，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春祥，石鑫，董宇豪，何阳，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：