一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，属于单晶硅生长炉领域，连接管和副炉室，所述连接管顶部固定连接有固定板，所述固定板底部四角转动连接有四组转轴，所述固定板底部设置有驱动组件，所述驱动组件与四组所述转轴传动相连，所述副炉室底部固定连接有连接板，所述连接板两侧开设有两组卡槽；所述转轴顶部贯穿卡槽并固定连接有卡块，通过将副炉室放置到连通板上，使四组卡块穿过连接板上的卡槽，然后启动旋转气缸，通过转轴带动四组卡块转动对连接板进行限位，完成对副炉室的锁紧，提高对副炉室锁紧的方便性。提高对副炉室锁紧的方便性。提高对副炉室锁紧的方便性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构


[0001]本技术涉及单晶硅生长炉
，具体涉及一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。

技术介绍

[0002]单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。单晶炉在生产过程中，需要中途取晶和二次加料，因炉体还有硅料存在，需保持主炉室内的压力及温度等状态不变，单独打开副炉室。在安装热场坩埚及装料等操作时需同时打开隔离阀及副炉室。
[0003]现有技术一般采用副炉室和隔离阀的法兰上增加几处卡块，需要锁紧时通过人工进行安装卡套进行手动锁紧，此方案比较浪费时间，影响单晶炉的使用操作效率，同时在副炉室打开时，对坩埚进行密封，还需要单独控制隔离阀对坩埚进行密封，增加了操作的麻烦。

技术实现思路

[0004]为了克服上述的技术问题，本技术的目的在于提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，通过将副炉室放置到连通板上，使四组卡块穿过连接板上的卡槽，然后启动旋转气缸，通过转轴带动四组卡块转动对连接板进行限位，完成对副炉室的锁紧，提高对副炉室锁紧的方便性。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，包括连接管(1)和副炉室(2)，其特征在于，所述连接管(1)顶部固定连接有固定板(101)，所述固定板(101)底部四角转动连接有四组转轴(3)，所述固定板(101)底部设置有驱动组件(4)，所述驱动组件(4)与四组所述转轴(3)传动相连，所述副炉室(2)底部固定连接有连接板(201)，所述连接板(201)两侧开设有两组卡槽(202)；所述连接管(1)一侧设置有驱动气缸(9)，所述驱动气缸(9)输出端固定连接有密封板(6)，所述密封板(6)远离驱动气缸(9)的一侧固定连接有连通板(5)，所述连通板(5)上开设有通槽(501)，所述通槽(501)与连接管(1)和副炉室(2)相连通，所述连通板(5)和密封板(6)两侧开设有连通的连接槽(8)，所述转轴(3)顶部贯穿卡槽(202)和连接槽(8)并固定连接有卡块(301)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，其特征在于，所述卡块(301)的宽度与卡槽(202)和连...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙勇，
申请(专利权)人：江苏艺通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：