下载一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构的技术资料

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本实用新型公开了一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构,属于单晶硅生长炉领域,连接管和副炉室,所述连接管顶部固定连接有固定板,所述固定板底部四角转动连接有四组转轴,所述固定板底部设置有驱动组件,所述驱动组件与四组所述转轴传动相连,所述副炉室底部固...
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