一种简易高效的拉晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种简易高效的拉晶炉，包括机架、设于机架上部的安装模块、设于安装模块下方的加热机构及设于拉晶炉主体中的驱动机构，安装模块包括若干个安装工位，通过安装工位固定玻璃管，加热机构包括移动板，移动板设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔，所述安装工位与所述加热孔一一对应，移动板内部设有靠近加热孔的加热元件，移动板通过驱动机构相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过加热孔，并通过加热元件对玻璃管中的材料进行加热。多个所述安装工位可安装多个装有待加热材料的玻璃管，内设有加热元件的移动板通过驱动机构向上移动并对玻璃管进行逐层加热，令待加工材料均匀受热熔化，从而提升待加工材料的加热效率和加热质量。加热效率和加热质量。加热效率和加热质量。

【技术实现步骤摘要】
一种简易高效的拉晶炉


[0001]本技术涉及晶体生长设备的
，尤其涉及一种简易高效的拉晶炉。

技术介绍

[0002]拉晶炉常用于加工半导体材料，将半导体原料的分子在高温下进行排列整齐，该过程为拉晶，拉晶制造出晶棒，进而将晶棒切割成为晶粒，便于人们使用。拉晶的质量和效率受加热温度、加热速度、冷却速度等因素影响较大，现有的拉晶炉中一般对装有待加工材料的容器采取两端固定方式，中间设置有可移动的加热盘和冷却盘对容器内的材料进行加工，但是这种两端固定的固定方式在生产过程中拆装不方便，而且一次加工数量少，导致加热效率低下。
[0003]本技术即是针对现有技术的不足而研究提出。

技术实现思路

[0004]针对上述提到的现有的拉晶炉中一般对装有待加工材料的容器采取两端固定方式，中间设置有可移动的加热盘和冷却盘对容器内的材料进行加工，这种两端固定的固定方式在生产过程中拆装不方便，而且一次加工数量少，导致加热效率低下的问题。
[0005]本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0006]一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架、设于机架上部的安装模块、设于所述安装模块下方的加热机构及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构，所述安装模块包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构包括移动板，所述移动板设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔，所述安装工位与所述加热孔一一对应，所述移动板内部设有靠近加热孔的加热元件，所述移动板通过驱动机构相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。
[0007]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述安装模块包括安装在机架上部的承托板及若干个设于承托板上部的调节机构，所述承托板的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔且定位孔与所述加热孔同轴，各所述调节机构分别安装在定位孔上部，所述调节机构包括设于所述定位孔上方的固定块及与固定块连接的调节件，所述固定块用于将玻璃管固定在定位孔处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔，所述固定块通过调节件安装在承托板上，通过调节所述调节件来调节固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔的中轴线重合。
[0008]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块设有与定位孔同轴的插接孔，玻璃管插接在所述插接孔中。
[0009]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块还设有若干个位于所述插接孔外围并对称分布的连接孔，通过所述调节件与连接孔连接使所述固定块安装在承托板上。
[0010]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述连接孔设有内螺纹，所述调节件与连接
孔通过螺纹连接。
[0011]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块内侧设有环形垫片，所述环形垫片的内孔形成所述插接孔。
[0012]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述调节件的高度大于所述固定块的高度。
[0013]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述驱动机构包括设于所述移动板下部的驱动电机、与驱动电机连接的丝杆及固定安装在移动板上并与丝杆啮合的丝杆螺母，所述移动板设有通孔以供所述丝杆穿过，所述驱动电机驱动丝杆转动并通过所述丝杆螺母带动所述移动板上下移动，从而使所述加热元件对玻璃管内的材料进行加热。
[0014]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述驱动机构还包括设于所述安装模块下部的导向柱，所述导向柱穿过所述移动板并固定在机架上，所述导向柱用于引导所述移动板上下移动。
[0015]由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述移动板上部还设有限位支架，通过所述限位支架限定所述移动板向上移动至与安装模块底部相接触的位置。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]所述安装模块中设有多个安装工位，多个所述安装工位可安装多个装有待加热材料的玻璃管，内设有加热元件的移动板通过驱动机构向上移动并对玻璃管进行逐层加热，令待加工材料均匀受热熔化，从而提升待加工材料的加热效率，而且所述驱动机构可使加热机构慢速上升并对待加工材料逐层加热，延长了待加工材料的受热时间，从而提升待加工材料的加热质量，进而提升拉晶的效率和质量。
[0018]下面将结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明。
附图说明
[0019]图1为本技术的立体图；
[0020]图2为图1中的A部分放大图；
[0021]图3为本技术的承托板的示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术的实施方式作详细说明。
[0023]如图1—3所示，本技术所提供的一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架1、设于机架1上部的安装模块2、设于所述安装模块2下方的加热机构3及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构4，所述安装模块2包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构3包括移动板31，所述移动板31设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔32，所述安装工位与所述加热孔32一一对应，所述移动板31内部设有靠近加热孔32的加热元件，所述移动板31通过驱动机构4相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔32，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。在本实施方式中，所述安装模块2设有多个安装工位，而多个所述安装工位能够固定安装多个玻璃管，各玻璃管内均装载有待加热的固体材料，通过增加一次加热的玻璃管数量以提升待加工材料的加热效率，且所述加热机构3通过所述驱动机构4进行向上移动并对玻璃管内的待加工材料逐层加热，所述驱动机构4的移动速度可通过人工调节，以延长待加工材料的加热时
间，从而提升待加工材料的加热质量，进而提升拉晶的效率和质量。
[0024]进一步的，所述安装模块2包括安装在机架1上部的承托板21及若干个设于承托板21上部的调节机构22，所述承托板21的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔211且定位孔211与所述加热孔32同轴，各所述调节机构22分别安装在定位孔211上部，所述调节机构22包括设于所述定位孔211上方的固定块221及与固定块221连接的调节件222，所述固定块221用于将玻璃管固定在定位孔211处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔211，所述固定块221通过调节件222安装在承托板21上，通过调节所述调节件222来调节固定块221底面与承托板21顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔211的中轴线重合。如图1所示，所述承托板21上设有多组位于定位孔211上方的调节机构22，通过所述固定块221对玻璃管的上部进行一端固定，便于生产工人拆装玻璃管，所述调节件222将固定块221可拆卸地安装在承托板21上，提升了玻璃管的安装效率；通过调节所述调节件222来调节固定块221底面与承托板21顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔211的中轴线重合，为下一步的加热工序奠定良好的基础，玻璃管内部真空且装有待加热的固体材料，通过拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，其特征在于：所述拉晶炉主体包括机架(1)、设于机架(1)上部的安装模块(2)、设于所述安装模块(2)下方的加热机构(3)及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构(4)，所述安装模块(2)包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构(3)包括移动板(31)，所述移动板(31)设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔(32)，所述安装工位与所述加热孔(32)一一对应，所述移动板(31)内部设有靠近加热孔(32)的加热元件，所述移动板(31)通过驱动机构(4)相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔(32)，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。2.根据权利要求1所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述安装模块(2)包括安装在机架(1)上部的承托板(21)及若干个设于承托板(21)上部的调节机构(22)，所述承托板(21)的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔(211)且定位孔(211)与所述加热孔(32)同轴，各所述调节机构(22)分别安装在定位孔(211)上部，所述调节机构(22)包括设于所述定位孔(211)上方的固定块(221)及与固定块(221)连接的调节件(222)，所述固定块(221)用于将玻璃管固定在定位孔(211)处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(211)，所述固定块(221)通过调节件(222)安装在承托板(21)上，通过调节所述调节件(222)来调节固定块(221)底面与承托板(21)顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔(211)的中轴线重合。3.根据权利要求2所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(221)设有与定位孔(211)同轴的插接孔(2211)，玻璃管插接在所述插接孔(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铨源，宋凯，莫余明，
申请(专利权)人：广东赛米思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：