一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置制造方法及图纸

技术编号:43351792 阅读:12 留言:0更新日期:2024-11-19 17:39
本技术公开了一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,包括装置本体,所述装置本体的两侧分别设有定位组件和卡扣,所述定位组件用于装配旋转保护罩,所述卡扣与单晶炉的工控机卡接,所述旋转保护罩内部放置籽晶。本技术通过旋转保护罩在定位组件内的转动,用以防止高纯籽晶收污染影响晶棒品质,防止籽晶磕碰,以及保护人员安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,具体涉及一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置


技术介绍

1、目前行业中单晶炉复投加料时,需要取出籽晶后才能挂料桶进行二次加料。籽晶取出后无有效放置的位置,通常随意放置于操作台上,容易造成籽晶隐裂后续发生掉棒事故,以及容易使高纯籽晶受到污染,影响晶棒品质;同时刚取出的籽晶温度较高,人为易不小心直接与高温籽晶进行触碰,导致易发生安全隐患。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,通过设置卡扣将装置本体装配于工控机中,旋转保护罩穿插入定位组件内,将籽晶放置于旋转保护罩内,再手动转动旋转保护罩使其与定位组件形成一个密闭保护空间,解决了
技术介绍
中存在的上述问题。

2、为解决上述技术问题,本技术采用了以下方案:

3、一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,包括装置本体,所述装置本体的两侧分别设有定位组件和卡扣,所述定位组件用于装配旋转保护罩,所述卡扣与单晶炉的工控机卡接,所述旋转保护罩内部放置籽晶。

4、优选地,所述定位组件包括限位筒和套筒,所述套筒位于限位筒的下方,所述限位筒的横截面为半圆形,限位筒顶端的内径大于限位筒底部的内径,所述套筒的底面与装置本体的底面相平齐。

5、优选地,所述限位筒位于装置本体的内部,所述套筒部分位于装置本体的内部。

6、优选地,所述旋转保护罩包括r角保护罩和位于r角保护罩下方的转动杆,所述r角保护罩呈半开状,保护罩用于放置籽晶的头部,所述转动杆内部设有盲孔,所述盲孔用于放置籽晶的杆部。

7、优选地,所述转动杆的外径小于所述套筒的内径,所述转动杆的长度大于套筒的长度。

8、优选地,所述旋转保护罩和限位筒采用石墨材质制成。

9、本技术具有的有益效果:在本技术中,主要通过在装置本体的两侧分别设置放置籽晶的机构以及卡扣,旋转保护罩中的转动杆在定位组件的套筒内实现转动,使r角保护罩与限位筒重合或者围合成避免空间用于籽晶的拿取,防止高纯籽晶收污染影响晶棒品质,防止籽晶磕碰,以及保护人员安全。

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【技术保护点】

1.一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,包括装置本体(1),所述装置本体(1)的两侧分别设有定位组件(10)和卡扣(12),所述定位组件(10)用于装配旋转保护罩(11),所述卡扣(12)与单晶炉的工控机(2)卡接,所述旋转保护罩(11)内部放置籽晶。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述定位组件(10)包括限位筒(102)和套筒(101),所述套筒(101)位于限位筒(102)的下方,所述限位筒(102)的横截面为半圆形,限位筒(102)顶端的内径大于限位筒(102)底部的内径,所述套筒(101)的底面与装置本体(1)的底面相平齐。

3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述限位筒(102)位于装置本体(1)的内部,所述套筒(101)部分位于装置本体(1)的内部。

4.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述旋转保护罩(11)包括R角保护罩(110)和位于R角保护罩(110)下方的转动杆(111),所述R角保护罩(110)呈半开状,保护罩用于放置籽晶的头部,所述转动杆(111)内部设有盲孔(112),所述盲孔(112)用于放置籽晶的杆部。

5.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述转动杆(111)的外径小于所述套筒(101)的内径,所述转动杆(111)的长度大于套筒(101)的长度。

6.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述旋转保护罩(11)和限位筒(102)采用石墨材质制成。

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【技术特征摘要】

1.一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,包括装置本体(1),所述装置本体(1)的两侧分别设有定位组件(10)和卡扣(12),所述定位组件(10)用于装配旋转保护罩(11),所述卡扣(12)与单晶炉的工控机(2)卡接,所述旋转保护罩(11)内部放置籽晶。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述定位组件(10)包括限位筒(102)和套筒(101),所述套筒(101)位于限位筒(102)的下方,所述限位筒(102)的横截面为半圆形,限位筒(102)顶端的内径大于限位筒(102)底部的内径,所述套筒(101)的底面与装置本体(1)的底面相平齐。

3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉籽晶放置的保护装置,其特征在于,所述限位筒(102)位于装置本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾智君关树军洪华路建华李飞剑王鹏
申请(专利权)人:乐山市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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