本技术公开了一种用于石英坩埚到货检测的仿形检具，包括可旋转体和与可旋转体连接的支臂，支臂包括左支臂和右支臂，左支臂和右支臂各自与可旋转体连接，左支臂由左支臂弧形段和左支臂直线段组成，右支臂由右支臂弧形段和右支臂直线段组成，左支臂弧形段端...

本技术公开了一种用于单晶炉导流筒的过度环，包括导流筒和位于导流筒内部的水冷屏，在导流筒的底部设置碳碳环和石墨圈，碳碳环与导流筒的底部卡接，石墨圈的底部位于碳碳环内，石墨圈的顶部与水冷屏的底端相卡接。所述石墨圈为环状结构，石墨圈的内侧设有...

本技术公开了一种用于降低单晶硅棒氧含量的主加热器，包括主加热器本体，所述主加热器本体包括第一弧形瓣和第二弧形瓣，第一弧形瓣和第二弧形瓣交替连接形成一个环形，在第一弧形瓣的顶部两端开设有第一开缝，在第二弧形瓣的顶部两端开设第二开缝，第一开...

本技术公开了一种单晶炉热场保护及降氧装置，包括上盖和环形盖，所述上盖的横向宽度大于所述环形盖的横向宽度，在所述上盖和环形盖之间设置支撑柱，相邻所述支撑柱形成通道用于排放气体。所述上盖包括主盖和副盖，所述主盖为圆饼状，所述副盖在所述主盖的...

本技术公开了一种可提拉速及降氧的水冷屏及单晶炉，包括筒本体，所述筒本体包括第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一容纳腔和第二容纳腔分别环绕所述筒本体的圆心，位于所述第二容纳腔与所述第一容纳腔之间的第一腔壁使二者隔离形成相互独立的腔室。本技术可...

本技术公开了一种用于单晶炉热场的除尘器，包括设有门体的主腔体，在主腔体的内壁设有转动机构，在转动机构中设有多个滤袋，转动机构在主腔体内部进行旋转。所述转动机构包括两个圆饼状的转轮盘，在主腔体顶部和底部的内壁开设一圈凹槽，将转轮盘放置于凹...

本技术公开了一种用于单晶炉热场除尘器的清理工具及清理系统，包括清洁部和具有连接杆的手柄，在所述清洁部和所述连接杆之间从上至下依次设置升降机构和驱动机构，所述驱动机构的两端分别与所述升降机构活动连接、与所述连接杆固定连接，所述驱动机构驱动...

本实用新型公开了一种用于单晶炉热场的快拆装置，包括上主室和位于上主室内部的保温筒，包括提升杆，在所述提升杆的顶部和底部分别设置固定块与支撑板，所述固定块与上主室的内壁固定连接，所述支撑板承载所述保温筒的底端

本实用新型公开了一种单晶炉导气筒清理装置及其系统，包括清理部和与手柄固定连接的连接杆，所述清理部位于连接杆的下方，清洁部具有一个沿连接杆延伸轴线弯曲的弧形面，所述弧形面与导气筒内周面相切

本实用新型公开了一种单晶炉用的多层隔热降氧结构及装置，涉及单晶硅制造技术领域，至少可以部分解决现有技术中单层隔热降氧结构的隔热降氧效果不佳的问题。本实用新型实施例的一种单晶炉用的多层隔热降氧结构，包括同轴设置且固定连接的底层圆弧支撑板和...

本发明公开了一种基于直拉法单晶硅的提渣方法，在制备单晶硅的熔料完成后操作提渣方法，依次包括以下步骤：步骤一：拉制一段单晶硅晶体，使单晶硅晶体脱离熔硅液面；步骤二：提高单晶炉的加热功率；步骤三：回熔单晶硅晶体的底端；步骤四：提渣及清除杂质...

本发明公开了一种用于单晶炉副室的可变径清理装置，包括，固定机构，所述固定机构包括固定盘；旋转机构，所述旋转机构包括转盘；锁扣机构，所述锁扣机构包括按压部和以十字方式连接的第一连接杆和第二连接杆；伸缩机构包括与副室内壁接触的弧形片，与弧形...

本实用新型公开了一种防止石英坩埚边缘磕碰的防护工装，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术中多晶硅原料装入石英坩埚时容易造成坩埚边缘磕碰。导致单晶硅棒氧含量过高，影响产品质量，甚至导致坩埚损坏的问题。本实用新型实施例的一种防止...

本发明公开了一种单晶炉副室拉晶氮气连接管路及减少氩气的制备方法，包括副室、氩气装置和氮气装置，在所述副室的顶部设置一个三通阀，所述三通阀的A、B、C三个端口分别与副室、氮气装置、氩气装置连通。所述氮气装置通过设置第一连接管路与所述三通阀...

本实用新型涉及籽晶检测技术领域，公开了一种籽晶形态检测工装及系统，其中籽晶形态检测工装，包括籽晶安置座，籽晶安置座上设置有籽晶形态对比槽，籽晶形态对比槽的侧壁与标准籽晶的侧壁适配，籽晶形态对比槽沿其轴向的长度与标准籽晶沿其轴向的长度一致...

本实用新型公开了一种单晶炉副室清理装置，包括清理件和清理杆，所述清理杆的上端设置一个清理头，所述清理件位于清理头的上部。所述清理头包括圆圈结构、加强筋和支撑杆，支撑杆设置多个孔，圆圈结构的内周面与支撑杆的外周面固定连接，加强筋用于连接圆...

本实用新型公开了一种全覆盖式刮除清理工装，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术无法一次性的将副室内壁清理完成，需要转动清理装置进行多次清理的问题。本实用新型实施例一的一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的...

本实用新型公开了一种单晶炉石墨夹头摘取工具，包括上本体和下本体，所述上本体为中空圆柱体，所述下本体为倒锥结构，所述上本体套设在下本体的上部。还包括多个手柄，在所述上本体和所述下本体的侧壁分别对称设置通孔，所述手柄通过通孔可分离式分别进入...

本实用新型公开了一种稳晶拍及单晶炉稳晶装置。一种稳晶拍，包括拍面，所述拍面的上表面中心设置一个盲孔，所述盲孔用于放置籽晶的底端，并稳定籽晶。盲孔具体为台阶孔、变径孔和等径孔等。所述台阶孔的上层孔直径大于下层孔直径或者所述台阶孔的上层孔直...

本发明公开一种用于单晶炉热场保温筒拆卸的内撑夹具，涉及单晶硅制造技术领域，可解决人工拆卸保温筒的系列问题。本发明的一种用于单晶炉热场保温筒拆卸的内撑夹具，包括限位架，包括至少两根呈放射状设置的限位臂；中心杆组件，垂直于限位架设置且长度可...