本发明公开了一种高精度显微扫描仪，包括整机底座，整机底座上通过ZY轴公用底板设有Y轴交叉滚柱滑动组件，整机底座一侧设有Y轴滑动驱动组件，Y轴交叉滚柱滑动组件上设有X轴交叉滚柱滑动组件和X轴滑动驱动组件，X轴交叉滚柱滑动组件上设有玻片架组...