一种单晶炉副室清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉副室清理装置，包括清理件和清理杆，所述清理杆的上端设置一个清理头，所述清理件位于清理头的上部。所述清理头包括圆圈结构、加强筋和支撑杆，支撑杆设置多个孔，圆圈结构的内周面与支撑杆的外周面固定连接，加强筋用于连接圆圈结构和支撑杆的底端。所述清理杆具有一个与支撑杆内径相同的外径，在清理杆的一端设置多个孔，将其穿进支撑杆中，使清理杆的孔与支撑杆的孔相对应。本实用新型专利技术减少了清理头与副室的摩擦，避免了清理头的变形与损坏，使得副室清理更彻底，并且可拆卸的连接使单个部件进行替换，有利于节约成本。利于节约成本。利于节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉副室清理装置


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种单晶炉副室清理装置。

技术介绍

[0002]单晶炉副室是单晶炉的一部分，主要用于晶体生长时置于副室中的提升装置被向上提拉。副室在单晶硅生产时容易积灰，在单晶直拉过程中，积灰容易掉落在结晶界面，从而引发位错，导致断线现象的发生，副室积灰是生产断线的主要因素之一。
[0003]副室积灰清理是单晶生产管控的其中一个关键环节，目前市场上清理副室时使用的副室清理杆存在清理头重，导致摩擦力大，使用不方便；副室清理头易变形和损坏，导致副室清理杆整体易报废；无法彻底、干净的清理副室。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶炉副室清理装置，通过清理头的整体构造、清理件包覆于圆圈结构的外围，以及清理头与清理杆的可拆卸式连接，解决了清理时摩擦力大，使用不方便；清理头易变形和损坏；无法彻底的清扫副室的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
[0006]一种单晶炉副室清理装置，包括清理件和清理杆，所述清理杆的上端设置一个清理头，所述清理件位于清理头的上部，所述清理头包括圆圈结构、加强筋和设置多个孔的支撑杆，圆圈结构的内周面与支撑杆的外周面固定连接，加强筋用于连接圆圈结构和支撑杆的底端。
[0007]优选地，所述清理杆具有一个与支撑杆内径相同的外径，在清理杆的顶端设置多个孔，将其穿进支撑杆中，使清理杆的孔与支撑杆的孔相对应。
[0008]优选地，所述清理件采用松软吸水性材料，将清理件包覆于整个圆形结构的外围，使清理件与副室的内壁接触。
[0009]优选地，所述支撑杆的孔通过螺栓与清理杆的孔进行连接。
[0010]优选地，所述清理头的圆形结构的外径小于副室的内径。
[0011]优选地，所述清理头的各部位采用焊接方式连接。
[0012]优选地，所述清理头采用不锈钢材质制成。
[0013]本技术具有的有益效果：在本技术中，通过加强筋连接的圆圈结构和支撑杆，采用焊接的方式作为一个整体；清理件包覆于清理头圆圈结构的外围，同时清理头和清理杆通过螺栓进行可拆卸式固定连接，减少了清理头与副室的摩擦，避免了清理头的变形与损坏，使得副室清理更彻底，并且可拆卸的连接使单个部件进行替换，有利于节约成本。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的另一种结构示意图；
[0016]图3为本技术清理头的立体结构示意图；
[0017]图4为本技术的工作原理示意图。
[0018]附图标记：1
‑
单晶炉副室清理装置，2
‑
单晶炉副室，11
‑
清理件，12
‑
清理头，121
‑
圆圈结构，122
‑
加强筋，123
‑
支撑杆，13
‑
清理杆，14
‑
螺栓。
具体实施方式
[0019]下面结合实施例及附图，对本技术作进一步的详细说明，但本技术的实施方式不限于此。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接 ，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]实施例1
[0023]如图1、图2和图3所示，为本技术的一种单晶炉副室清理装置，包括清理件11、清理头12和清理杆13，清理头12位于清理杆13的上部，清理件11位于清理头12的上部。通过清理杆13的伸长作用，清使位于清理头12上部的清理件11与所在平面的副室内部充分接触，同时在洗涤剂或在无水乙醇的作用下，对副室的内壁上下来回拉伸进行清洗，以达到清洗彻底、干净的目的。
[0024]进一步地，清理头12包括一个圆圈结构121、加强筋122和支撑杆123。在支撑杆123中设置多个孔用作连接结构，圆圈结构121的内周面与支撑杆123顶端的外周面进行固定式连接，同时，加强筋122的一端与清理头12固定连接，加强筋122的另一端与清理杆13的底端进行固定连接。加强筋122采用大角度，加强长度与圆圈结构121和支撑杆123的固定效果，有效防止使用过程中与副室摩擦作用导致清理头12的圆圈结构121变形走样，进而导致圆圈结构121损坏，无法进行彻底清理、清理不到位的现象发生。
[0025]进一步地，清理杆13的外径与支撑杆123的内径相同，有利于清理杆13伸入到支撑杆123内部，同时，在清理杆13的一端设置多个孔，伸入到清理头12的支撑杆123的过程中，使清理杆13中的孔与支撑杆123中的孔一一相对应，在此进行可拆卸式连接。
[0026]进一步地，清理件11采用松软吸水性材质制得，清理件11可以为海绵材料，也可以为类似于海绵性能的其他材料。清理件11内部柔软多孔，具有较好的弹性作用，将其包覆在清理头12圆形结构121的整个外围，可用胶带或锁紧塑料条等类似功能的其他材料，使清理件11固定在清理头12的圆圈结构121上；还可在清理件11的外围还可以包裹无尘纸，在无尘纸上喷洒无水乙醇清扫。清理件11的大小使其确保满足充满整个副室内壁清扫的前提下，
选择合适的清理件11尺寸。清理时，利用清理件11柔软弹性特性后充满整个副室内壁，对副室进行上下彻底清扫，由于清理件11的柔软弹性特性，又因其弹性使副室内壁表面的杂质陷入清理件11的孔隙之间，使得清洗当中摩擦力的大小适中，清理件11会卡在副室中，既可以清洗干净，又不会造成清理件11掉落的现象。
[0027]进一步地，清理头12的支撑杆123与清理杆13通过螺栓14进行可拆卸式连接，具体为，通过在支撑杆123与清理杆13之间相对应的孔洞中，设置相应的螺栓14数目，进行固定连接。螺栓14为不锈钢材质，通过支撑杆123与清理杆13预留配对的孔洞，采用自锁紧螺母锁紧，可以防止螺母掉落。采用螺栓14对清理头12和清理杆13，一方面保证了二者的稳固连接，另一方面，当清理头12或清理杆13出现损坏情况时，可对部件进行及时更换，节约了使用成本。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉副室清理装置，包括清理件（11）和清理杆（13），其特征在于，所述清理杆（13）的上端设置一个清理头（12），所述清理件（11）位于清理头（12）的上部，所述清理头（12）包括圆圈结构（121）、加强筋（122）和设置多个孔的支撑杆（123），圆圈结构（121）的内周面与支撑杆（123）的外周面固定连接，加强筋（122）用于连接圆圈结构（121）和支撑杆（123）的底端。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理杆（13）具有一个与支撑杆（123）内径相同的外径，在清理杆（13）的顶端设置多个孔，将其穿进支撑杆（123）中，使清理杆（13）的孔与支撑杆（123）的孔相对应。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：龚小伦，关树军，洪华，路建华，陈爱华，王平，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：