【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种单晶炉热场保护及降氧装置。
技术介绍
1、目前行业内单晶炉中导气装置遮挡面积大，可通气流面积小，排气不通畅，其导致炉内各类杂质不易带走、速率低，从而影响产品质量。同时导气装置其底部装配上存在间隙，在发生异常情况导致漏硅时硅液可能从间隙流入炉底，导致其烫坏设备设施造成重大损失情况。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单晶炉热场保护及降氧装置，通过设置上盖、环形盖和支撑柱，上盖结构与环形盖结构的设计解决了现有技术中通气流面积小、杂质不易带走以及与导气筒装配时硅液从间隙流入炉底的情况，导致烫伤设备设施造成重大损失。
2、为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
3、一种单晶炉热场保护及降氧装置，包括上盖和环形盖，所述上盖的横向宽度大于所述环形盖的横向宽度，在所述上盖和环形盖之间设置支撑柱，相邻所述支撑柱形成通道用于排放气体。
4、优选地，所述上盖包括主盖和副盖，所述主盖为圆饼状，所述副盖在所述主盖的外周面进行一体式连接。
5、优选地，所述副盖包括与所述主盖一体连接的凸起，所述凸起的高度大于所述主盖的高度。
6、优选地，所述副盖形成的外圆周面为第一斜面，所述第一斜面的底边与所述凸起的底部连接形成第二斜面，所述第一斜面的倾斜角度大于所述第二斜面的倾斜角度。
7、优选地，所述环形盖包括第一环和第二环，所述第一环和第二环同圆心，所述第二环的顶面和底面为倾斜面。
8、优选
9、优选地，所述上盖、环形盖和支撑柱均采用石墨材质制成。
10、优选地，还包括位于环形盖下方的导气筒，所述环形盖中的第一环的底部与所述导气筒的顶部连接，所述第一环的外径与所述导气筒的外径相同。
11、本技术具有的有益效果：
12、1、通过设置具有双层结构的上盖和环形盖，在二者之间设置支撑柱，上盖由主盖和副盖组成一个凹空间，漏硅时的硅液流入凹空间中或通过副盖的第一斜面流出，同时第一环与导气筒可无间隙连接，避免了硅液直接流入环形盖再进入单晶炉炉底，防止硅液流入造成单晶炉炉底加热器打火损失，对热场起到保护作用，节约成本。
13、2、通过将支撑柱的宽度进行优化，对气流的遮盖面积变小，使相邻可通气流面积增大，可提高带走炉内的杂质效率，带走氧等，降低成品的氧含量，提升产品质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，包括上盖(10)和环形盖(20)，所述上盖(10)的横向宽度大于所述环形盖(20)的横向宽度，在所述上盖(10)和环形盖(20)之间设置支撑柱(30)，相邻所述支撑柱(30)形成通道用于排放气体。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述上盖(10)包括主盖(12)和副盖(11)，所述主盖(12)为圆饼状，所述副盖(11)在所述主盖(12)的外周面进行一体式连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述副盖(11)包括与所述主盖(12)一体连接的凸起(111)，所述凸起(111)的高度大于所述主盖(12)的高度。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述副盖(11)形成的外圆周面为第一斜面(112)，所述第一斜面(112)的底边与所述凸起(111)的底部连接形成第二斜面(113)，所述第一斜面(112)的倾斜角度大于所述第二斜面(113)的倾斜角度。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场保护及降
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述支撑柱(30)的两端与所述凸起(111)旁侧的所述主盖(12)的底部、所述第一环(201)的顶部分别固定连接，多个所述支撑柱(30)围绕所述环形盖(20)的圆心在所述第一环(201)的表面进行圆形阵列。
7.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述上盖(10)、环形盖(20)和支撑柱(30)均采用石墨材质制成。
8.一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，还包括位于环形盖(20)下方的导气筒(2)，所述环形盖(20)中的第一环(201)的底部与所述导气筒(2)的顶部连接，所述第一环(201)的外径与所述导气筒(2)的外径相同。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，包括上盖(10)和环形盖(20)，所述上盖(10)的横向宽度大于所述环形盖(20)的横向宽度，在所述上盖(10)和环形盖(20)之间设置支撑柱(30)，相邻所述支撑柱(30)形成通道用于排放气体。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述上盖(10)包括主盖(12)和副盖(11)，所述主盖(12)为圆饼状，所述副盖(11)在所述主盖(12)的外周面进行一体式连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述副盖(11)包括与所述主盖(12)一体连接的凸起(111)，所述凸起(111)的高度大于所述主盖(12)的高度。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场保护及降氧装置，其特征在于，所述副盖(11)形成的外圆周面为第一斜面(112)，所述第一斜面(112)的底边与所述凸起(111)的底部连接形成第二斜面(113)，所述第一斜面(112)的倾斜角度大于所述第二斜面(...
【专利技术属性】
技术研发人员：董宇豪，关树军，洪华，路建华，曾宏强，何阳，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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