下载一种单晶炉热场保护及降氧装置的技术资料

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本技术公开了一种单晶炉热场保护及降氧装置,包括上盖和环形盖,所述上盖的横向宽度大于所述环形盖的横向宽度,在所述上盖和环形盖之间设置支撑柱,相邻所述支撑柱形成通道用于排放气体。所述上盖包括主盖和副盖,所述主盖为圆饼状,所述副盖在所述主盖的外周...
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