一种全覆盖式刮除清理工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种全覆盖式刮除清理工装，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术无法一次性的将副室内壁清理完成，需要转动清理装置进行多次清理的问题。本实用新型专利技术实施例一的一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。另一端设置于弹性刮板的凹侧。另一端设置于弹性刮板的凹侧。

【技术实现步骤摘要】
一种全覆盖式刮除清理工装


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种全覆盖式刮除清理工装。

技术介绍

[0002]单晶炉副室内壁横截面通常为圆形，常规的针对单晶炉副室内壁的清理工装通常是固定的尺寸，针对不同尺寸的单晶炉副室内壁需要不同尺寸的清理工装进行清理，导致目前的清理工装通用性不强。
[0003]而目前，为解决清理工装可以适用于不同尺寸副室的问题，需要采用具有一定弹性的弧形刮板，通过弧形刮板的变形与不同尺寸的副室内壁贴合，从而进行清理。但是这种可以适用于不同尺寸副室的清理工装具有以下缺点：
[0004]目前的刮板在沿副室内壁的轴向处于同一平面，且刮板的弧长通常是一定的，为高效的刮除清理副室内壁，刮板需要与副室内壁贴合，因此，清理工装在刮板的非受压的自然状态下贴合的副室内壁为清理工装可以高效清理的最大尺寸，而清理工装在清理其他尺寸的副室内壁时，需要刮板受压变形以贴合副室内壁，在此过程中，刮板所在圆弧所对应的圆心角也会相应变大，进而导致刮板之间的间距会缩小，因此，当刮板处于非受压的自然状态时，目前的清理工装的刮板之间需要预留一定的间距，以确保清理工装应用至不同尺寸时，受压变形后刮板之间不会互相抵压干涉，否则，刮板在自然状态下的间距过小或无间距，会导致清理工装应用到尺寸较小的副室时，受压变形后的刮板之间会互相抵接，造成刮板无法应用至较小的副室，但刮板之间预留一定间距又会导致清理工装无法一次性清理完成全部的副室内壁，需要清理装置在一次清理后转动刮板，对刮板之间的缝隙位置进行再次清理，导致单晶炉副室的内壁清理十分麻烦。
[0005]因此，需要设计出一种可以适应不同尺寸的单晶炉副室，并且可以一次性的对单晶炉副室的全部内壁进行清理的装置，以解决清理装置对副室内壁进行多次清理的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是提供一种全覆盖式刮除清理工装，用于解决现有技术无法一次性的将单晶炉副室的内壁清理完成，需要转动清理装置对单晶炉副室内壁进行多次清理的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
[0008]本技术提供一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；
[0009]弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；
[0010]还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。
[0011]在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的形状为圆筒形或方筒形或圆柱形或方柱形中的任意一种。
[0012]在一些可选的实施例中，所述弹性刮板的数量为两块，两块弹性刮板对称的设置于中心支撑件的两侧。
[0013]在一些可选的实施例中，所述弹性刮板在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：180
°
至270
°
。
[0014]在一些可选的实施例中，所述弹性刮板的数量为四块，四块弹性刮板沿中心支撑件的周向均匀分布；
[0015]四块弹性刮板中，相对的两块弹性刮板沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板上下分层设置。
[0016]在一些可选的实施例中，所述弹性刮板在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：90
°
至120
°
。
[0017]在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆的支撑板，支撑板横向固定于中心支撑件的周壁上。
[0018]在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆的支撑板；
[0019]伸缩杆的一端横向铰接于中心支撑件的周壁上并可沿中心支撑件的周向摆动；另一端与弹性刮板固定连接；
[0020]每块弹性刮板的凹侧至少与两个伸缩杆的输出端垂直固定连接。
[0021]在一些可选的实施例中，所述支撑板上设置有圆弧形或矩形的滑槽，所述伸缩杆上设置有插入滑槽内并与滑槽滑动连接的滑块。
[0022]在一些可选的实施例中，所述伸缩杆包括液压伸缩杆、气压伸缩杆、电动伸缩杆中的任意一种。
[0023]本技术的有益效果：
[0024]本技术的一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；
[0025]弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；
[0026]还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。
[0027]其效果是：通过设置呈双层或多层分布的弹性刮板，并且弹性刮板可以通过伸缩杆靠近或远离中心支撑件，可以实现弹性刮板之间在自然状态下无间隙，在变形状态下利用上下重叠避免互相抵压的巧妙设计构思，从而使得弹性刮板组件的弹性刮板在适应不同尺寸的副室时，确保弹性刮板沿竖直方向一次性将副室的内周壁覆盖完全，一次性的对单晶炉副室的全部内壁进行清理。
附图说明
[0028]图1为本技术实施例1中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；
[0029]图2为本技术实施例1中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图；
[0030]图3为本技术实施例2中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；
[0031]图4为本技术实施例3中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；
[0032]图5为本技术实施例3中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图；
[0033]图6为本技术实施例3在使用之前的俯视结构示意图；
[0034]图7为本技术实施例3在使用时的俯视结构示意图；
[0035]图8为本技术实施例3在使用时的主视结构示意图；
[0036]图9为本技术实施例4中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；
[0037]图10为本技术实施例4中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图。
[0038]附图标记说明：
[0039]1‑
中心支撑件，11
‑
支撑板，111
‑
滑槽，2
‑
伸缩杆，201
‑
滑块，3
‑
弹性刮板，4
‑
副室。
具体实施方式
[0040]下面结合实施例及附图，对本技术作进一步的详细说明，但本技术的实施方式不限于此。
[0041]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，包括中心支撑件(1)，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板(3)；还包括横向设置并用于驱动弹性刮板(3)靠近或远离中心支撑件(1)的伸缩杆(2)，伸缩杆(2)的一端设置于中心支撑件(1)周壁上，另一端设置于弹性刮板(3)的凹侧。2.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述中心支撑件(1)的形状为圆筒形或方筒形或圆柱形或方柱形中的任意一种。3.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)的数量为两块，两块弹性刮板(3)对称的设置于中心支撑件(1)的两侧。4.根据权利要求3所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：180
°
至270
°
。5.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)的数量为四块，四块弹性刮板(3)沿中心支撑件(1)的周向均匀分布；四块弹性刮板(3)中，相对的两块弹性刮板(3)沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：董宇豪，关树军，洪华，路建华，杨春祥，何阳，杨宇，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：