本实用新型专利技术属于沉积炉炉膛清理技术领域，具体涉及一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，包括固定于把杆的安装座，所述安装座上表面设有通气槽，所述安装座侧面设有与通气槽连通的负压管，所述负压管外接气泵，所述安装座上侧固定连接有扣环，所述安装座通过扣环转动连接有转盘，所述转盘设有与通气槽相匹配的通气环，所述转盘侧面设有与通气环连通的吸纳管，所述吸纳管末端设有毛刷，所述转盘侧面还设有支撑杆，所述支撑杆末端设有除渣铲，所述安装座固定连接有转动电机，所述转动电机输出端与转盘中心固定连接，本实用新型专利技术通过将清洁装置固定于把杆上，通过把杆的升降，带动清洁装置对炉膛侧壁进行清洁，节约人力成本和解决作业安全问题。问题。问题。
【技术实现步骤摘要】
一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置
[0001]本技术属于沉积炉炉膛清理
，具体涉及一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置。
技术介绍
[0002]熔石英砣料CVD气相沉积生产过程中，熔石英砣料通过把杆不停的自转和升降，使熔石英砣料料头在燃烧器喷口下方不断的熔化沉积，熔化沉积后需要清理沉积炉壁的灰尘和结渣，由于沉积炉炉膛空间狭小，且清灰时炉膛内粉尘较重，光线昏暗，极不便于人员进入炉膛侧壁进行彻底清洁。同时炉膛水平位置较高，人员清洁属于高空作业，有一定的安全隐患。为克服现有人为清扫沉积炉炉膛侧壁产生的人身安全隐患，及人为清洁缓慢与不彻底的问题，本专利技术提供一种沉积炉炉膛快速清洁装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是：旨在提供一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，解决现有人为清扫沉积炉炉膛侧壁产生的人生安全隐患，及人为清洁缓慢与不彻底的问题。
[0004]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，包括固定于把杆的安装座，所述安装座上表面设有通气槽，所述安装座侧面设有与通气槽连通的负压管，所述负压管外接气泵，所述安装座上侧固定连接有扣环，所述安装座通过扣环转动连接有转盘，转盘在扣环和安装座配合下仅能沿着轴心自转，所述转盘设有与通气槽相匹配的通气环，所述转盘侧面设有与通气环连通的吸纳管，通过气泵工作，将吸纳管附近的气体依次由通气环、通气槽和负压管带出，所述吸纳管末端设有毛刷，毛刷用于清理炉膛侧壁的粉尘，所述转盘侧面还设有支撑杆，所述支撑杆末端设有除渣铲，除渣铲用于铲除炉膛侧壁的结渣，所述安装座固定连接有转动电机，所述转动电机输出端与转盘中心固定连接。
[0006]本技术通过将清洁装置固定于把杆上，通过把杆的升降，带动清洁装置对炉膛侧壁进行清洁，节约人力成本和解决作业安全问题。
[0007]所述吸纳管包括连接管，所述连接管套设有套管，所述套管螺纹连接有与连接管匹配的第一锁紧螺栓。
[0008]所述吸纳管末端固定连接有卡座，所述毛刷与卡座固定连接，所述毛刷倾斜设置于吸纳管末端上侧。
[0009]所述安装座上表面设有两个密封圈，所述通气槽和通气环设置于两个密封圈之间，所述安装座外沿设有台阶，所述台阶安装有与转盘相匹配的第一轴承，所述转盘侧面设有外沿，所述外沿与扣环之间设有第二轴承。
[0010]所述安装座侧面设有安装台，所述扣环与安装台螺栓固定连接。
[0011]所述安装座设有与把杆相匹配的安装槽，所述安装座螺纹连接有与把杆匹配的第二锁紧螺栓。
[0012]所述支撑杆包括与转盘固定的套杆，所述套杆套设有连接杆，所述连接杆末端与除渣铲连接，所述套杆螺纹连接有与连接杆匹配的第三锁紧螺栓。
附图说明
[0013]本技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0014]图1为本技术一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置的结构示意图一；
[0015]图2为本技术一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置的结构示意图二；
[0016]图3为本技术一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置的剖面结构示意图；
[0017]图4为图3中A处的结构示意图；
[0018]图5为本技术安装座的结构示意图；
[0019]图6为图5中B处的结构示意图；
[0020]主要元件符号说明如下：
[0021]安装座1、安装槽11、第二锁紧螺栓111、通气槽12、负压管121、台阶13、第一轴承131、安装台14、密封圈15、转盘2、通气环21、吸纳管22、连接管221、套管222、第一锁紧螺栓223、卡座224、毛刷23、支撑杆24、套杆241、连接杆242、除渣铲243、第三锁紧螺栓244、外沿25、除渣铲243、扣环3、第二轴承31、转动电机4。
具体实施方式
[0022]为了使本领域的技术人员可以更好地理解本技术，下面结合附图和实施例对本技术技术方案进一步说明。
[0023]本申请第一实施例为：
[0024]如图1
‑
6所示，本技术的一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，包括固定于把杆的安装座1，安装座1上表面设有通气槽12，安装座1侧面设有与通气槽12连通的负压管121，负压管121外接气泵，安装座1上侧固定连接有扣环3，安装座1通过扣环3转动连接有转盘2，转盘2设有与通气槽12相匹配的通气环21，转盘2侧面设有与通气环21连通的吸纳管22，吸纳管22末端设有毛刷23，转盘2侧面还设有支撑杆24，支撑杆24末端设有除渣铲243，安装座1固定连接有转动电机4，转动电机4输出端与转盘2中心固定连接。
[0025]安装座1固定于把杆上，通过把杆在炉内的升降，带动安装座1的升降；吸纳管22末端的毛刷23抵接炉膛侧壁，将侧壁的灰尘扫落；气泵工作依次通过通气槽12、通气环21和吸纳管22将毛刷23扫落的灰尘抽走，降低炉膛内的粉尘；扣环3倒扣于安装座1上，与安装座1配合将转盘2限制为仅能绕轴心自转，这样在电机的带动下，转盘2沿着一个方向转动，随着把杆的升降，毛刷23不断的清扫侧壁的灰尘，并由吸纳管22负压抽走，除渣铲243将大块的结渣铲掉，不仅能清洁侧壁，而且保护毛刷23，防止大块的结渣损伤毛刷23，除渣铲243的竖直高度高于毛刷23高度，本方案中安装在转盘2侧面的吸纳管22和支撑杆24可以一根或多根。
[0026]本技术通过将清洁装置固定于把杆上，通过把杆的升降，带动清洁装置对炉膛侧壁进行清洁，节约人力成本和解决作业安全问题。
[0027]本实施方式中，优选吸纳管22末端固定连接有卡座224，毛刷23与卡座224固定连接，毛刷23倾斜设置于吸纳管22末端上侧。使用卡座224将毛刷23倾斜固定于吸纳管22末端
上侧，这样毛刷23扫落的灰尘可以顺势掉落在吸纳管22端口被吸走，实际上，也可以在吸纳管22端口设置一个接盘，增大面积，能更好的将灰尘接住。
[0028]本实施方式中，优选安装座1上表面设有两个密封圈15，通气槽12设置于两个密封圈15之间，安装座1外沿设有台阶13，台阶13安装有与转盘2相匹配的第一轴承131，转盘2侧面设有外沿25，外沿25与扣环3之间设有第二轴承31。通气槽12和通气环21设置于两个密封圈15之间，通过密封圈进行气密封，防止漏气，第一轴承131和第二轴承31配合减少转动摩擦力，便于转盘2转动。
[0029]本实施方式中，优选安装座1侧面设有安装台14，扣环3与安装台14螺栓固定连接。安装台14为扣环3提供安装固定的平台。
[0030]本实施方式中，优选安装座1设有与把杆相匹配的安装槽11，安装座1螺纹连接有与把杆匹配的第二锁紧螺栓111。安装槽11套设在把杆上，并由第二锁紧螺栓111锁紧，这样固定方便，便于安装拆卸。
[0031]本申请实施例二为：
[0032]如图1、2所示，在实施例一的基础上，本实施例二的一种沉积炉炉膛本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，包括固定于把杆的安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)上表面设有通气槽(12)，所述安装座(1)侧面设有与通气槽(12)连通的负压管(121)，所述负压管(121)外接气泵，所述安装座(1)上侧固定连接有扣环(3)，所述安装座(1)通过扣环(3)转动连接有转盘(2)，所述转盘(2)设有与通气槽(12)相匹配的通气环(21)，所述转盘(2)侧面设有与通气环(21)连通的吸纳管(22)，所述吸纳管(22)末端设有毛刷(23)，所述转盘(2)侧面还设有支撑杆(24)，所述支撑杆(24)末端设有除渣铲(243)，所述安装座(1)固定连接有转动电机(4)，所述转动电机(4)输出端与转盘(2)中心固定连接。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，其特征在于：所述吸纳管(22)包括连接管(221)，所述连接管(221)套设有套管(222)，所述套管(222)螺纹连接有与连接管(221)匹配的第一锁紧螺栓(223)。3.根据权利要求1所述的一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置，其特征在于：所述吸纳管(22)末端固定连接有卡座(224)，所述毛刷(23)与卡座(224)固定连接，所述毛刷(23...
【专利技术属性】
技术研发人员：何海建，羊亮，付江，陈昕，
申请(专利权)人：江油神光石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。