【技术实现步骤摘要】
本技术涉及观测，尤其是涉及一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置。
技术介绍
1、在运用cvd沉积工艺生产石英毛坨料的过程中，毛砣料随着沉积生长会缓慢地摊开；为实现通过温度调节准确控制其摊开量，须要对毛砣料的摊开量进行实时观测，以作为温度调节的节点依据。由于其观测点的环境温度高达800℃以上，且有强光干扰、粉尘，所以一般的电子检测设备无法直接观测。同时观测点位的可视空间狭小，观测员无法通过其他观测工具进行远距离观测。
技术实现思路
1、本技术为解决在上述技术问题，提供了一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，通过设置多段式观测筒进行坨料的观测和监控，同时由于摄像头设置在沉积炉的升降系统的底部，降低热辐射对摄像头的影响。
2、本技术采用的技术方案是：
3、一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，所述观测装置安装在沉积炉的升降系统上，所述观测装置包括：
4、观测筒，安装在所述升降系统上，所述观测筒采集端与所述升降系统的支撑柱的轴线相平行，所述观测筒的输出端设置在所述升降系统的升降台底部，且与所述采集端垂直设置，所述观测筒的侧壁内具有热交换腔室；
5、防尘组件，设置在所述观测筒的采集端内；
6、控温组件，与所述热交换腔室连通；
7、摄像头，安装在所述升降系统的升降台底部，所述摄像头的采集端朝向所述观测筒的输出端；
8、反射镜，安装在所述观测筒的采集端与观测筒的输出端的转角处，且呈4
9、可选地，所述观测筒包括：
10、输出筒，设置在所述升降系统的升降台底部，其轴线与所述升降系统的支撑柱的轴线垂直，所述摄像头设置在所述输出筒的一端；
11、第一传递筒，其一端与所述输出筒的另一端垂直连接，其另一端朝向所述沉积炉的顶部设置；
12、第二传递筒，其一端与所述第一传递筒的另一端垂直连接，所述第二传递筒的另一端朝向所述升降系统的支撑柱设置；
13、第三传递筒，其一端与所述第二传递筒的另一端垂直连接，所述第三传递筒的另一端朝向所述沉积炉的顶部设置；
14、第四传递筒，其一端与所述第三传递筒的另一端垂直连接，所述第四传递筒的另一端朝向所述升降系统的支撑柱设置；
15、采集筒，其一端与所述第四传递筒的另一端垂直连接，所述采集筒的另一端朝向所述沉积炉的顶部设置，所述防尘组件设置在所述采集筒内，且位于远离所述第四传递筒的一端；
16、其中，所述输出筒与第一传递筒的转角处、第一传递筒和第二传递筒的转角处、第二传递筒和第三传递筒的转角处、第三传递筒和第四传递筒的转角处以及第四传递筒和采集筒的转角处均设置有所述反射镜，相邻两反射镜的镜面相对设置。
17、可选地，所述防尘组件包括：
18、两呈环形的气管，两所述气管均套设在所述观测筒外，所述气管上沿其周向方向设置多个出气筒，所述出气筒的出气端伸入所述观测筒内；
19、石英镜片，安装在所述观测筒的采集端内，且位于两所述气管之间；
20、三通的进气管，其中两端分别与两气管连接，另一端与外部供气装置连接。
21、可选地，所述控温组件包括：
22、进水管，设置在所述升降系统的升降台底部，其一端与所述热交换腔室连通，另一端与介质提供装置连接；
23、出水管，设置在所述观测筒的采集端端部，其一端与所述热交换腔室连通，另一端与介质提供装置连接。
24、可选地，所述热交换腔室内循环的介质为水或油。
25、可选地，所述观测装置进一步包括：
26、同心环标准尺，可拆卸的设置在所述支撑柱的顶部。
27、可选地，所述同心环标准尺的相邻两环之间的间距为10mm。
28、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
29、1、通过将摄像头设置在升降系统的底部，以降低沉积炉在烧结过程中对摄像头的热辐射。
30、2、通过在观测管的内侧壁上设置热交换腔室，通过热交换介质带走传递在观测管上的热量。
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1.一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，所述观测装置安装在沉积炉的升降系统上，其特征在于，所述观测装置包括：
2.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述观测筒包括：
3.根据权利要求1或2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述防尘组件包括：
4.根据权利要求1或2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述控温组件包括：
5.根据权利要求1或2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述热交换腔室内循环的介质为水或油。
6.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述观测装置进一步包括：
7.根据权利要求6所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述同心环标准尺的相邻两环之间的间距为10mm。
【技术特征摘要】
1.一种cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，所述观测装置安装在沉积炉的升降系统上，其特征在于，所述观测装置包括：
2.根据权利要求1所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述观测筒包括：
3.根据权利要求1或2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装置，其特征在于，所述防尘组件包括：
4.根据权利要求1或2所述的cvd工艺生产石英坨料沉积摊开量的观测装...
【专利技术属性】
技术研发人员：何海建，付江，谢小龙，幸刚，
申请(专利权)人：江油神光石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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