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一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置制造方法及图纸
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下载一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置的技术资料
文档序号:38524449
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本实用新型属于沉积炉炉膛清理技术领域,具体涉及一种沉积炉炉膛侧壁快速清洁装置,包括固定于把杆的安装座,所述安装座上表面设有通气槽,所述安装座侧面设有与通气槽连通的负压管,所述负压管外接气泵,所述安装座上侧固定连接有扣环,所述安装座通过扣环转...
该专利属于江油神光石英科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江油神光石英科技有限公司授权不得商用。
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