一种具有调节机构的拉晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架、设于机架上部的承托板及设于所述承托板上的调节机构，所述承托板设有靠近边缘的定位孔，所述调节机构包括固定块和与所述固定块连接的调节件，所述固定块位于所述定位孔上方且用于将玻璃管固定在定位孔处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔，所述固定块通过调节件安装在承托板上；通过所述调节件来调节所述固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔的中轴线重合。通过调节调节件来调节固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔的中轴线重合，为后续的加热工序奠定良好的基础，调节机构结构简单，易于操作，生产成本较低。生产成本较低。生产成本较低。

【技术实现步骤摘要】
一种具有调节机构的拉晶炉


[0001]本技术涉及晶体生长设备的
，尤其涉及一种具有调节机构的拉晶炉。

技术介绍

[0002]拉晶炉常用于加工半导体材料，将半导体原料的分子在高温下进行排列整齐，该过程为拉晶，拉晶制造出晶棒，进而将晶棒切割成为晶粒，便于人们使用。拉晶的质量和效率受加热温度、加热速度、冷却速度等因素影响较大，现有的拉晶炉中对装有待加工材料的玻璃管的上部采取一端固定，中间设置有可移动的加热盘对容器内的待加工材料进行加工，但是这种一端固定的固定方式容易使玻璃管安装歪斜，不便于后续的加热工序。
[0003]本技术即是针对现有技术的不足而研究提出。

技术实现思路

[0004]针对上述提到的现有的拉晶炉中对装有待加工材料的玻璃管的上部采取一端固定，中间设置有可移动的加热盘对容器内的待加工材料进行加工，但是这种一端固定的固定方式容易使玻璃管安装歪斜，不便于后续的加热工序的问题。
[0005]本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0006]一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架、设于机架上部的承托板及设于所述承托板上的调节机构，所述承托板设有靠近边缘的定位孔，所述调节机构包括固定块和与所述固定块连接的调节件，所述固定块位于所述定位孔上方且用于将玻璃管固定在定位孔处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔，所述固定块通过调节件安装在承托板上；通过所述调节件来调节所述固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔的中轴线重合。
[0007]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述固定块中部设有与所述定位孔同轴的通孔，玻璃管通过所述通孔插接在所述固定块中，并且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔。
[0008]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述固定块还设有若干个位于所述通孔外围并对称分布的连接孔，通过所述调节件与连接孔连接使所述固定块安装在承托板上。
[0009]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述连接孔设有内螺纹，所述调节件与连接孔通过螺纹连接。
[0010]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述承托板还设有联通所述定位孔并朝外侧延伸的开口，使玻璃管能够从开口进入至所述定位孔内并通过所述调节件与固定块连接而固定在定位孔中。
[0011]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述调节件的顶部设有旋扭部。
[0012]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述调节件的高度大于所述固定块的高度。
[0013]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述固定块内侧设有环形垫片，所述环
形垫片形成所述通孔。
[0014]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述承托板靠近边缘处设有多个所述定位孔，各所述定位孔上部均安装有所述调节机构。
[0015]由上所述的一种具有调节机构的拉晶炉，所述拉晶炉主体还包括设于所述承托板下方的加热盘及用于驱动所述加热盘上下移动的驱动机构，所述加热盘设有与定位孔同轴的加热孔，所述加热盘内部设有靠近所述加热孔的加热元件，所述加热盘通过所述驱动机构上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔，通过所述加热元件对玻璃管内的材料进行加热。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]通过所述固定块对装有待加工材料的玻璃管的上部进行一端固定，能够缩减玻璃管的安装时间，进而提升玻璃管的安装效率；通过调节所述调节件来调节固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔的中轴线重合，为后续的加热工序奠定良好的基础，所述调节机构结构简单，易于操作，生产成本较低。
[0018]下面将结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明。
附图说明
[0019]图1为本技术的立体图；
[0020]图2为图1中的A部分放大图；
[0021]图3为本技术的承托板的示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术的实施方式作详细说明。
[0023]如图1—3所示，本技术所提供的一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架1、设于机架1上部的承托板2及设于所述承托板2上的调节机构3，所述承托板2设有靠近边缘的定位孔21，所述调节机构3包括固定块31和与所述固定块31连接的调节件32，所述固定块31位于所述定位孔21上方且用于将玻璃管固定在定位孔21处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔21，所述固定块31通过调节件32安装在承托板2上；通过所述调节件32来调节所述固定块31底面与承托板2顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔21的中轴线重合。在本实施方式中，所述承托板2上部位于定位孔21上方安装有所述调节机构2，对玻璃管采取一端固定的可拆卸固定方式，在生产加工过程中，一端固定便于生产工人安装玻璃管，缩减了玻璃管的安装时间，进而提升玻璃管的安装效率；通过调节件32来调节所述固定块31底面与承托板2顶面的间距，使得玻璃管的中轴线与定位孔21的中轴线重合，为加热工序奠定良好的基础，玻璃管内部真空且装有待加热的固体材料，通过拉晶炉加热处理将玻璃管内的固体材料加热熔化，而且所述调节机构2结构简单，易于操作，生产成本较低。
[0024]进一步的，所述固定块31中部设有与所述定位孔21同轴的通孔311，玻璃管通过所述通孔311插接在所述固定块31中，并且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔21。在本实施方式中，所述固定块31优选为包括相对设置的两个夹持部，两所述夹持部设有相对设置的C型凹孔，两所述凹孔组合形成所述通孔311以与玻璃管配合，优选的是，所述固定块31还包括两个向上延伸的耳部，两所述耳部分别设在两所述夹持部顶部，两所述耳部之间通过螺丝锁
紧从而使玻璃管固定，所述调节机构2的整体结构比较简单且安全，易于实现，生产成本较低。
[0025]进一步的，所述固定块31还设有若干个位于所述通孔311外围并对称分布的连接孔312，通过所述调节件32与连接孔312连接使所述固定块31安装在承托板2上。在本实施方式中，优选设置4个对称分布在通孔311外围的所述连接孔312，增强了调节机构3的结构稳定性，以加强固定所述固定块31，使其不易掉落，保证玻璃管加热过程中的安全性；在调节所述调节件32时，用户可以调节位于同一侧的两个调节件32中固定块31的高度，从而调节所述固定块31的底面与承托板2的顶面的间距，上述调节方法方便快捷，易于操作。
[0026]进一步的，所述连接孔312设有内螺纹，所述调节件32与连接孔312通过螺纹连接。在本实施方式中，各所述连接孔312均设有内螺纹，所述调节件32优选采用螺栓，能够保障生产工人的生产安全，使生产工人不易受伤；而且通过调节件32调节使得所述固定块31底面与承托板2顶面的间距增大时，可能会发生所述固定块31相对承托板2倾斜的情况，因此通过螺纹连接能够使所述固定块31卡紧在调节件32上且不易滑落，以满足所述水平调节机构的工作要求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，其特征在于：所述拉晶炉主体包括机架(1)、设于机架(1)上部的承托板(2)及设于所述承托板(2)上的调节机构(3)，所述承托板(2)设有靠近边缘的定位孔(21)，所述调节机构(3)包括固定块(31)和与所述固定块(31)连接的调节件(32)，所述固定块(31)位于所述定位孔(21)上方且用于将玻璃管固定在定位孔(21)处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(21)，所述固定块(31)通过调节件(32)安装在承托板(2)上；通过所述调节件(32)来调节所述固定块(31)底面与承托板(2)顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔(21)的中轴线重合。2.根据权利要求1所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(31)中部设有与所述定位孔(21)同轴的通孔(311)，玻璃管通过所述通孔(311)插接在所述固定块(31)中，并且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(21)。3.根据权利要求2所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(31)还设有若干个位于所述通孔(311)外围并对称分布的连接孔(312)，通过所述调节件(32)与连接孔(312)连接使所述固定块(31)安装在承托板(2)上。4.根据权利要求3所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述连接孔(312)设有内螺纹，所述调节件(32)与连接孔(312)通过螺纹连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铨源，宋凯，莫余明，
申请(专利权)人：广东赛米思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：