一种具有调节机构的拉晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架、设于机架上部的承托板及设于所述承托板上的调节机构，所述承托板设有靠近边缘的定位孔，所述调节机构包括固定块和与所述固定块连接的调节件，所述固定块位于所述定位孔上方且用于将玻璃管固定在定位孔处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔，所述固定块通过调节件安装在承托板上；通过所述调节件来调节所述固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔的中轴线重合。通过调节调节件来调节固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔的中轴线重合，为后续的加热工序奠定良好的基础，调节机构结构简单，易于操作，生产成本较低。生产成本较低。生产成本较低。

【技术实现步骤摘要】
一种具有调节机构的拉晶炉


[0001]本技术涉及晶体生长设备的
，尤其涉及一种具有调节机构的拉晶炉。

技术介绍

[0002]拉晶炉常用于加工半导体材料，将半导体原料的分子在高温下进行排列整齐，该过程为拉晶，拉晶制造出晶棒，进而将晶棒切割成为晶粒，便于人们使用。拉晶的质量和效率受加热温度、加热速度、冷却速度等因素影响较大，现有的拉晶炉中对装有待加工材料的玻璃管的上部采取一端固定，中间设置有可移动的加热盘对容器内的待加工材料进行加工，但是这种一端固定的固定方式容易使玻璃管安装歪斜，不便于后续的加热工序。
[0003]本技术即是针对现有技术的不足而研究提出。

技术实现思路

[0004]针对上述提到的现有的拉晶炉中对装有待加工材料的玻璃管的上部采取一端固定，中间设置有可移动的加热盘对容器内的待加工材料进行加工，但是这种一端固定的固定方式容易使玻璃管安装歪斜，不便于后续的加热工序的问题。
[0005]本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0006]一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有调节机构的拉晶炉，包括拉晶炉主体，其特征在于：所述拉晶炉主体包括机架(1)、设于机架(1)上部的承托板(2)及设于所述承托板(2)上的调节机构(3)，所述承托板(2)设有靠近边缘的定位孔(21)，所述调节机构(3)包括固定块(31)和与所述固定块(31)连接的调节件(32)，所述固定块(31)位于所述定位孔(21)上方且用于将玻璃管固定在定位孔(21)处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(21)，所述固定块(31)通过调节件(32)安装在承托板(2)上；通过所述调节件(32)来调节所述固定块(31)底面与承托板(2)顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与所述定位孔(21)的中轴线重合。2.根据权利要求1所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(31)中部设有与所述定位孔(21)同轴的通孔(311)，玻璃管通过所述通孔(311)插接在所述固定块(31)中，并且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(21)。3.根据权利要求2所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(31)还设有若干个位于所述通孔(311)外围并对称分布的连接孔(312)，通过所述调节件(32)与连接孔(312)连接使所述固定块(31)安装在承托板(2)上。4.根据权利要求3所述的一种具有调节机构的拉晶炉，其特征在于：所述连接孔(312)设有内螺纹，所述调节件(32)与连接孔(312)通过螺纹连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铨源，宋凯，莫余明，
申请(专利权)人：广东赛米思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：